詳細(xì)介紹
主要技術(shù)參數(shù)
TL1200-1200滑動管式爐
| 型號 | TL1200-1200-H-PECVD-I | TL1200-1200-H-PECVD-II | TL1200-1200-H-PECVD-III | |
功率 | 3KW | 3KW | 4KW | ||
爐管尺寸 | Dia60(OD)X1800mm | Dia80(OD)X1800mm | Dia 100(OD) X1800mm | ||
外形尺寸(LXDXH) | 1800X410X610 | 1800X410X610 | 1800X460X660 | ||
電源電壓 | 220V | ||||
滑軌材質(zhì) | 304不銹鋼 | ||||
滑動方式 | 不銹鋼滾動軸承 | ||||
相數(shù) | 單相 | ||||
加熱元件 | 進(jìn)口瑞典Canthal A1 電阻絲 點(diǎn)擊進(jìn)入資料下載 | ||||
控制方式
| 采用宇電程序控溫儀表(標(biāo)配) 1、30段程序控溫智能PID調(diào)節(jié)。 2、具有過溫保護(hù) 斷偶保護(hù)過溫或斷偶時電爐加熱電路自動切斷,,(當(dāng)電爐溫度超過1200度或熱電偶燒斷時, 主電路上的交流繼電器會自動斷開,主電路斷開,面板上ON燈熄滅,OFF燈亮,有限的保護(hù)電爐)。 3、帶有485 通訊接口(選購軟件時標(biāo)配) 4、具有斷電保護(hù)功能,即斷電后再給電啟動爐子時、程序不是從起始溫度開始升、而是從斷電時爐溫開始升。 5、儀表具有溫度自整定的功能
(更換進(jìn)口儀表,需要另外付費(fèi),選購)
FP93控溫儀表 歐陸儀表 觸摸屏儀表 (日本島電) | ||||
控溫模式 | 智能PID | ||||
斷偶保護(hù)和顯示 | 有 | ||||
過溫保護(hù) | 有 | ||||
過流保護(hù) | 有 | ||||
控制精度 | +/- 1 ℃ | ||||
觸發(fā)器 | 移相觸發(fā) | ||||
電器 | 浙江正泰 | ||||
可控硅 | 106/16E 德國西門康 | ||||
溫度 | 溫區(qū)一:1200 ℃ 溫區(qū)二:1200 ℃ | ||||
額定溫度 | 溫區(qū)一:1100 ℃ 溫區(qū)二:1100 ℃ | ||||
升溫速率 | ≤20 ℃/ Min (可根據(jù)要求修改) | ||||
推薦升溫速率 | ≤10℃/ Min | ||||
熱電偶型號 | 溫區(qū)一:K 型 溫區(qū)二:K 型 | ||||
加熱段長度 | 溫區(qū)一:220mm 溫區(qū)二:220 mm | ||||
電器認(rèn)證 | |||||
四周表面溫度 | ≤45℃ | ||||
閥門和法蘭
| |||||
射頻電源 (等離子體發(fā)生器)
| 功率輸出范圍 | 0-500W | |||
反射功率 | 200W | ||||
工作頻率 | 射頻:13.56MHZ±0.005% | ||||
功率穩(wěn)定度 | +/-0.1% | ||||
諧波分量 | ≤-50dbc | ||||
射頻區(qū)域?qū)挾?/p> | 0-600mm 可調(diào) | ||||
匹配方式 | 自動 | ||||
冷卻方式 | 分冷 | ||||
噪聲 | <50dB | ||||
射頻接口 | 50Ω N-type | ||||
輸入電源 | 208-240V 50/60HZ | ||||
GX供氣系統(tǒng)主要參數(shù)
| 流量控制和檢測采用
D07-7C 質(zhì)量流量計
| 標(biāo)準(zhǔn)量程 | 采用質(zhì)子流量控制器 5、10、20、30、50、100、200、300、500SCCM、1、2、3、5、10SLM (你可以任意選擇量程和所通氣體的類型) | ||
工作壓力 | 3MP | ||||
準(zhǔn)確度 | ±1.5% | ||||
氣壓降 | <0.01mpa< p=""> | ||||
重復(fù)精度 | ±0.2% F.S | ||||
路數(shù) | 1 、2、3、4、5、6、7、8 路(可任意選擇幾路) | ||||
接頭類型 | 雙卡套不銹鋼接頭 | ||||
系統(tǒng)工作壓力范圍 | 0.1~0.5 MPa | ||||
工作溫度 | 5-45℃ | ||||
壓力真空表表 | -0.1~0.15MPa 0.01MPa/格 | ||||
靜態(tài)混氣室 | Dia50 X 400MM | ||||
接口 | Dia6 1/4” | ||||
VS-0.1抽氣系統(tǒng)
