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1200度單溫區(qū)PECVD系統(tǒng)min型PECVD系統(tǒng)

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詳細(xì)技術(shù)參數(shù)TL1200-S管式爐型號(hào)TL1200-S-PECVD-ITL1200-S-PECVD-II功率1

詳細(xì)介紹

詳細(xì)技術(shù)參數(shù)

TL1200-S 管式爐

 

 

 

型號(hào)

TL1200-S-PECVD-I

TL1200-S-PECVD-II

 功率

1.5KW

1.5KW

  爐管尺寸

Dia25(OD)X800mm

Dia50(OD)X800mm

 

高純石英管:25/50*800mm(管徑可選)

兩邊各放置一個(gè)爐塞,爐塞可以阻擋爐管中心的熱輻射,必須在加熱前放置在爐膛的正確位置

 

 外形尺寸(LXDXH)

800X290X415

800X290X415

電源電壓

220V

相數(shù)

單相

加熱元件

進(jìn)口瑞典Canthal  A1 電阻絲    點(diǎn)擊進(jìn)入資料下載

控制方式

 

 采用宇電程序控溫儀表(標(biāo)配)

1、30段程序控溫智能PID調(diào)節(jié)。

2、具有過溫保護(hù) 斷偶保護(hù)過溫或斷偶時(shí)電爐加熱電路自動(dòng)切斷,,(當(dāng)電爐溫度超過1200度或熱電偶燒斷時(shí),

主電路上的交流繼電器會(huì)自動(dòng)斷開,主電路斷開,面板上ON燈熄滅,OFF燈亮,有限的保護(hù)電爐)。

3、帶有485 通訊接口(選購(gòu)軟件時(shí)標(biāo)配)

4、具有斷電保護(hù)功能,即斷電后再給電啟動(dòng)爐子時(shí)、程序不是從起始溫度開始升、而是從斷電時(shí)爐溫開始升。

5、儀表具有溫度自整定的功能

(更換進(jìn)口儀表,需要另外付費(fèi),選購(gòu))

                                                    

FP93控溫儀表                          歐陸儀表                   觸摸屏儀表

(日本島電)

控溫模式

智能PID

斷偶保護(hù)和顯示

過溫保護(hù)

過流保護(hù)

控制精度

+/- 1 ℃

觸發(fā)器

移相觸發(fā)

電器

浙江正泰

可控硅

106/16E 德國(guó)西門康

溫度

1200 ℃

額定溫度

1100 ℃

升溫速率

≤20 ℃/ Min (可根據(jù)要求修改)

推薦升溫速率

≤10℃/ Min

熱電偶型號(hào)

K  型 

加熱段長(zhǎng)度

400mm

電器認(rèn)證

四周表面溫度

≤45℃

閥門和法蘭

 

射頻電源

(等離子體發(fā)生器)

 

功率輸出范圍

  0-500W

 

 

 

 

 

反射功率 

200W

工作頻率

射頻:13.56MHZ±0.005%

功率穩(wěn)定度

  +/-0.1%

諧波分量

≤-50dbc

射頻區(qū)域?qū)挾?/p>

0-600mm 可調(diào)

匹配方式 

 自動(dòng)

 冷卻方式

 分冷

 噪聲

 <50dB

射頻接口

 50Ω   N-type

輸入電源 

 208-240V  50/60HZ

 

GX供氣系統(tǒng)主要參數(shù)

 

質(zhì)量流量計(jì)

 

 

量程和氣體

  5、10、20、30、50、100、200、300、500SCCM、1、2、3、5、10SLM  (你可以任意選擇以上量程和所通氣體的類型)

耐壓

3MP

流量控制精度

±1.0%F.S

工作(使用)壓力

0.3MPa

線性

±0.5%F.S.

重復(fù)精度

±0.2% F.S

路數(shù)

   1 、2、3、4、5、6、7、8 路(可任意選擇幾路)

接頭類型

 雙卡套不銹鋼接頭

系統(tǒng)工作壓力范圍

0.1~0.5 MPa

工作溫度

 5-45℃

壓力真空表表

-0.1~0.15MPa    0.01MPa/格

靜態(tài)混氣室

 Dia50 X 400MM

接口

 Dia6  / 1/4”

VS-0.1抽氣系統(tǒng)

方案一或方案二任選一個(gè)

 

 

 

電源

  220V

尺寸

 650X650X600    /    650X650X300

波紋管

 KF25X1000mm

用該系統(tǒng)抽爐管真空度可達(dá)

 10 -1Pa

真空擋板閥

 KF25

 

VRD-8真空泵

方案一

型號(hào)

VRD-8

極限分壓強(qiáng)

