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1200度雙溫區(qū)滑竿式CVD系統(tǒng)

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  • 1200度雙溫區(qū)滑竿式CVD系統(tǒng)

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更新時(shí)間:2023-12-08 22:08:28瀏覽次數(shù):165

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產(chǎn)品簡(jiǎn)介

1200度雙溫區(qū)滑竿式CVD系統(tǒng)

詳細(xì)介紹

主要技術(shù)參數(shù)

 

TL1200-1200滑動(dòng)管式爐

 

 

 

 

 

 

 

型號(hào)

TL1200-1200-H-C-I

TL1200-1200-H-C-II  

TL1200-1200-H-C-IIII

TL1200-1200-H-C-IV

 功率

3KW

3KW

4KW

4KW

  爐管尺寸

Dia60(OD)X1500mm

Dia80(OD)X1500mm

Dia100(OD)X1500mm

Dia120(OD)X1500mm

外形尺(LXDXH)

1500X450X600

1500X450X600

1500X510X650

1500X510X650

電源電壓

220V

相數(shù)

單相

加熱元件

   進(jìn)口瑞典Canthal  A1 電阻絲      點(diǎn)擊進(jìn)入資料下載

控制方式

 

 采用宇電程序控溫儀表(標(biāo)配)

1、30段程序控溫智能PID調(diào)節(jié)。

2、具有過(guò)溫保護(hù) 斷偶保護(hù)過(guò)溫或斷偶時(shí)電爐加熱電路自動(dòng)切斷,,(當(dāng)電爐溫度超過(guò)1200度或熱電偶燒斷時(shí),主電路上的交流繼電器會(huì)自動(dòng)斷開(kāi),主電路斷開(kāi),面板上ON燈熄滅,OFF燈亮,有限的保護(hù)電爐)。

3、帶有485 通訊接口(選購(gòu)軟件時(shí)標(biāo)配)

4、具有斷電保護(hù)功能,即斷電后再給電啟動(dòng)爐子時(shí)、程序不是從起始溫度開(kāi)始升、而是從斷電時(shí)爐溫開(kāi)始升。

5、儀表具有溫度自整定的功能

(更換進(jìn)口儀表,需要另外付費(fèi),選購(gòu))

                                                     

FP93控溫儀表                          歐陸儀表                   觸摸屏儀表

(日本島電)

控溫模式

智能PID

斷偶保護(hù)和顯示

過(guò)溫保護(hù)

過(guò)流保護(hù)

控制精度

+/- 1 ℃

觸發(fā)器

移相觸發(fā)

電器

浙江正泰

可控硅

106/16E 德國(guó)西門(mén)康

溫度

溫區(qū)一:1200 ℃                                         溫區(qū)二:1200 ℃

額定溫度

溫區(qū)一:1100 ℃                                         溫區(qū)二:1100 ℃ 

升溫速率

≤30 ℃/ Min (可根據(jù)要求修改)

推薦升溫速率

≤15℃/ Min

熱電偶型號(hào)

溫區(qū)一:K  型                                              溫區(qū)二:K 型  

加熱段長(zhǎng)度

溫區(qū)一:200mm                                          溫區(qū)二:200 mm

電器認(rèn)證

四周表面溫度

≤45℃

閥門(mén)和法蘭

 

 

GX供氣系統(tǒng)主要參數(shù)

 

流量控制和檢測(cè)采用

 

 D07-7C

質(zhì)量流量計(jì) 

標(biāo)準(zhǔn)量程

采用質(zhì)子流量控制器       5、10、20、30、50、100、200、300、500SCCM、1、2、3、5、10SLM  (你可以任意選擇量程和所通氣體的類型)

工作壓力

3MP

準(zhǔn)確度

 ±1.5%

氣壓降

<0.01mpa< p="">

重復(fù)精度

±0.2% F.S

路數(shù)

   1 、2、3、4、5、6、7、8 路(可任意選擇幾路)

接頭類型

 雙卡套不銹鋼接頭

系統(tǒng)工作壓力范圍

0.1~0.5 MPa

工作溫度

 5-45℃

壓力真空表表

-0.1~0.15MPa    0.01MPa/格

靜態(tài)混氣室

 Dia50 X 400MM

接口

 Dia6   1/4”

VS-0.1抽氣系統(tǒng)

 

 

 

