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詳細(xì)介紹
該設(shè)備實在簡易型近空間升華爐的基礎(chǔ)上改進(jìn)而來，溫區(qū)更長，管徑更大，對開式結(jié)構(gòu)溫場對稱性更好，散熱更快。源坩堝和襯底總成分別放置在兩個石英托架內(nèi)，放置在爐膛內(nèi)部的石英管軌道上。
1. 爐膛開門結(jié)構(gòu)分為左右兩個獨(dú)立單元，上下兩排燈管分別獨(dú)立控溫，加熱結(jié)束后爐膛均可通過按鈕控制或自動分開成兩半，管子暴露在室溫環(huán)境下，底部兩個風(fēng)扇強(qiáng)制風(fēng)冷對其散熱。
2. 主爐體下方分為兩個區(qū)域，分別為電器控制部分和真空部分。電器控制部分內(nèi)有溫控電路和機(jī)械動作控制器等。真空部分包含一臺直聯(lián)旋片式機(jī)械真空泵、數(shù)顯真空計和正壓保護(hù)電路。
3. 石英管固定通過兩端法蘭上的支撐固定架與爐體螺栓固定連接，保證管子和法蘭位置始終不變。
| 爐膛模式： | 前后移動開啟式爐膛 |
| 顯示模式： | 7英寸觸摸屏 |
| 加熱元件： | 短紅外波燈管，上下水平面獨(dú)立加熱 |
| 工作溫度： | ≤800℃ |
| 升溫速率： | 10℃/s |
| 樣品移動： | 無 |
| 溫區(qū)長度： | 300mm（恒溫區(qū)100*100mm） |
| 溫度均勻性： | ≤±3℃ |
| 爐管規(guī)格： | Φ150*700mm |
| 控溫精度： | ±1℃ |
| 密封方式： | 快速法蘭密封 |
| 儀表補(bǔ)償： | 室溫自動補(bǔ)償 |
| 溫度曲線： | 10段"時間—溫度曲線"任意可設(shè)，預(yù)存100條工藝曲線 |
| 外殼溫度： | ≤50℃（室溫≤25℃） |
| 超溫報警： | 有 |
| 過流保護(hù)： | 有 |
| 斷偶提示： | 有 |
| 測溫元件： | K型鎧裝熱電偶 |
| 爐膛材料： | 氧化鋁纖維 |
| 外形尺寸： | 1100*800*1300MM |
| 整機(jī)功率： | 20kw |
| 電源參數(shù)： | 220V 50Hz |
| 真空與氣氛： | |
| 抽真空能力： | 大氣到≤5Pa小于5min |
| 氣壓范圍： | 10-3Pa～105Pa，機(jī)械泵極限≤5Pa |
| 泄漏率： | ≤5-4（Pa*m3/s） |
| 真空計范圍： | 大氣到10-4Pa，分辨率0.01Pa |
| 氣路系統(tǒng)： | |
| 1路進(jìn)氣口，內(nèi)有管道布?xì)?。?/td> | |
| 超壓保護(hù)（≥1atm），根據(jù)設(shè)定壓力值自動排氣： | |
| 其它功能： | |
| 溫度數(shù)據(jù)存儲： | 可存儲大于3個月的數(shù)據(jù) |
| 數(shù)據(jù)導(dǎo)出： | U盤導(dǎo)出excel或csv格式 |
| 工藝曲線： | 觸摸屏可顯示設(shè)定曲線預(yù)覽 |
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