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氣體濕度分析儀Pura

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更新時間:2021-08-12 19:46:09瀏覽次數(shù):325次

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Pura在很多超純氣應(yīng)用,諸如半導(dǎo)體工業(yè)中,氣體中殘余的濕氣對于過程處理的正常運作至關(guān)重要

Pura

在很多超純氣應(yīng)用,諸如半導(dǎo)體工業(yè)中,氣體中殘余的濕氣對于過程處理的正常運作至關(guān)重要。一直以來,對濕氣的持續(xù)追蹤測量都是個難點,需要用到復(fù)雜的濕度分析儀或者昂貴的分析技術(shù)。然而密析爾儀表目前則向市場推出了簡單 24 MPa 28 V , 電流 25 mA

輸出4-20 mA 輸出, 對應(yīng)范圍可由專用軟件調(diào)整, 調(diào)整量程從 1 ~ 80°C (標(biāo)配提供)

負載 = 100 Ω + 50 Ω x (V 電源 -8)

輸出出錯狀態(tài)標(biāo)準(zhǔn)輸出出錯信息如下: 23 mA = 傳感器故障; 20 mA = 超上限; 4 mA = 超下限

機械性能

傳感器套筒不銹鋼, 0.1-0.2 Ra µm 電鍍內(nèi)拋光

氣路連接端口Premium 或 OEM 型: ?" m VCR 接口

Pura Sensor 型: ?" m VCR 接口 

安裝配置Premium 或 OEM 型: 120.00mm 長, 氣路端口的端面密封. 無需預(yù)留管路空隙

底座上有 2 個 M4 x 0.7, 7mm 深的安裝孔, 斜對面橫豎間距均為 20 x 20mm

Pura Sensor 型: 適用于用戶提供的 ?" VCR 端口中 

尺寸Premium 或 OEM 型: 120 x 35 x 150mm

Pura Sensor 型: 132 x 35mm

重量Premium 或 OEM 型: 450g

Pura Sensor 型: 180g

包裝Pura: 雙層包裝, 惰性氣體填充密封

Pura OEM 或 Pura Sensor 型: 單層包裝

所有選配件: 獨立包裝運輸

Sensor 型在傳感芯片端自帶保護套,用以運輸及操作

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