低溫等離子體技術(shù)是一個(gè)集物理學(xué)、化學(xué)、生物學(xué)和環(huán)境科學(xué)于一體的交叉綜合性技術(shù)，是目前國內(nèi)外大氣污染治理中zui富有前景zui行之有效的技術(shù)方法之一，該技術(shù)顯著特點(diǎn)是對污染物兼具物理作用、化學(xué)作用和生物作用。其中凈化作用機(jī)理包含兩個(gè)方面：一是在產(chǎn)生等離子體的過程中，高頻放電所產(chǎn)生的瞬間高能量能夠打開某些有害氣體分子的化學(xué)能，使之分解為單質(zhì)原子或無害分子，二是等離子體中包含大量的高能電子、正負(fù)離子、激發(fā)態(tài)粒子和具有強(qiáng)氧化性的自由基，這些活性粒子和部分廢氣分子碰撞結(jié)合，在電場作用下，廢氣分子處于激發(fā)態(tài)，當(dāng)廢氣分子獲得的能量大于其分子鍵能的結(jié)合能時(shí)，廢氣分子的分子鍵斷裂，直接分解成單質(zhì)原子或由單一原子構(gòu)成得無害氣體分子。同時(shí)產(chǎn)生的大量·OH、·HO₂ 、·O等活性自由基和氧化性*的O₃，能與有害氣體分子發(fā)生化學(xué)反應(yīng)，zui后生成無害產(chǎn)物。