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詳細(xì)介紹
清潔、干燥氣體質(zhì)量流量傳感器
產(chǎn)品簡(jiǎn)介：
FS4001氣體質(zhì)量流量傳感器是專門為各類小流量氣體的測(cè)量和過程控制而設(shè)計(jì)的。這一系列傳感器均采用美國(guó)流量傳感芯片來(lái)研發(fā)制作，適用于各類清潔、干燥氣體。*的封裝技術(shù)使之在相同的管徑下可測(cè)量不同范圍的流量，成本低、易安裝、不需要溫度壓力補(bǔ)償，可替代容積式或壓差式的傳統(tǒng)流量傳感器并配以多種信號(hào)輸出，通過通訊接口可實(shí)現(xiàn)對(duì)傳感器的靈活配置與參數(shù)查詢。
siargo ltd FS4001系列小流量氣體質(zhì)量流量傳感器是專門為各類小流量氣體的測(cè)量和過程控制而設(shè)計(jì)的。這一系列傳感器均采用本公司自主研發(fā)的微機(jī)電系統(tǒng)（MEMS）流量傳感芯片來(lái)制作，適用于各類清潔氣體。*的封裝技術(shù)使之可用于各類管徑，成本低、易安裝、不需要溫度壓力補(bǔ)償，可替代容積式或壓差式的傳統(tǒng)流量傳感器。
產(chǎn)品特點(diǎn)：
- 傳感器靈敏度高，有極小的始動(dòng)流量
- 傳感器芯片采用熱質(zhì)量流量計(jì)量，無(wú)需溫度壓力補(bǔ)償，保證了傳感器的高精度計(jì)量
- 在單個(gè)芯片上實(shí)現(xiàn)了多傳感器集成，使其量程比達(dá)到了100:1甚至更高
- 貼壁式安裝，無(wú)直管段要求，易于安裝與使用
- 輸出方式靈活，既可通過通訊接口主動(dòng)上傳數(shù)據(jù)(RS232)或由上位機(jī)查詢輸出數(shù)據(jù)(RS232 / I2C)，也可通過模擬接口輸出線性的模擬電壓
- 零點(diǎn)穩(wěn)定度高
- 全量程高穩(wěn)定性、高精確度和優(yōu)良的重復(fù)性
- 低功耗、低壓損
- 響應(yīng)速度快
清潔、干燥氣體質(zhì)量流量傳感器
主要參數(shù)：
性能參數(shù) | FS4001 | 單位 | |
通 徑 | 1.0 | 1.8 | mm |
大流量 | 30, 100, 200 | 500, 1000 | SCCM |
量程比 | ≥100:1 |
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精 度 | ±(1.5+0.2FS) | % | |
重復(fù)性 | 0.25 | %讀數(shù) | |
零點(diǎn)輸出飄移 | ±30 | mV | |
輸出飄移 | ±0.12 | %/oC | |
響應(yīng)時(shí)間 | 4, 8, 16, 33 , 65 , 131 | mses | |
工作電源 | 8~18Vdc,50mA |
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輸出方式 | 線性，RS232/模擬電壓0.5~4.5Vdc |
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大流量壓損 | 350 | 300 | pa |
大工作壓力 | 0.5 | MPa | |
工作溫度 | -10 ~ +55 | oC | |
存儲(chǔ)溫度 | -20 ~ +65 | oC | |
工作濕度 | <95%RH（無(wú)結(jié)冰、無(wú)凝露） |
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機(jī)械接口 | 可拆式軟管接頭 |
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校準(zhǔn)方式 | 空氣（或其他氣體），20oC，101.325kPa |
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重量 | 15 | g | |
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