VTC-16-3HD 3靶等離子濺射儀

輸入功率

• 110V / 220V 通用
• < 2000W (含真空泵)

輸出功率

• 1600VDC
• 電流50mA

樣品室

石英罩： 160 mm Dia. x 120mm Height

加熱樣品臺(tái)

• 一個(gè)外徑50 mm 的樣品臺(tái), 可以移動(dòng)三個(gè)位置
• 基片可以放在樣品臺(tái)上. 加熱溫度 500°C
• PID控溫方式和觸摸屏面板，控溫精度+/-1°C

控制面板

• 控制面板為PLC，6" 觸摸屏
• 一個(gè)控制面板可以控制所有的參數(shù),包括真空度 , 電流 , 靶材位置 和 基片加熱溫度

可選

• KF25 真空接口、卡箍，和600mm長(zhǎng)不銹鋼波紋管
• 120L/M旋片式真空泵（包含在儀器內(nèi)）
• Vapor trap eliminates the oil mist
• 不銹鋼波紋管與KF-25真空接口相連接
• 高純度金箔靶
• 需要一個(gè)帶壓力調(diào)節(jié)器的氬氣瓶 （這個(gè)我們不提供）

進(jìn)氣口

一個(gè)針閥安裝在進(jìn)氣口,以實(shí)現(xiàn)更好的等離子涂層

靶材

標(biāo)配靶材分別有

• 金，銀，銅 靶材:
• 尺寸: 47 mm dia. x 0.12 mm, 1pcs
• 可選靶材點(diǎn)擊鏈接、
  Pt , Ag target , Zinc tarhet

外形尺寸

• 360mm × 350mm × 360mm (L×W×H)
• 凈重:50KG

質(zhì)保期

一年質(zhì)保期，相關(guān)耗材除外，終身維護(hù)。

質(zhì)量認(rèn)證

Certified