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W2800/2800CT/2800/3200CT TURBOVAC MAG digital磁懸浮復(fù)合分子泵

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安博元科技無錫有限公司

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產(chǎn)品簡介

TURBOVAC MAG W 830/1300 C W 1500 CTW 2000 C/CT W 2200 C W 2800/3200 (C/CT)典型應(yīng)用- 半導(dǎo)體工業(yè)，諸如蝕刻、CVD、PVD和離子注入之類的所有主要半導(dǎo)體工藝- 進(jìn)樣室，轉(zhuǎn)移室- 粒子加速器- 科研- 鍍膜系統(tǒng)技術(shù)特點(diǎn)- 主動(dòng)定位五軸磁懸浮軸承系統(tǒng)- 軸承系統(tǒng)的數(shù)字監(jiān)控- 噪聲和振動(dòng)低- 任意方向安裝- 的轉(zhuǎn)子設(shè)計(jì)，實(shí)現(xiàn)高......

詳細(xì)介紹

TURBOVAC MAG W 830/1300 C W 1500 CT

W 2000 C/CT W 2200 C W 2800/3200 (C/CT)

典型應(yīng)用

- 半導(dǎo)體工業(yè)，諸如蝕刻、CVD、PVD和離子注入之類的所有主要半導(dǎo)體工藝

- 進(jìn)樣室，轉(zhuǎn)移室

- 粒子加速器

- 科研

- 鍍膜系統(tǒng)

技術(shù)特點(diǎn)

- 主動(dòng)定位五軸磁懸浮軸承系統(tǒng)

- 軸承系統(tǒng)的數(shù)字監(jiān)控

- 噪聲和振動(dòng)低

- 任意方向安裝

- 的轉(zhuǎn)子設(shè)計(jì)，實(shí)現(xiàn)高抽速和高前級(jí)耐壓

- 智能電源控制系統(tǒng)

- CT版集成溫度管理系統(tǒng)（TMS）

- C版耐腐蝕

客戶得益

- 免維護(hù)

- 所有工藝氣體都有高氣載量

- 極限低，抽速高

- 前級(jí)耐壓高

- 同類中重量較輕，尺寸較小

- 耐粉塵

- 溫控達(dá) 90 °C (194 °F)，避免沉積物

（CT版）

- 高耐腐蝕性-CT版

- 氣體吹掃系統(tǒng)

更多信息請聯(lián)系萊寶：安博元科技 info

技術(shù)特點(diǎn)

- 主動(dòng)定位五軸磁懸浮軸承系統(tǒng)

- 軸承系統(tǒng)的數(shù)字監(jiān)控

- 噪聲和振動(dòng)低

- 任意方向安裝

- 的轉(zhuǎn)子設(shè)計(jì)，實(shí)現(xiàn)高抽速和高前級(jí)耐壓

- 智能電源控制系統(tǒng)

- CT版集成溫度管理系統(tǒng)（TMS）

- C版耐腐蝕

客戶得益

- 免維護(hù)

- 所有工藝氣體都有高氣載量

- 極限低，抽速高

- 前級(jí)耐壓高

- 同類中重量輕，尺寸小

- 耐粉塵

- 溫控達(dá) 90 °C (194 °F)，避免沉積物

（CT版）

- 高耐腐蝕性-CT版

- 氣體吹掃系統(tǒng)

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典型應(yīng)用

- 半導(dǎo)體工業(yè)，諸如蝕刻、CVD、PVD和離子注入之類的所有主要半導(dǎo)體工藝

- 進(jìn)樣室，轉(zhuǎn)移室

- 粒子加速器

- 科研

- 鍍膜系統(tǒng)

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技術(shù)參數(shù)				TURBOVAC MAG
		W 2800 C		W 2800 CT W 2800			W 3200 CT
進(jìn)氣口		DN	250 ISO-F		250 ISO-F	250 CF		320 ISO-F
PNEUROP的抽速
氮?dú)?/span>		I x s-1	2650		2650	2650		3200
氬氣		I x s-1	2450		2450	2450		3000
氦氣		I x s-1	2650		2650	2650		3000
氫氣		I x s-1	2100		2100	2100		2250
額定轉(zhuǎn)速		min-1	28 800		28 800	28 800		28 800
壓縮比
氮?dú)?/span>			1 x 108		1 x 108	1 x 109		1 x 108
極限壓強(qiáng)，根據(jù) DIN 28 400		mbar	< 10-8		< 10-8	< 1 x 10-10		< 10-8
		(Torr)	(< 0 75 x 10-8)		(< 0 75 x 10-8)	(< 0 75 x 10-10)		(< 0 75 x 10-8)
前級(jí)耐壓（對(duì)氮?dú)猓?duì)流冷卻時(shí) 水冷卻時(shí)		mbar (Torr)mbar (Torr)	– 2 0 (1 5)		– 2 0 (1 5)	0 3 (0 23) 3 0 (2 3)		– 2 0 (1 5)
推薦的前級(jí)泵
抽速達(dá)100 m3/h的旋片泵或干泵			TRIVAC D 65 BCS		TRIVAC D 65 BCS	TRIVAC D 65 BCS		TRIVAC D 65 BCS
啟動(dòng)時(shí)間	min		< 10		< 10	< 10		< 10
出氣口外形尺寸	DN		40 ISO-KF		40 ISO-KF	40 ISO-KF		40 ISO-KF
吹掃和破空口			1/4" VCR		1/4" VCR	DN 10/16		1/4" VCR
冷卻水接口	Swagelok tube		1/4"		1/4"	1/4"		1/4"
重量（近似）	kg (lbs)		64 (141 3)		64 (141 3)	75 (165 6)		65 (143 5)