詳細介紹
無錫冠亞制冷加熱控溫系統(tǒng)的典型應用:
高壓反應釜冷熱源動態(tài)恒溫控制、
雙層玻璃反應釜冷熱源動態(tài)恒溫控制、
雙層反應釜冷熱源動態(tài)恒溫控制、
微通道反應器冷熱源恒溫控制;
小型恒溫控制系統(tǒng)、
蒸餾系統(tǒng)控溫、
材料低溫高溫老化測試、
組合化學冷源熱源恒溫控制、
半導體設備冷卻加熱、
真空室制冷加熱恒溫控制。
型號 | SUNDI-320 | SUNDI-420W | SUNDI-430W | |
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介質溫度范圍 | -30℃~180℃ | -40℃~180℃ | -40℃~200℃ | |
控制系統(tǒng) | 前饋PID ,無模型自建樹算法,PLC控制器 | |||
溫控模式選擇 | 物料溫度控制與設備出口溫度控制模式 可自由選擇 | |||
溫差控制 | 設備出口溫度與反應物料溫度的溫差可控制、可設定 | |||
程序編輯 | 可編制5條程序,每條程序可編制40段步驟 | |||
通信協(xié)議 | MODBUS RTU 協(xié)議 RS 485接口 | |||
物料溫度反饋 | PT100 | |||
溫度反饋 | 設備進口溫度、設備出口溫度、反應器物料溫度(外接溫度傳感器)三點溫度 | |||
導熱介質溫控精度 | ±0.5℃ | |||
反應物料溫控精度 | ±1℃ | |||
加熱功率 | 2KW | 2KW | 3KW | |
制冷能力 | 180℃ | 1.5kW | 1.8kW | 3kW |
50℃ | 1.5kW | 1.8kW | 3kW | |
0℃ | 1.5kW | 1.8kW | 3kW | |
-5℃ | 0.9kW | 1.2kW | 2kW | |
-20℃ | 0.6kW | 1kW | 1.5kW | |
-35℃ | 0.3kW | 0.5kW | ||
循環(huán)泵流量、壓力 | max10L/min 0.8bar | max10L/min 0.8bar | max20L/min 2bar | |
壓縮機 | 海立/泰康/思科普 | |||
膨脹閥 | 丹佛斯/艾默生熱力膨脹閥 | |||
蒸發(fā)器 | 丹佛斯/高力板式換熱器 | |||
操作面板 | 7英寸彩色觸摸屏,溫度曲線顯示、記錄 | |||
安全防護 | 具有自我診斷功能;冷凍機過載保護;高壓壓力開關,過載繼電器、熱保護裝置等多種安全保障功能。 | |||
密閉循環(huán)系統(tǒng) | 整個系統(tǒng)為全密閉系統(tǒng),高溫時不會有油霧、低溫不吸收空氣中水份,系統(tǒng)在運行中不會因為高溫使壓力上升,低溫自動補充導熱介質。 | |||
制冷劑 | R-404A/R507C | |||
接口尺寸 | G1/2 | G1/2 | G1/2 | |
水冷型 W 溫度 20度 | 450L/H 1.5bar~4bar G3/8 | 550L/H 1.5bar~4bar G3/8 | ||
外型尺寸 cm | 45*65*87 | 45*65*87 | 45*65*120 | |
正壓防爆尺寸 | 70*75*121.5 | 70*75*121.5 | ||
標配重量 | 55kg | 55kg | 85kg | |
電源 | AC 220V 50HZ 2.9kW(max) | AC 220V 50HZ 3.3kW(max) | AC380V 50HZ 4.5kW(max) | |
外殼材質 | SUS 304 | SUS 304 | SUS 304 | |
選配 | 正壓防爆 后綴加PEX | |||
選配 | 可選配以太網(wǎng)接口,配置電腦操作軟件 | |||
選配 | 選配外置觸摸屏控制器,通信線距離10M | |||
選配電源 | 100V 50HZ單相,110V 60HZ 單相,230V 60HZ 單相, 220V 60HZ 三相,440V~460V 60HZ 三相 |
反應釜制冷加熱冷卻一體機 TCU控溫單元
反應釜制冷加熱冷卻一體機 TCU控溫單元
半導體制造是一個高度復雜的工藝過程,其中恒溫器的使用對于確保生產過程的穩(wěn)定性和產品質量比較重要。半導體專用工藝過程恒溫器能夠準確控制生產環(huán)境中的溫度,為半導體材料的生長、摻雜、刻蝕等工藝步驟提供條件。以下是半導體專用工藝過程恒溫器操作中的幾個關鍵注意點:
1、準確的溫度控制:半導體生產過程中,冠亞制冷半導體專用工藝過程恒溫器能夠準確控制并維持設定的溫度值,通常需要在±0.1℃甚至更小的范圍內波動。因此,半導體專用工藝過程恒溫器的校準和維護是日常操作中的環(huán)節(jié)。
2、快速的響應速度:半導體工藝過程中,溫度的快速變化可能導致材料結構的突變,影響產品質量。半導體專用工藝過程恒溫器需要具備快速響應的能力,能夠在短時間內調整溫度至設定值,以應對生產過程中的情況。
3、良好的熱均勻性:半導體專用工藝過程恒溫器內的熱分布須均勻,以避免產品因溫度梯度導致的性能不一致。在設計恒溫器時,需要充分考慮熱傳導、對流和輻射等因素,確保工作區(qū)域內的溫度分布穩(wěn)定且均勻。
4、可靠的措施:半導體生產設備通常運行在高精度和高價值的狀態(tài)下,半導體專用工藝過程恒溫器的安全性能比較重要。這包括過熱保護、電源保護、故障報警等功能,以確保在設備出現(xiàn)問題時能夠及時切斷電源并發(fā)出警報,防止設備損壞和生產中斷。
5、智能的控制系統(tǒng):半導體專用工藝過程恒溫器通常配備智能控制系統(tǒng),能夠實現(xiàn)遠程監(jiān)控、數(shù)據(jù)記錄和分析等功能。操作人員可以通過控制系統(tǒng)實時了解恒溫器的運行狀態(tài),并根據(jù)生產需要調整參數(shù),提高生產效率。
6、定期的維護保養(yǎng):半導體專用工藝過程恒溫器作為長期運行的設備,需要定期進行維護保養(yǎng),包括清潔、檢查傳感器、更換老化的部件等。這不僅可以確保設備的穩(wěn)定運行,還可以延長設備的使用壽命。
7、嚴格的操作規(guī)程:冠亞制冷半導體專用工藝過程恒溫器操作人員需要接受專業(yè)培訓,熟悉半導體專用工藝過程恒溫器的操作規(guī)程和注意事項。在操作過程中,應嚴格按照規(guī)程執(zhí)行,避免因誤操作導致設備故障或產品質量問題。
綜上所述,半導體專用工藝過程恒溫器的操作涉及多個方面的注意事項,需要操作人員具備專業(yè)知識和嚴謹?shù)墓ぷ鲬B(tài)度,以確保生產過程的穩(wěn)定性和產品質量的可靠性。
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