詳細(xì)介紹
MX6R正置金相顯微鏡
MX6R正置金相顯微鏡各項操作根據(jù)人機工程學(xué)設(shè)計,大限度減輕操作者的使用疲勞。其模塊化的部件設(shè)計,可對系統(tǒng)功能進行自由組合。涵蓋明場、暗場、斜照明、偏光、DIC微分干涉等多種觀察功能,可根據(jù)實際應(yīng)用,進行功能選擇。
寬視場鉸鏈?zhǔn)饺坑^察筒
正像鉸鏈三目觀察筒,所成像的方位與物體實際方向相同,物體移動的方向跟像面移動的方向相同,便于觀察與操作。
大行程移動平臺設(shè)計
采用6寸平平臺設(shè)計,行程158×158mm,可適用于對應(yīng)尺寸的晶圓或FPD檢測,也可用于小尺寸樣品的陣列檢測。
高精度物鏡轉(zhuǎn)換器
轉(zhuǎn)換器采用精密軸承設(shè)計,轉(zhuǎn)動手感輕巧舒適,重復(fù)定位精度高,物鏡轉(zhuǎn)換后的同心度也得到較好的控制。
安全、穩(wěn)重的機架結(jié)構(gòu)設(shè)計
工業(yè)檢測級顯微鏡鏡體,低重心、高剛性、高穩(wěn)定性金屬機架,保證了系統(tǒng)的抗震能力與成像穩(wěn)定性。
其前置低手位粗微調(diào)同軸調(diào)焦機構(gòu),內(nèi)置100-240V寬電壓變壓器,可適應(yīng)不同地區(qū)的電網(wǎng)電壓。底座內(nèi)部設(shè)計有風(fēng)循環(huán)散熱系統(tǒng),長時間使用也不會使機架過熱。
產(chǎn)品參數(shù):
光學(xué)系統(tǒng):無限遠(yuǎn)色差光學(xué)系統(tǒng)
觀察方式:明場/暗場/偏光/DIC(選配)
觀察筒:30°傾斜,正像,無限遠(yuǎn)鉸鏈三通觀察筒,瞳距調(diào)節(jié):50-76mm,分光比100:0或0:100
5-35°傾角可調(diào),正像,無限遠(yuǎn)鉸鏈三通觀察筒,瞳距調(diào)節(jié):50-76mm,單邊視度調(diào)節(jié):±5屈光度,兩檔分光比100:0或0:100
目鏡:高眼點大視野平場目鏡PL10X/22mm,視度可調(diào)
物鏡 無限遠(yuǎn)長工作距平場明暗場消色差金相物鏡5X-DIC、10-DICX、20X-DIC、50X
轉(zhuǎn)換器:5孔內(nèi)傾式明暗場轉(zhuǎn)換器,帶DIC插槽
調(diào)焦機構(gòu):反射式機架 , 前置低手位粗微同軸調(diào)焦機構(gòu)。粗調(diào)行程 33mm, 微調(diào)精度 0.001mm. 帶有防止下滑的調(diào)節(jié)松緊裝置和隨機上限位裝置.內(nèi)置 100-240V 寬電壓系統(tǒng) , 帶光亮度設(shè)定暗扭與復(fù)位按扭
載物臺:6英寸三層機械移動平臺,低手位X、Y方向同軸調(diào)節(jié);平臺面積445mm×240mm,移動范圍:158mm×158mm;帶離合器手柄,可用于全行程范圍內(nèi)快速移動;玻璃載物臺板(反射用)
照明系統(tǒng):明暗場反射照明器 , 帶可變孔徑光闌,視場光闌 , 中心均可調(diào) ;帶明暗場照明切換裝置 ;帶濾色片插槽與偏光裝置插槽