5X10-2 Pa

進(jìn)排氣接口

 KF25

電機(jī)轉(zhuǎn)速

1440RPM

抽氣速率

 2.2L/S

電機(jī)功率

0.4KW

Preiffer ACP15無(wú)油多級(jí)羅茨泵

方案二

型號(hào) ACP15
電源  AC100-240   50/60HZ
功率 450W
重量 25KG
氦氣漏率 5 · 10-8 Pa m3/s 
抽氣速率 14  m3/h
極限壓強(qiáng) 0.02Torr
進(jìn)、排氣接口 KF25

電阻真空計(jì)

(方案一)

   型號(hào)

ZDR-1

   功率

25W

  真空度測(cè)量范圍

0.1-10 Pa

   電阻硅

ZJ-52T

    

 

 

 

 

瑞典(INFICON)皮拉尼陶瓷電容真空計(jì)

  (方案二)

 

 

 

 

   

 

     型號(hào)

PCG554

  輸入電壓

 24V  1A DC(配有220V變壓器)

真空計(jì)接口

KF16

數(shù)字顯示

數(shù)字顯示(屏幕尺寸為20x14mm),其數(shù)據(jù)顯示單位為torr

產(chǎn)品尺寸

46mm×28mm×126mm ( L x W x H)

重量

5 lbs

檢測(cè)氣體

可檢測(cè)各種氣體,包括混合氣體,測(cè)量精確、重復(fù)性好。

是否防腐

防腐

響應(yīng)時(shí)間

≤30ms

測(cè)量范圍

3.8x10-5 -1125 Torr.

分子泵機(jī)組(選購(gòu))

(方案一或方案二任選一個(gè))

機(jī)組輸入電壓

380V /220V

波紋管

KF40X1000

真空擋板閥

KF40

機(jī)箱尺寸

600X600X600

分子泵

(方案一)

 分子泵型號(hào)

  FJ620

  輸入電壓

 380V

  分子泵進(jìn)氣口法蘭

  DN160

分子泵抽氣速率L/S(對(duì)空氣)

  600

分子泵極限壓強(qiáng)(Pa)

6×10-7

冷卻方式

 水冷

冷卻水壓(MPa)

 0.1-0.2

冷卻水溫度

<25℃

環(huán)境溫度

0~40℃

建議啟東壓強(qiáng)

<100pa

分子泵前級(jí)真空TRP-24

(FJ620分子泵必須要配此前級(jí)泵)

(方案二)

  

功率

0.75KW

電壓

380V

轉(zhuǎn)速

1450rpm

進(jìn)氣口徑

 KF25/KF40

前機(jī)泵抽氣速率(L/S)

6

極限壓強(qiáng)

4X10 -2Pa

 

 

德國(guó)Pfeiffer真空泵(方案二)

 

電壓

220V

功率

110W

抽氣接口

KF40

重量

150KG

前機(jī)泵抽速

0.9m 3/ h

抽氣速率(N2)

33L/S

 

復(fù)合真空計(jì)

復(fù)合真空計(jì)型號(hào)

ZDF

 電源

 220V   55W

控制精度

± 1%

 真空計(jì)測(cè)量范圍

10-5 -10 Pa

質(zhì)保期

一年保修,終身技術(shù)支持

特別提示:1.耗材部分如加熱元件,石英管,樣品坩堝等不在保修期內(nèi)。

2.因使用腐蝕性氣體和酸性氣體造成的損害不在保修范圍內(nèi)。

注意事項(xiàng)

1.爐管內(nèi)氣壓不可高于0.02MPa

2.由于氣瓶?jī)?nèi)部氣壓較高,所以向爐管內(nèi)通入氣體時(shí),氣瓶上必須安裝減壓閥,為了確保安全,建議使用壓力低于0.02MPa

3.當(dāng)爐體溫度高于1000℃時(shí),爐管內(nèi)不可處于真空狀態(tài),爐管內(nèi)的氣壓需和大氣壓相當(dāng)

4.進(jìn)入爐管的氣體流量需小于200SCCM,以避免冷的氣流對(duì)熱爐管的沖擊

5.對(duì)于樣品加熱的實(shí)驗(yàn),不建議關(guān)閉爐管法蘭端的抽氣閥和進(jìn)氣閥使用。若需要關(guān)閉氣閥對(duì)樣品加熱,則需時(shí)刻關(guān)注壓力表的示數(shù),若氣壓表示數(shù)大于0.02MPa,必須立刻打開排氣閥,以防意外發(fā)生(如爐 管破裂,法蘭飛出等)

 

 TL1200-S-PECVD系統(tǒng),由TL1200-S小型真空管式爐、石英真空室、射頻電源、GX供氣系統(tǒng)、抽氣系統(tǒng)、真空測(cè)量系統(tǒng)組成。

 主要特點(diǎn):

