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GSL-1100X-SPC-16M 小型磁控等離子濺射儀

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  • 所在地 天津市

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更新時間：2023-01-31 09:40:23瀏覽次數(shù)：352

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產(chǎn)品簡介

GSL-1100X-SPC-16M是一款緊湊型的磁控等離子濺射儀，采用雙旋片機械泵進行抽真空

詳細介紹

GSL-1100X-SPC-16M 是一款緊湊型的磁控等離子濺射儀，采用雙旋片機械泵進行抽真空。 一個磁控管與Peltier 冷卻裝置安裝在機器的頂部,，這將提供強有力的濺射能源，產(chǎn)生更好和更快的涂層，特別適用于金屬靶材,比如鋁，鋅和鎂. 儀器中包含一個金靶和真空系統(tǒng)。

技術參數(shù)

工作電壓

110V or 220V 50/60 Hz

輸出功率

< 2000W (包含真空泵)

輸出電壓
  • 1600VDC
  • 電流：50mA

樣品室

石英罩： 160 mm Dia. x 120mm Height

樣品載物臺
  • 一個外徑50 mm 樣品載物臺
  • 濺射面積: 45 mm




配件包括
  • 儀器中包含有一直聯(lián)式雙旋機械泵，可使反應腔體真空度達到10-2 torr
  • 用一個KF25的波紋管把真空泵和儀器相連接
  • 可以選購一個循環(huán)水冷機16L/min

可通入氣體

通過針閥通入氬氣，能實現(xiàn)更好的等離子涂層

靶材
  • 標配靶材：
  • 包含：Au target: 50 mm dia. x 0.12 mm, 1pcs
  • 可選靶材: Pt target (47mm dia.x0.12mm, 4N)
    Ag target (47 mm dia. x 0.5mm, 4N)

外形尺寸

L360mm x W300mm x H380mm

重量

50 kg

質(zhì)保期和質(zhì)量認證

一年質(zhì)保期，終身維護

CE Certified

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