Aston™ 質(zhì)譜分析儀 CVD 典型應(yīng)用

返回列表頁

參考價(jià)

面議

具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)

產(chǎn)品型號

品牌其他品牌

廠商性質(zhì)經(jīng)銷商

所在地上海市

在線詢價(jià) 收藏產(chǎn)品

聯(lián)系方式：葉南晶查看聯(lián)系方式

更新時(shí)間：2022-03-09 14:46:49瀏覽次數(shù)：532次

聯(lián)系我時(shí)，請告知來自制藥網(wǎng)

產(chǎn)品分類 品牌分類

  氦質(zhì)譜檢漏儀
  Europlasma 防水涂層設(shè)備
  氣體分析儀
  真空泵
  真空閘閥,真空插板閥
  真空鍍膜機(jī)
  德國 Pfeiffer

檢漏儀

羅茨泵

隔膜泵

真空計(jì),真空規(guī)
  美國 KRI 離子源
  美國 Nor-Cal 真空閥門
  真空閥門
  美國 ATC 空氣泄漏測試儀
  ANEST IWATA 巖田渦旋干泵

  其他品牌

伯東企業(yè)（上海）有限公司

經(jīng)營模式：經(jīng)銷商

商鋪產(chǎn)品：95條

所在地區(qū)：上海上海市

聯(lián)系人：葉南晶（銷售助理）

詢價(jià) 給他留言

產(chǎn)品簡介

產(chǎn)地	進(jìn)口	產(chǎn)品新舊	全新

上海伯東代理日本 Atonarp 過程控制質(zhì)譜儀 Aston™ 專為半導(dǎo)體生產(chǎn)而設(shè)計(jì), 作為一個(gè)強(qiáng)大的平臺, Aston™ 可以取代多種傳統(tǒng)工具

詳細(xì)介紹

Aston™ 質(zhì)譜分析儀 CVD 典型應(yīng)用: Dry pump 干泵排氣在線監(jiān)測,診斷

Atonarp 質(zhì)譜分析儀 Aston™ 半導(dǎo)體 CVD / ALD 應(yīng)用
上海伯東代理日本 Atonarp 過程控制質(zhì)譜儀 Aston™ 專為半導(dǎo)體生產(chǎn)而設(shè)計(jì), 作為一個(gè)強(qiáng)大的平臺, Aston™ 可以取代多種傳統(tǒng)工具, 提供半導(dǎo)體制程中 ALD, CVD, 蝕刻, ALE 和腔室在大批量生產(chǎn)中的氣體偵測分析, 實(shí)現(xiàn)尾氣在線監(jiān)控, 診斷并在一系列應(yīng)用中提供的控制水平, 適用于光刻, 電介質(zhì)和導(dǎo)電蝕刻及沉積, 腔室清潔, 腔室匹配和消解.

Aston™ 質(zhì)譜分析儀耐受腐蝕性氣體和氣化污染物冷凝液, 能夠在半導(dǎo)體生產(chǎn)遇到的惡劣工況下可靠運(yùn)行, 與傳統(tǒng)質(zhì)量分析儀相比, 使用 Aston™ 的維修間隔更長. 它包括自清潔功能, 可消除由于某些工藝中存在的冷凝物沉積而導(dǎo)致的污垢積累.

Aston™ 質(zhì)譜分析儀 CVD 典型應(yīng)用: Dry pump 干泵排氣在線監(jiān)測,診斷
在惡劣的 CVD 環(huán)境中, Aston™ 利用可操作的數(shù)據(jù)預(yù)測和預(yù)防因 PV-CVD 干泵引起的災(zāi)難性故障, 能夠?qū)ζ茐男愿g或沉積進(jìn)行預(yù)測建模, 優(yōu)化氮?dú)獯祾叱杀?
適用場景: 多個(gè)腔室連接到1個(gè)干泵, 高濃度的電介質(zhì)會(huì)導(dǎo)致災(zāi)難性的泵故障 (一次損失 10-100 片的晶圓)

Aston CVD 典型應(yīng)用: Dry pump 干泵排氣在線監(jiān)測,診斷

通過使用上海伯東 Atonarp 過程控制質(zhì)譜儀 Aston™ 可以提高半導(dǎo)體制造工藝的產(chǎn)量, 吞吐量和效率, 此款質(zhì)譜儀可以在新工藝腔室的組裝過程中進(jìn)行安裝, 也可將其加裝到已運(yùn)行的現(xiàn)有腔室, 可在短時(shí)間內(nèi)實(shí)現(xiàn)晶圓更高產(chǎn)量!