電源

  220V

尺寸

 600X600X600

波紋管

 KF25X1000mm

用該系統(tǒng)抽爐管真空度可達(dá)

 10 -1Pa

真空擋板閥

 KF25

 

VRD-8真空泵

 

型號(hào)

VRD-8

  極限分壓強(qiáng)

5X10-2 Pa

   進(jìn)排氣接口

 KF25

    電機(jī)轉(zhuǎn)速

1440RPM

抽氣速率

 2.2L/S

    電機(jī)功率

0.4KW

Perfeer ACP15

無(wú)油多級(jí)羅茨泵 

     

  (方案 二)

型號(hào) ACP15
電源 AC100~240V    50/60HZ
功率 450W
抽、排氣接口 KF25
重量 25KG
氦氣漏率 5 · 10-8 Pa m3/s 
極限真空度 0.02 Torr
抽氣速率 14  m3/h

電阻真空計(jì)

   型號(hào)

ZDR-1

   功率

25W

  真空度測(cè)量范圍

0.1-10 Pa

   電阻硅

ZJ-52T

    

 

 

 

 

瑞典(INFICON)皮拉尼陶瓷電容真空

 (選購(gòu))

   

 

 

 

   

 

型號(hào)

PCG554

  輸入電壓

 24V  1A DC(配有220V變壓器)

真空計(jì)接口

KF16

數(shù)字顯示

數(shù)字顯示(屏幕尺寸為20x14mm),其數(shù)據(jù)顯示單位為torr

產(chǎn)品尺寸

46mm×28mm×126mm ( L x W x H)

重量

5 lbs

檢測(cè)氣體

可檢測(cè)各種氣體,包括混合氣體,測(cè)量精確、重復(fù)性好。

是否防腐

防腐

響應(yīng)時(shí)間

≤30ms

測(cè)量范圍

3.8x10-5 -1125 Torr.

分子泵機(jī)組(選購(gòu))

機(jī)組輸入電壓

380V /220V

波紋管

KF40X1000

真空擋板閥

KF40

機(jī)箱尺寸

600X600X600

分子泵

(方案一)

 

 分子泵型號(hào)

  FJ620

  輸入電壓

 380V

  分子泵進(jìn)氣口法蘭

  DN160

分子泵抽氣速率L/S(對(duì)空氣)

  600

分子泵極限壓強(qiáng)(Pa)

6×10-7

冷卻方式

 水冷

冷卻水壓(MPa)

 0.1-0.2

冷卻水溫度

<25℃< p="">

環(huán)境溫度

0~40℃

建議啟東壓強(qiáng)

<100pa< p="">

前機(jī)真空泵RVP-6

(方案一)

 

  

功率

0.75KW

電壓

380V

轉(zhuǎn)速

1450rpm

進(jìn)氣口徑

 KF25/KF40

前機(jī)泵抽氣速率(L/S)

6

極限壓強(qiáng)

4X10 -2Pa

 

 

德國(guó)Pfeiffer真空

(方案二)

 

電壓

220V

功率

110W

抽氣接口

KF40

重量

150KG

前機(jī)泵抽速

0.9m 3/ h

抽氣速率(N2)

33L/S

 

復(fù)合真空計(jì)

復(fù)合真空計(jì)型號(hào)

ZDF

 電源

 220V   55W

控制精度

± 1%

 真空計(jì)測(cè)量范圍

10-5 -10 Pa

 質(zhì)保期

一年保修,終身技術(shù)支持

特別提示:1.耗材部分如加熱元件,石英管,樣品坩堝等不在保修期內(nèi)。

2.因使用腐蝕性氣體和酸性氣體造成的損害不在保修范圍內(nèi)。

注意事項(xiàng)

1.爐管內(nèi)氣壓不可高于0.02MPa

2.由于氣瓶?jī)?nèi)部氣壓較高,所以向爐管內(nèi)通入氣體時(shí),氣瓶上必須安裝減壓閥,為了確保安全,建議使用壓力低于0.02MPa

3.當(dāng)使用的爐管為剛玉管時(shí),爐體溫度高于1500℃時(shí),爐管內(nèi)不可處于真空狀態(tài),爐管內(nèi)的氣壓需和大氣壓相當(dāng)

