單靶等離子濺射鍍膜儀（增強型）

樣品臺

尺寸

100mm

旋轉(zhuǎn)速度

1~20rpm可調(diào)

加熱溫度

≤500℃            

控溫精度

±1℃   PID控溫 

等離子濺射靶

數(shù)量

2英寸x1

冷卻方式

水冷

真空腔體

腔體尺寸

φ180mm X 210mm    

觀察窗口

全向可視

腔體材料

高純石英

開啟方式

頂蓋拆卸式

上下蓋材質(zhì)

304不銹鋼

抽氣接口

KF16

進氣接口

1/4英寸卡套接頭

電源配置

數(shù)量

直流電源x1

輸出功率

*大150W

濺射電源

1200V

*大濺射電流

50mA

真空系統(tǒng)

真空泵類型

雙極旋片真空泵

抽氣接口

KF16

排氣接口

KF16

抽氣速率

1.1L/s（4m³/h）

極限真空度

≥0.1Pa

真空測量

電阻真空規(guī)

其他

供電電源

AC 220V  50Hz

整機功率

2kW

整機尺寸

500mm X 320mm X470mm

整機重量

30kg