TESCAN S8000G鎵離子型雙束掃描電鏡 測(cè)量、工具顯微鏡

TESCAN S8000G鎵離子型雙束掃描電鏡

S8000G是TESCAN新S8000系列掃描電鏡的*個(gè)新成員，是一款超高分辨雙束FIB-SEM系統(tǒng)，它可以提供的圖像質(zhì)量，具有強(qiáng)大的擴(kuò)展分析能力，并能以的精度、效率完成復(fù)雜的納米加工和操作，可滿(mǎn)足現(xiàn)今工業(yè)研發(fā)和學(xué)術(shù)界研究的所有需求。

S8000G FIB-SEM的優(yōu)點(diǎn)：
新一代鏡筒內(nèi)電子加速、減速技術(shù)，保證了復(fù)雜樣品的低電壓高分辨觀(guān)測(cè)能力

*配置的靜電-電磁復(fù)合物鏡，物鏡無(wú)磁場(chǎng)外泄，實(shí)現(xiàn)磁性樣品高分辨成像及分析

配置4個(gè)新一代探測(cè)器，可實(shí)現(xiàn)9種圖像觀(guān)測(cè)，對(duì)樣品信息的采集更加全面

配置大型樣品室，有超過(guò)20個(gè)擴(kuò)展接口，為原位觀(guān)測(cè)、分析創(chuàng)造了良好的工作環(huán)境

可以配置TESCAN自有或第三方的多種擴(kuò)展分析附件，并實(shí)現(xiàn)與TOF-SIMS、Raman聯(lián)用

新一代操作軟件和自動(dòng)功能，F(xiàn)IB鏡筒具有全自動(dòng)的離子鏡筒對(duì)中，*簡(jiǎn)化了操作

新一代 Orage™ Ga FIB鏡筒，適用于各類(lèi)具有挑戰(zhàn)性的納米加工任務(wù)

TESCAN S8000G鎵離子型雙束掃描電鏡配置了新的BrightBeam™鏡筒，實(shí)現(xiàn)了無(wú)磁場(chǎng)超高分辨成像，可以大化的實(shí)現(xiàn)各種分析，包括磁性樣品的分析。新型鏡筒中的電子光路設(shè)計(jì)增強(qiáng)了低能量電子成像分辨率，特別適合對(duì)電子束敏感樣品和不導(dǎo)電樣品的分析。創(chuàng)新的Orage™ Ga FIB鏡筒配有*的離子槍和離子光學(xué)鏡筒，使得TESCAN S8000G成為了世界的樣品制備和納米圖形成型的儀器。

S8000G束流可達(dá)100nA，具有超快速的加工能力，新穎的SmartMill高速切割功能，使得加工效率提升一倍。
S8000G離子能量低可達(dá)500eV，擁有更優(yōu)秀的低壓樣品制備能力，可以快速制備無(wú)損超薄TEM樣品。
可以配置TESCAN自有或第三方的多種擴(kuò)展分析附件，并實(shí)現(xiàn)與TOF-SIMS、Raman一體化。

新一代OptiGIS™氣體注入系統(tǒng)

S8000可配置新的多種探測(cè)器，包括透鏡內(nèi)Axial detector 以及 Multidetector，可選擇不同角度和不同能量來(lái)收集信號(hào)，體現(xiàn)更多種類(lèi)的信息，同時(shí)獲得更好的表面靈敏度和對(duì)比度。S8000G有兩種氣體注入系統(tǒng)可供選擇，標(biāo)準(zhǔn)的5針-GIS和新一代OptiGIS單針-GIS，單針的OptiGIS支持通過(guò)更換氣罐來(lái)更換化學(xué)氣體，避免了以往多針氣體注入系統(tǒng)樣品倉(cāng)內(nèi)占用空間大的問(wèn)題。

兩種氣體注入系統(tǒng)均可以選擇多種沉積氣體，其中W、Pt、C等用于導(dǎo)電材料沉積，SiOx用于絕緣材料沉積，XeF2、H2O等用于增強(qiáng)刻蝕，或其它定制氣體。

新一代Essence™操作軟件，更簡(jiǎn)單、高效的操作平臺(tái)

S8000可配置新的多種探測(cè)器新操作軟件*簡(jiǎn)化了用戶(hù)界面，能快速訪(fǎng)問(wèn)各主要功能，減少了繁瑣的下單菜單操作，并優(yōu)化了操作流程向?qū)?，易于學(xué)習(xí)，兼容多用戶(hù)需求，可根據(jù)工作需要定制操作界面。

新穎的樣品艙內(nèi)3D空間位置和移動(dòng)軌跡模擬功能，可避免誤操作，造成碰撞。