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詳細(xì)介紹
詳情介紹：
樣品臺 | 尺寸 | 150mm | 加熱溫度 | ≤500℃ |
| 旋轉(zhuǎn)速度 | 1-20r/min | 控溫精度 | ±1℃ |
磁控濺射頭 | 數(shù)量 | 2英寸 x1 | 冷卻方式 | 水冷 |
真空腔體 | 腔體尺寸 | φ270mm X 200mm | 觀察窗口 | 全向可視 |
| 腔體材料 | 高純石英 | 開啟方式 | 頂蓋拆卸式 |
真空系統(tǒng) | 機(jī)械泵 | CY240 | 抽氣接口 | KF16 |
| 抽氣速率 | 1.1L/s |
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| 分子泵 | CY600 | 抽氣接口 | KF40 |
| 抽氣速率 | 600L/s | 排氣接口 | KF40 |
| 真空測量 | 電阻規(guī)+電離規(guī) |
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| 極限真空 | 10-5Pa數(shù)量級 | 供電電源 | AC;220V 50/60Hz |
電源配置 | 直流電源數(shù)量 | 1臺 | 輸出功率 | ≤500W |
| 輸出電壓 | ≤600V | 響應(yīng)時(shí)間 | ＜5ms |
| 射頻電源數(shù)量 | 1臺 | 輸出功率 | ≤1000W |
| 功率穩(wěn)定度 | ≤5W |
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膜厚監(jiān)控系統(tǒng) | 膜厚儀測量分辨率 | ±0.03Hz | 測量精度 | ±0.5% |
| 測量上限 | 50000 | 測量速度 | 100~1000ms |
水冷系統(tǒng) | 水箱容積 | 9L | 流量 | 10L/min |
其他 | 供電電壓 | AC220V,50Hz | 整機(jī)功率 | 3kw（主機(jī)+真空泵） |
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