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產(chǎn)品介紹
本蒸發(fā)鍍膜儀在對樣品進行蒸發(fā)鍍膜的過程中，樣品臺可進行旋轉(zhuǎn)，以獲得更均勻的薄膜。本型號的小型程序控溫蒸發(fā)鍍膜儀應(yīng)用范圍廣，可制備各種金屬薄膜和有機物薄膜，因此被廣泛用于電極的制備和有機物發(fā)光LED的制備。儀器體積小巧，可有效節(jié)約實驗室空間；操作簡單，對不同材料的適應(yīng)性強，因此被廣泛應(yīng)用于各大高校和科研院所的實驗室當(dāng)中。
產(chǎn)品特點
1.本設(shè)備采用石英腔體，易于清潔和樣品的放入；
2.樣品臺可以旋轉(zhuǎn)，鍍膜效果能夠更加均勻；
3.采用鎢絲作為發(fā)熱源，*高溫度可達到1700℃，并配有的氧化鋁舟裝載樣品（僅1600oC以下使用，若蒸發(fā)溫度大于1600oC，樣品應(yīng)直接放在鎢絲籃中）；
4.并且可將設(shè)備轉(zhuǎn)換到手動調(diào)節(jié)狀態(tài)，內(nèi)部不安裝熱電偶，直接采用手動調(diào)節(jié)輸出電流大小，發(fā)熱源溫度可達2000oC，可達到對樣品鍍碳等實驗要求。
5.可向真空腔體中通入惰性氣體，對腔體進行清洗，也可通入反應(yīng)氣體，進行反應(yīng)蒸發(fā)鍍膜。
6.進氣口配有針閥，用于調(diào)節(jié)進氣流量。
技術(shù)參數(shù)
項目 | 明細(xì) |
供電電壓 | AC220V，60Hz |
*大功率 | 800W |
樣品臺 | 直徑φ50mm； 可旋轉(zhuǎn)，轉(zhuǎn)速5rpm； 與蒸發(fā)源間距可調(diào)，調(diào)節(jié)范圍60mm-100mm |
石英腔體 | O.Dφ180mm x I.Dφ166mm x 235mm |
*高溫度 | 1700℃ |
熱電偶 | S型熱電偶，工作溫度200℃~1500℃ |
真空計 | 電子式真空計 |
真空接口 | KF16 |
進氣接口 | 1/4NPS |
真空泵 | 雙極旋片真空泵 |
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