SBC-12小型離子濺射儀

本儀器主要用于掃描電子顯微鏡樣品鍍覆導(dǎo)電膜（金膜），儀器操作簡(jiǎn)單方便，是配合中小型掃描電子顯微鏡制樣的儀器。

應(yīng)用領(lǐng)域：電鏡樣品制備（可濺射金、鉑、銀、銅、鋁等）

技術(shù)指標(biāo)

金靶尺寸：Ф58毫米

真空檢測(cè)：皮氏計(jì)

電壓:220V/50Hz

玻璃處理室：Ф100mm，高度130mm

試樣臺(tái)尺寸：Ф40mm可同時(shí)放6個(gè)樣品杯

真空系統(tǒng)：直聯(lián)旋片真空泵2L/S

真空保護(hù)：20Pa配有微量充氣閥調(diào)節(jié)工作真空

工作室工作媒介氣體：空氣或氬氣，配有氬氣專用進(jìn)氣口和微量充氣調(diào)節(jié)