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詳細介紹
詳情介紹：
技術參數(shù)：
項目 | 明細 | |
供電電壓 | AC220V，50Hz | |
整機功率 | 3KW | |
極限真空度 | 10-6torr | |
載樣臺參數(shù) | 尺寸 | φ140mm |
| 加熱溫度 | *高500℃ |
| 控溫精度 | ±1℃ |
| 轉(zhuǎn)速 | 1-20rpm可調(diào) |
磁控濺射頭參數(shù) | 數(shù)量 | 2個2"磁控濺射頭 |
| 冷卻方式 | 水冷，所需流速10L/min |
| 水冷機規(guī)格 | 16L/min流速的循環(huán)水冷機 |
真空腔體 | 腔體尺寸 | φ300mm X 300mm H |
| 腔體材料 | 不銹鋼 |
| 觀察窗口 | φ100mm |
| 開啟方式 | 上頂開式，便于更換靶材 |
氣體流量控制器 | 4路分別通N2，Ar，O2，空氣； 量程均為0-500sccm | |
真空泵 | 配有一套分子泵系統(tǒng)，抽速600L/S | |
膜厚儀 | 石英振動薄膜測厚儀一臺，分辨率0.10 ? | |
濺射電源 | 直流電源一臺，500W，適用于制備金屬膜 射頻電源一臺，300W，適用于非金屬鍍膜 | |
操作方式 | 面板按鈕操作 | |
整機尺寸 | 1400mm X 750mm X 1300mm | |
整機重量 | 300kg | |
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