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0.1μm超小型粒子計數器KANOMAX 3950在半導體芯片制造環(huán)境中的應用

時間:2024/8/16閱讀:212
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在半導體芯片制造過程中,對生產環(huán)境的潔凈度要求非常高,必須禁止因粉塵顆粒、工藝偏差等因素造成晶體短路或斷路,控制凈化環(huán)境下的作業(yè)現(xiàn)場中超微小顆粒物數量,以保證產品質量和提升產品良率,特別是對于0.1μm粒子的檢測至關重要。

0.1μm超小型粒子計數器KANOMAX 3950在半導體芯片制造環(huán)境中的應用

在半導體芯片生產過程中,粒子計數器主要應用于:

1. Fab廠的制造工藝檢測:在晶圓的光刻、涂膠顯影、刻蝕等多個工藝環(huán)節(jié)中,使用粒子計數器檢測環(huán)境中的塵埃粒子,確保工藝的精確性。

2. gao端封裝過程:在晶圓切割封裝過程中,粒子計數器同樣發(fā)揮著關鍵作用,保證封裝質量。

3. 半導體設備生產工藝的質量監(jiān)測:通過粒子計數器對設備工藝點進行監(jiān)控,確保生產過程的穩(wěn)定性和產品質量。

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參考法規(guī)和標準:

粒子計數器嚴格遵守ISO 21501-4法規(guī),并滿足ISO 14644-1(2015)潔凈室懸浮粒子測試方法的要求,適用于class 1至6級的潔凈室環(huán)境。

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使用方法:

參照ISO14644-1(2015)法規(guī)的內容,針對不同潔凈度等級下監(jiān)測粒徑的上限要求,通過法規(guī)內容的計算方法測算采樣點數及每個點采樣時間,對儀器進行設定后,按照該方法進行逐個點位測試。

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KANOMAX公司推出的超小型塵埃粒子計數器3950-00,同時監(jiān)測0.1μm0.3μm的單位體積內的微小粒子個數,也可作為傳感器嵌入生產設備實時監(jiān)測作業(yè)現(xiàn)場的超微粒子,為凈化作業(yè)環(huán)境的潔凈度評定提供依據,為芯片制造保駕護航!

0.1μm超小型粒子計數器KANOMAX 3950在半導體芯片制造環(huán)境中的應用


Kanomax塵埃粒子計數器3950-00,不僅將經典品質傳承,而且實現(xiàn)了嵌入組裝在半導體制造等裝置中。

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既往產品尺寸難以嵌入半導體制造裝備中使用,本產品通過壓倒性的小型化,使傳感器嵌入設備中使用變?yōu)楹啽阋仔小?/span>

0.1μm超小型粒子計數器KANOMAX 3950在半導體芯片制造環(huán)境中的應用


致輕、致小,采樣量2.83L/min,同時測試0.1μm、0.3μm微小粒子,4.3英寸彩色觸摸屏顯示屏,可使用附帶軟件在PC上顯示測試數據。設有RS-485、EthernetUSB通訊接口。

0.1μm超小型粒子計數器KANOMAX 3950在半導體芯片制造環(huán)境中的應用

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