詳細介紹
石墨烯制備爐的主要技術(shù)參數(shù):
溫度范圍:室溫~1050度
整機功率:2.5 kW
末端口為:不銹鋼法蘭接口,外置水冷卻
進樣方式為:手動
氣體成分有:
Ar:純度99.999%以上,40L,配惰性氣體減壓閥,流量0-1000 sccm;
H2:純度99.999%,40L,配氫氣減壓閥,流量0-200 sccm;
CH4:純度99.999%,40L,配減壓閥,流量0-10 sccm (更大量程可選);
13CH4:純度99% (1%為12CH4),10L,配減壓閥,流量0~10 sccm (同位素選件);
該系統(tǒng)的溫度、氣流及真空采用計算機控制,其中部分功能也可以采用手動控制。石墨烯制備爐采用計算機實時控制和顯示所有與生長有關(guān)的實驗參數(shù),自動保存實驗參數(shù),給實驗帶來的方便,并提高實驗的**性。