| 電源 | 220V | |||
尺寸 | 600X600X600 | ||||
波紋管 | KF25X1000mm | ||||
用該系統(tǒng)抽爐管真空度可達(dá) | 10 -1Pa | ||||
真空擋板閥 | KF25 | ||||
VRD-8真空泵 | 型號 | VRD-8 | |||
極限分壓強(qiáng) | 5X10-2 Pa | ||||
進(jìn)排氣接口 | KF25 | ||||
電機(jī)轉(zhuǎn)速 | 1440RPM | ||||
抽氣速率 | 2.2L/S | ||||
電機(jī)功率 | 0.4KW | ||||
Perfeer ACP15無油多級羅茨泵
(方案 二) | 型號 | ACP15 | |||
電源 | AC100~240V 50/60HZ | ||||
功率 | 450W | ||||
抽、排氣接口 | KF25 | ||||
重量 | 25KG | ||||
氦氣漏率 | 5 · 10-8 Pa m3/s | ||||
極限真空度 | 0.02 Torr | ||||
抽氣速率 | 14 m3/h | ||||
電阻真空計 | 型號 | ZDR-1 | |||
功率 | 25W | ||||
真空度測量范圍 | 0.1-10 5 Pa | ||||
電阻硅 | ZJ-52T | ||||
瑞典(INFICON)皮拉尼陶瓷電容真空計(選購)
| 型號 | PCG554 | |||
輸入電壓 | 24V 1A DC(配有220V變壓器) | ||||
真空計接口 | KF16 | ||||
數(shù)字顯示 | 數(shù)字顯示(屏幕尺寸為20x14mm),其數(shù)據(jù)顯示單位為torr | ||||
產(chǎn)品尺寸 | 46mm×28mm×126mm ( L x W x H) | ||||
重量 | 5 lbs | ||||
檢測氣體 | 可檢測各種氣體,包括混合氣體,測量精確、重復(fù)性好。 | ||||
是否防腐 | 防腐 | ||||
響應(yīng)時間 | ≤30ms | ||||
測量范圍 | 3.8x10-5 -1125 Torr. | ||||
分子泵機(jī)組(選購) | 機(jī)組輸入電壓 | 380V /220V | |||
波紋管 | KF40X1000 | ||||
真空擋板閥 | KF40 | ||||
機(jī)箱尺寸 | 600X600X600 | ||||
分子泵 (方案一)
| 分子泵型號 | FJ620 | |||
輸入電壓 | 380V | ||||
分子泵進(jìn)氣口法蘭 | DN160 | ||||
分子泵抽氣速率L/S(對空氣) | 600 | ||||
分子泵極限壓強(qiáng)(Pa) | 6×10-7 | ||||
冷卻方式 | 水冷 | ||||
冷卻水壓(MPa) | 0.1-0.2 | ||||
冷卻水溫度 | <25℃< p=""> | ||||
環(huán)境溫度 | 0~40℃ | ||||
建議啟東壓強(qiáng) | <100pa< p=""> | ||||
前機(jī)真空泵RVP-6 (方案一)
| 功率 | 0.75KW | |||
電壓 | 380V | ||||
轉(zhuǎn)速 | 1450rpm | ||||
進(jìn)氣口徑 | KF25/KF40 | ||||
前機(jī)泵抽氣速率(L/S) | 6 | ||||
極限壓強(qiáng) | 4X10 -2Pa | ||||
德國Pfeiffer真空泵(方案二)
| 電壓 | 220V | |||
功率 | 110W | ||||
抽氣接口 | KF40 | ||||
重量 | 150KG | ||||
前機(jī)泵抽速 | 0.9m 3/ h | ||||
抽氣速率(N2) | 33L/S | ||||
復(fù)合真空計 | 復(fù)合真空計型號 | ZDF | |||
電源 | 220V 55W | ||||
控制精度 | ± 1% | ||||
真空計測量范圍 | 10-5 -10 5 Pa |
保修期
一年保修,終身技術(shù)支持
特別提示:1.耗材部分如加熱元件,石英管,樣品坩堝等不在保修期內(nèi)。
2.因使用腐蝕性氣體和酸性氣體造成的損害不在保修范圍內(nèi)。
注意事項
1.爐管內(nèi)氣壓不可高于0.02MPa
2.由于氣瓶內(nèi)部氣壓較高,所以向爐管內(nèi)通入氣體時,氣瓶上必須安裝減壓閥,為了確保安全,建議使用壓力低于0.02MPa
3.當(dāng)使用的爐管為剛玉管時,爐體溫度高于1500℃時,爐管內(nèi)不可處于真空狀態(tài),爐管內(nèi)的氣壓需和大氣壓相當(dāng)
