蘇州市創(chuàng)聯(lián)凈化設備有限公司

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聯(lián)人:
厲干勝  
址:
中國 江蘇 蘇州 蘇州相城區(qū)渭塘鎮(zhèn)西湖工業(yè)區(qū)
編:
鋪:
http://hg2288855.com/st61867/
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半導體器件清洗廢水處理方案
半導體器件清洗廢水處理方案
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具體成交價以合同協(xié)議為準
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  • 所在地 蘇州市

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更新時間:2023-02-20 12:13:08瀏覽次數(shù):185

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【簡單介紹】
半導體器件清洗廢水處理方案
【詳細說明】

半導體器件廢水處理方案

 

 
 
 

一、項目簡介

 

 某半導體器件生產廢水情況如下:含氟清洗廢水、研磨清洗廢水、有機廢水(因產生量較少,濃度高,委托第三方處置單位處置)、酸堿廢水,廢水性質主要為清洗廢水,濃度較低,容易處理。廢水經過系統(tǒng)處理后達到國家污水綜合排放標準級標準和納管排放。

 
 
 

二、設計技術規(guī)范及相關標準

 
本污水處理項目的設計,施工與安裝嚴格執(zhí)行國家的專業(yè)技術規(guī)范與標準,其主要規(guī)范與標準如下:
 
●《污水綜合排放標準》                  GB8978-1996標準
 
●《鋼結構設計規(guī)范》                   GB500172017   
 
《固定式鋼梯和平臺要求》               GB 4053—2009
 
●《機械設備安裝工程施工及驗收規(guī)范》        GB50231-2009
 
●《現(xiàn)場設備、工業(yè)管道焊接施工及驗收規(guī)范》     GB50236-2011
 
●《電力裝置的繼電保護和自動裝置設計規(guī)范》     GBT50062-2008
 
●《電氣裝置施工及驗收規(guī)范》              GB-50254-96
 
●《分散型控制系統(tǒng)工程設計規(guī)范》           HGT-20573-2012
 
●《工業(yè)與民用供配電系統(tǒng)設計規(guī)范》          GB-50052-2009
 
●《低壓配電裝置及線路設計規(guī)范》           GB50054-2011  
 
 
 

三、項目由來

 
該廠區(qū)主要廢水生產廢水來源于以下:
 

3.1、含氟清洗廢水及處理單元預估出水情況

處理工藝

項目

水量(t/a)

pH

COD(mg/l)

SS(mg/l)

F-(mg/l)

氯化物(mg/l)

一級反應沉淀池

進水

11520

3-4

50

25

300

30

出水

11520

4-5

40

17.5

60

30

去除效率%

-

/

20

30

80

/

二級反應沉淀池

進水

11520

4-5

40

17.5

60

30

出水

11520

5-6

32

7

12

30

去除效率%

-

/

20

60

80

/

pH調節(jié)池

進水

11520

5-6

32

7

12

30

出水

11520

6-9

32

7

12

30

 
 
 

3.2、研磨清洗廢水及處理單元預估出水情況

處理工藝

項目

水量(t/a)

pH

COD(mg/l)

SS(mg/l)

反應沉淀

進水

3840

6-9

100

800

出水

3840

7-10

100

200

去除效率%

-

/

0

75

pH調節(jié)池

進水

3840

7-10

100

200

出水

3840

6-9

100

200

 
 
 
3.3、含有機物清洗廢水
 
有機清洗廢水排放量較少,僅為144m3/a,經現(xiàn)場收集后委托有資質單位處理處置。
 
 
 

 

3.4、酸堿廢水及處理單元預估出水情況

處理工藝

項目

水量(t/d)

pH

COD

SS

氨氮

總氮

總磷

硫酸鹽

氯化物

一級反應沉淀

進水

77220

4-7

60

200

15

40

10

800

70

出水

77220

5-8

48

30

15

36

5

400

70

去除效率%

/

/

20

85

/

10

50

50

/

二級中和

進水

77220

5-8

48

30

15

36

5

400

70

出水

77220

6-9

43

30

15

36

5

400

70

去除效率%

/

/

10

/

/

/

/

/

/

pH調節(jié)池

進水

77220

6-9

43

30

15

36

5

400

70

出水

77220

6-9

43

30

15

36

5

400

70

 
 經詳細了解,該廢水主要污染物為PHSS值,廢水性質簡單,水質較穩(wěn)定,未見明顯復雜成分。經過化學調整PH和混凝沉淀后,可以保證達標。
 
 
 
 
 
 

四.污水處理工程建設規(guī)模及處理程度

 

4.1處理規(guī)模(按照環(huán)評意見,每年工作日330天,24小時生產)

 

序號

廢水名稱

廢水產生量

1

含氟清洗廢水

10T/h

2

研磨清洗廢水

5t/h

4

酸堿廢水

40t/h

5

合計

55t/h

考慮到相關的不確定因素,本方案中設計略放余量,按照300t/d廢水處理能力設計。
 
 
 

4.2處理出水指標

 
該生產清洗廢水經處理后排放,參考標準為《污水綜合排放標準》GB8978-1996級標準,具體監(jiān)測因子及水質指標見下表。
 

污水排放標準  單位:mg/L pH值除外)

污染物名稱

水質標準限值

標準來源

pH

69

《污水綜合排放標準》

GB8978-1996三級標準

BOD5

300

COD

500

SS

400

NH3-H

25

動植物油

10

石油類

20

磷酸鹽(以p計)

5

總氮

/

氨氮

25

氟化物

20

 

 
 
 

五、清洗廢水處理工藝

 

5.1前處理清洗廢水處理工藝方案的選擇與確定(具體工藝參見工藝流程圖)

 
5.1.1含氟廢水工藝說明
 
  含氟清洗廢水進入含氟清洗廢水收集池后,經過PH調整、并添加氯化鈣(CaCl2)產生無害的氟化鈣(CaF2)沉淀,經投加混凝劑(PAC)、絮凝劑(PAM)進行混凝沉降,總除氟效率達到96%以上。含氟廢水采用氯化鈣作沉淀劑處理工藝,為成熟可靠工藝。
 
5.1.2研磨廢水處理工藝說明
 
  研磨清洗廢水進入研磨廢水收集池均質后,通過提升泵提升,調整pH值后加入PAC,PAM充分反應后,進入斜管沉淀池,總除SS效率達到90%,處理后廢水經pH調節(jié)槽進入排放系統(tǒng),產生的污泥進入污泥槽,經污泥脫水形成泥餅,外運。
 
5.1.3酸堿廢水處理工藝說明
 

  一般酸堿廢水采用酸堿中和法處理,酸堿廢水經管道收集后流入廢水處理站的酸堿廢水收集池;依次進入PH調整池,PH調整池中設計PH在線檢測儀,根據(jù)PH情況,添加堿液后,再投加一定量的PAC和PAM絮凝劑后,進入沉淀池,防止SS值超標。

  經沉淀后的廢水進入pH調節(jié)槽,經檢測合格后(pH值達到6~9范圍內)排入公司生產廢水排水管道。       

  蘇州市創(chuàng)聯(lián)凈化設備有限公司,專業(yè)提供工業(yè)純水設備、廢水處理設備、中水回用設備。產品涉及半導體微電子行業(yè)、汽車零部件表面處理、制藥科研、食品、精洗化工行業(yè)。

 

 

 

 

 

 

 

 

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