     1、通過射頻電源把石英真空室內(nèi)的氣體變?yōu)殡x子態(tài)。

     2、PECVD比普通CVD進(jìn)行化學(xué)氣相沉積所需的溫度更低

     3、可以通過射頻電源的頻率來控制所沉積薄膜的應(yīng)力大小

     4、PECVD比普通CVD進(jìn)行化學(xué)氣相沉積速率高、均勻性好、一致性和穩(wěn)定性高。

     5、廣泛應(yīng)用于:各種薄膜的生長(zhǎng),如:SiOx, SiNx, SiOxNy 和無(wú)定型硅(a-Si:H) 等。

 

   這款TL1200-S-PECVD系統(tǒng)以優(yōu)質(zhì)電阻絲為加熱元件,采用雙層殼體結(jié)構(gòu)和30段程序控溫儀表,過零觸發(fā)、可控硅控制,爐膛采用氧化鋁多晶纖維材料,爐管兩端能不銹鋼法蘭密封,不銹鋼法蘭上安裝有氣嘴、閥門和壓力表,抽真空時(shí)真空度能夠達(dá)到10-3 Pa,具有溫場(chǎng)均衡、表面溫度低、升降溫度速率快、節(jié)能、等優(yōu)點(diǎn)。  

開蓋保護(hù)系統(tǒng):該爐安裝有行程開關(guān),當(dāng)爐蓋打開時(shí)會(huì)自動(dòng)切斷電源,有效地保證使用者的安全。

 

 

 1、瑞典Kanthal A1 電阻絲

                                     

           

        Kanthal A1 原絲                                               國(guó)產(chǎn)電阻絲爐膛                         VS                                進(jìn)口電阻絲爐膛

 

(1)、表面溫度高可達(dá)1420

(2)、表面為不銹鋼色(非常亮、客戶識(shí)別時(shí)要注意)、不會(huì)生銹,使用時(shí)間再長(zhǎng)都不會(huì)掉渣。

(3)、Kanthal電阻絲資料下載

(4)、Kanthal電阻絲網(wǎng)站:

(5)、電阻均衡、溫場(chǎng)均衡性好

 

 

                                                                                                                                                           

大部分廠家使用的首鋼生產(chǎn)的Fe-Cr-Al Alloy doped by Mo 電阻絲                     Kanthal  A1 電阻絲 電阻均勻 、 發(fā)熱量均衡

有時(shí)候電阻不均衡、一部分發(fā)熱量大一部分發(fā)熱量小                                             溫場(chǎng)效果好                 

 

2、安裝有空氣開關(guān)和漏電保護(hù)器:

當(dāng)電路過流或漏電時(shí),空開會(huì)自動(dòng)斷開。

 

3、可以與電腦連接

該爐配有通訊接口和軟件,可以直接通過電腦控制爐子的各個(gè)參數(shù),并能從電腦上觀察到爐子上PV和SV溫度值和儀表的運(yùn)行情況,爐子的實(shí)際升溫曲線電腦會(huì)實(shí)時(shí)繪出,并能把每個(gè)時(shí)刻的溫度數(shù)據(jù)保存起來,隨時(shí)可以調(diào)出

 

 

4、爐膛

 

     

1、真空吸濾成型的優(yōu)質(zhì)高純氧化鋁多晶纖維固化爐膛。

2、采用成型。

3、爐膛里電阻絲的間距和節(jié)距全部按日本的熱工技術(shù)布置、經(jīng)過熱工軟件模擬溫場(chǎng)

4、采用4周加熱,溫場(chǎng)更加均衡

 

5、可選UL認(rèn)證電氣板 (全部通過UL認(rèn)證的進(jìn)口電器)

 

 

6、認(rèn)證

     

 

7、法蘭

                                                    

鉸鏈?zhǔn)椒ㄌm(選購(gòu))           可以接電阻真空計(jì)和KF25波紋管的法蘭(選購(gòu))                 水冷法蘭(選購(gòu))

                                

 

 

 

 

 

TL1200-S-PECVD系統(tǒng)標(biāo)配

描敘

數(shù)量

圖片

TL1200管式爐

1 套

 

石英管

1根

不銹鋼法蘭

1 套

        

不銹鋼爐鉤

1 個(gè)

氧化鋁爐塞

1對(duì)

高溫手套

1 雙

氧化鋁坩堝

1 個(gè)

K型熱電偶 1個(gè)

485轉(zhuǎn)換接口和軟件(選配)

1 套

說明書

1本

 

法蘭支撐架

1 份

 

供氣系統(tǒng) 

1臺(tái)
VS-0.1抽氣系統(tǒng) 1臺(tái)
射頻電源 1臺(tái)

卡套 4個(gè)                                       
波紋管 1支                                    
真空擋板閥 1個(gè)                           
鋼瓶接頭(N代表路數(shù)) N個(gè)                  
閥門接頭 2                              
聚四氟乙烯管(N代表路數(shù)) NX5                         

 

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