4.進(jìn)入爐管的氣體流量需小于200SCCM,以避免冷的氣流對熱爐管的沖擊
5.對于樣品加熱的實驗,不建議關(guān)閉爐管法蘭端的抽氣閥和進(jìn)氣閥使用。若需要關(guān)閉氣閥對樣品加熱,則需時刻關(guān)注壓力表的示數(shù),若氣壓表示數(shù)大于0.02MPa,必須立刻打開排氣閥,以防意外發(fā)生(如爐 管破裂,法蘭飛出等)
6.不要在氧化鋁管中使用石墨坩堝
7.MoSi2加熱元件不得長時間在在低溫下(400℃-700℃)使用,否則將可能損壞加熱元件
TL1200-1200 滑竿式雙溫區(qū)PECVD系統(tǒng),由TL1200-1200滑竿式雙溫區(qū)真空管式爐、石英真空室、射頻電源、GX供氣系統(tǒng)、抽氣系統(tǒng)、真空測量系統(tǒng)組成。
主要特點(diǎn):
1、通過射頻電源把石英真空室內(nèi)的氣體變?yōu)殡x子態(tài)。
2、PECVD比普通CVD進(jìn)行化學(xué)氣相沉積所需的溫度更低
3、可以通過射頻電源的頻率來控制所沉積薄膜的應(yīng)力大小
4、PECVD比普通CVD進(jìn)行化學(xué)氣相沉積速率高、均勻性好、一致性和穩(wěn)定性高。
5、廣泛應(yīng)用于:各種薄膜的生長,如:SiOx, SiNx, SiOxNy 和無定型硅(a-Si:H) 等。
這款TL1200-1200 滑竿式雙溫區(qū)PECVD系統(tǒng)是一款能夠快速加熱、冷卻雙溫區(qū)PECVD系統(tǒng),是在雙溫區(qū)PECVD系統(tǒng)上安裝一對滑軌,可用手動滑動系統(tǒng)。加熱和冷卻速率可達(dá)100°C/min。為取得加熱,可以預(yù)先加熱爐子到設(shè)定的溫度,然后移動爐子到樣品位置。為獲得冷卻,可在樣品加熱后移動爐子到另一端。加熱和冷卻速率在真空或者惰性氣體環(huán)境下可以達(dá)到10°C/s,是低成本快速加熱、冷卻的雙溫區(qū)PECVD系統(tǒng)。
1、瑞典Kanthal A1 電阻絲
Kanthal A1 原絲 國產(chǎn)電阻絲爐膛 VS 進(jìn)口電阻絲爐膛
(1)、表面溫度高可達(dá)1420℃
(2)、表面為不銹鋼色(非常亮、客戶識別時要注意)、不會生銹,使用時間再長都不會掉渣。
(3)、Kanthal電阻絲資料下載
(4)、Kanthal電阻絲網(wǎng)站:
(5)、電阻均衡、溫場均衡性好
大部分廠家使用的首鋼生產(chǎn)的Fe-Cr-Al Alloy doped by Mo 電阻絲 Kanthal A1 電阻絲 電阻均勻 、 發(fā)熱量均衡
有時候電阻不均衡、一部分發(fā)熱量大一部分發(fā)熱量小 溫場效果好
2、安裝有空氣開關(guān)和漏電保護(hù)器:
當(dāng)電路過流或漏電時,空開會自動斷開。
3、可以與電腦連接
該爐配有通訊接口和軟件,可以直接通過電腦控制爐子的各個參數(shù),并能從電腦上觀察到爐子上PV和SV溫度值和儀表的運(yùn)行情況,爐子的實際升溫曲線電腦會實時繪出,并能把每個時刻的溫度數(shù)據(jù)保存起來,隨時可以調(diào)出
4、爐膛
1、真空吸濾成型的優(yōu)質(zhì)高純氧化鋁多晶纖維固化爐膛。
2、采用成型。
3、爐膛里電阻絲的間距和節(jié)距全部按日本的熱工技術(shù)布置、經(jīng)過熱工軟件模擬溫場
4、采用4周加熱,溫場更加均衡
5、可選UL認(rèn)證電氣板 (全部通過UL認(rèn)證的進(jìn)口電器)
6、認(rèn)證
7、法蘭
鉸鏈?zhǔn)椒ㄌm(選購) 可以接電阻真空計和KF25波紋管的法蘭(選購) 水冷法蘭(選購)
TL1200-1200雙溫區(qū)滑動式PECVD系統(tǒng)標(biāo)配
描敘 | 數(shù)量 | 圖片 |
TL1200-1200滑動式管式爐 | 1 套 | |
石英管 | 1根 | |
不銹鋼法蘭 | 1 套 |
|
不銹鋼爐鉤 | 1 個 | |
氧化鋁爐塞 | 3個 | |
高溫手套 | 1 雙 | |
氧化鋁坩堝 | 1個 | |
K型熱電偶 | 1個 | |
485轉(zhuǎn)換接口和軟件(選配) | 1 套 | |
說明書 | 1本 |
|
法蘭支撐架 | 1 份 |
|
供氣系統(tǒng) | 1臺 | |
VS-0.1抽氣系統(tǒng) | 1臺 | |
射頻電源 | 1臺 |
|
卡套 | 4個 | |
波紋管 | 1支 | |
真空擋板閥 | 1個 | |
鋼瓶接頭(N代表路數(shù)) | N個 | |
閥門接頭 | 2個 | |
聚四氟乙烯管(N代表路數(shù)) | NX5 | |