4.進(jìn)入爐管的氣體流量需小于200SCCM,以避免冷的氣流對(duì)熱爐管的沖擊

5.對(duì)于樣品加熱的實(shí)驗(yàn),不建議關(guān)閉爐管法蘭端的抽氣閥和進(jìn)氣閥使用。若需要關(guān)閉氣閥對(duì)樣品加熱,則需時(shí)刻關(guān)注壓力表的示數(shù),若氣壓表示數(shù)大于0.02MPa,必須立刻打開(kāi)排氣閥,以防意外發(fā)生(如爐 管破裂,法蘭飛出等)

6.不要在氧化鋁管中使用石墨坩堝

7.MoSi2加熱元件不得長(zhǎng)時(shí)間在在低溫下(400℃-700℃)使用,否則將可能損壞加熱元件

TL1200-1200-H雙溫區(qū)4通道滑竿式CVD系統(tǒng)由 4路供氣系統(tǒng)+TL1200-1200雙溫區(qū)滑動(dòng)管式爐+抽氣系統(tǒng)組成! 滑動(dòng)式CVD系統(tǒng)是在雙溫區(qū)管式爐爐底安裝一對(duì)滑軌,可用手滑動(dòng)。可以達(dá)到快速升降溫的目的,為取得加熱速率,可以預(yù)先加熱爐子到設(shè)定的溫度,然后移動(dòng)爐子到樣品區(qū)。為獲得冷卻,可在樣品加熱后移動(dòng)爐子到另一端。物料可以在真空或者惰性氣體環(huán)境下的升溫速率或降溫速率達(dá)到100°C/s,是低成本快速熱處理的理想爐子。

 

1、瑞典Kanthal A1 電阻絲

                 

           

        Kanthal A1 原絲                  國(guó)產(chǎn)電阻絲爐膛         VS        進(jìn)口電阻絲爐膛

 

(1)、表面溫度高可達(dá)1420

(2)、表面為不銹鋼色(非常亮、客戶識(shí)別時(shí)要注意)、不會(huì)生銹,使用時(shí)間再長(zhǎng)都不會(huì)掉渣。

(3)、Kanthal電阻絲資料下載

(4)、Kanthal電阻絲網(wǎng)站:

(5)、電阻均衡、溫場(chǎng)均衡性好

                                                                                       

大部分廠家使用的首鋼生產(chǎn)的Fe-Cr-Al Alloy doped by Mo 電阻絲     Kanthal  A1 電阻絲 電阻均勻 、 發(fā)熱量均衡

有時(shí)候電阻不均衡、一部分發(fā)熱量大一部分發(fā)熱量小                            溫場(chǎng)效果好                                                                           

 

2、安裝有空氣開(kāi)關(guān)和漏電保護(hù)器:

當(dāng)電路過(guò)流或漏電時(shí),空開(kāi)會(huì)自動(dòng)斷開(kāi)。

 

3、可以與電腦連接

該爐配有通訊接口和軟件,可以直接通過(guò)電腦控制爐子的各個(gè)參數(shù),并能從電腦上觀察到爐子上PV和SV溫度值和儀表的運(yùn)行情況,爐子的實(shí)際升溫曲線電腦會(huì)實(shí)時(shí)繪出,并能把每個(gè)時(shí)刻的溫度數(shù)據(jù)保存起來(lái),隨時(shí)可以調(diào)出

 

 

4、爐膛

 

 

1、真空吸濾成型的優(yōu)質(zhì)高純氧化鋁多晶纖維固化爐膛。

2、采用成型。

3、爐膛里電阻絲的間距和節(jié)距全部按日本的熱工技術(shù)布置、經(jīng)過(guò)熱工軟件模擬溫場(chǎng)

4、采用4周加熱,溫場(chǎng)更加均衡

 

5、可選UL認(rèn)證電氣板 (全部通過(guò)UL認(rèn)證的進(jìn)口電器)

 

 

6、認(rèn)證

     

 

7、底腳

         

 

 

       

 

 

 

 

 

描敘

數(shù)量

圖片

TL1200-1200 雙溫區(qū)滑動(dòng)管式爐

1 臺(tái)

石英管60mm OD x 1500mm L

1根

不銹鋼法蘭

1 套

不銹鋼爐鉤

1 根

氧化鋁爐塞

3個(gè)

高溫手套

1 對(duì)

氧化鋁坩堝

1 個(gè)

COM轉(zhuǎn)USB接口

1 套

說(shuō)明書(shū)

1 份

 

軟件

1份

 

 

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