產(chǎn)品展廳收藏該商鋪

您好 登錄 注冊(cè)

當(dāng)前位置:
南京博蘊(yùn)通儀器科技有限公司>>CVD/ PECVD/ALD系統(tǒng)>>ALD原子層氣相沉積系統(tǒng)>>1200度原子層氣相沉積系統(tǒng)

1200度原子層氣相沉積系統(tǒng)

返回列表頁(yè)
  • 1200度原子層氣相沉積系統(tǒng)

收藏
舉報(bào)
參考價(jià) 面議
具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)
  • 型號(hào)
  • 品牌
  • 廠商性質(zhì) 其他
  • 所在地 南京市

在線詢價(jià) 收藏產(chǎn)品 加入對(duì)比

更新時(shí)間:2023-12-03 19:10:40瀏覽次數(shù):137

聯(lián)系我們時(shí)請(qǐng)說(shuō)明是制藥網(wǎng)上看到的信息,謝謝!

聯(lián)系方式:查看聯(lián)系方式

產(chǎn)品簡(jiǎn)介

型號(hào)ALD-1200ALD控制面板1、5路控制溫控系統(tǒng)

詳細(xì)介紹

型號(hào) ALD-1200
ALD 控制面板

1 、5路控制溫控系統(tǒng),可以加熱ALD里管路和ALD容器內(nèi)液體

2、2路氣體脈沖交替控制系統(tǒng)(交替時(shí)間、交替次數(shù)等、用單片機(jī)或PLC 控制能夠達(dá)到ms

ALD閥門

 

1、能夠在不到 5 ms 內(nèi)完成閥門開啟或關(guān)閉

2、高速執(zhí)行下的超高循環(huán)壽命、在產(chǎn)品評(píng)估是循環(huán)次數(shù)超過(guò)了次

3、耐 熱 執(zhí) 行 器 、耐 溫 高 達(dá)200°C(392°F)

ALD原理 ALD化學(xué)氣相沉積是將不同的反應(yīng)前驅(qū)物以氣體脈沖的形式交替送入反應(yīng)室中并在沉積基體上化學(xué)吸附并反應(yīng)而形成沉積膜的一種方法(技術(shù))

源瓶

源瓶特點(diǎn)

1、所用管件采用316L不銹鋼,內(nèi)部經(jīng)400目機(jī)械拋光和電化學(xué)拋光,Ra≤0.25μm。

2、閥門采用美國(guó)世偉洛克球閥或隔膜閥。

3、密封墊片采用純銀鍍鎳墊片。

4、氦質(zhì)譜檢測(cè)泄漏率≤1.0*10mba L/s。

 

5、可盛裝化學(xué)品純度≥99.9995%。

 

6、總殘余元素量≤50PPb。

ALD簡(jiǎn)圖

1、 不銹鋼真空腔體與ALD管路連接

2、 2個(gè)ALD閥門、控制2路管道交替脈沖輸入

3、多根加熱管給ALD管道和石英容器加熱、保證被汽化液體保持汽化狀態(tài)進(jìn)入反應(yīng)區(qū)域。

4、多個(gè)球閥控制管路的通過(guò)。

5、多個(gè)旁通支路、可以通氣其他氣體或運(yùn)載氣體。

功率

3.6KW

管式爐 加熱區(qū)尺寸 160X540mm
電源 220V單相
加熱元件 國(guó)產(chǎn)優(yōu)質(zhì)電阻絲(可選配瑞典Kanthal A1進(jìn)口電阻絲)  點(diǎn)擊進(jìn)入資料下
控制方式

采用宇電程序控溫儀表(標(biāo)配)

1、30段程序控溫智能PID調(diào)節(jié)。

2、具有過(guò)溫保護(hù) 斷偶保護(hù)過(guò)溫或斷偶時(shí)電爐加熱電路自動(dòng)切斷,,(當(dāng)電爐溫度超過(guò)1200度或熱電偶燒斷時(shí),

主電路上的交流繼電器會(huì)自動(dòng)斷開,主電路斷開,面板上ON燈熄滅,OFF燈亮,有限的保護(hù)電爐)。

3、帶有485 通訊接口(選購(gòu)軟件時(shí)標(biāo)配)

4、具有斷電保護(hù)功能,即斷電后再給電啟動(dòng)爐子時(shí)、程序不是從起始溫度開始升、而是從斷電時(shí)爐溫開始升。

5、儀表具有溫度自整定的功能

斷偶保護(hù)和顯示
過(guò)溫保護(hù)
過(guò)流保護(hù)
控制精度 ±1
觸發(fā)器 移相觸發(fā)
電器 浙江正泰
可控硅 106/16E 德國(guó)西門康
溫度 1200 ℃
額定溫度 1100 ℃
升溫速率 ≤30 ℃/ Min 
推薦升溫速率 ≤10℃/ Min
熱電偶型號(hào) K  型
電器認(rèn)證
四周表面溫度 ≤45℃

質(zhì)量流量計(jì)

量程和氣體   5、10、20、30、50、100、200、300、500SCCM、1、2、3、5、10SLM  (你可以任意選擇以上量程和所通氣體的類型)
耐壓 3MP
流量控制精度 ±1.0%F.S
工作(使用)壓力 0.3MPa
線性 ±0.5%F.S.
重復(fù)精度 ±0.2% F.S
路數(shù) 1 、2、3、4、5、6、7、8 路(可任意選擇幾路)

真空泵

型號(hào) VRD-8
極限分壓強(qiáng) 5X10-2 Pa
進(jìn)排氣接口  KF25
電機(jī)轉(zhuǎn)速 1440RPM
抽氣速率  2.2L/S
電機(jī)功率 0.4KW

瑞典(INFICON)

  皮拉尼陶瓷電容真空計(jì)

型號(hào) PCG554
輸入電壓 24V  1A DC(配有220V變壓器)
真空計(jì)接口 KF16
數(shù)字顯示 數(shù)字顯示(屏幕尺寸為20x14mm),其數(shù)據(jù)顯示單位為torr
產(chǎn)品尺寸 46mm×28mm×126mm ( L x W x H)
重量 5 lbs
檢測(cè)氣體 可檢測(cè)各種氣體,包括混合氣體,測(cè)量精確、重復(fù)性好。
是否防腐 防腐
響應(yīng)時(shí)間 ≤30ms
測(cè)量范圍 3.8x10-5 -1125 Torr.

這款 ALD原子層氣相沉積系統(tǒng)由管式爐、不銹鋼真空室、抽氣系統(tǒng)、真空測(cè)量系統(tǒng)和ALD系統(tǒng)組成。

 管式爐以電阻絲為加熱元件,采用雙層殼體結(jié)構(gòu)和30段程序控溫儀表,移向觸發(fā)、可控硅控制,爐膛采用氧化鋁多晶纖維材料,

開蓋保護(hù)系統(tǒng):該爐安裝有行程開關(guān),當(dāng)爐蓋打開時(shí)會(huì)自動(dòng)切斷電源,有效地保證使用者的安全。

 

1、 電阻絲

                  

           

         原絲                                                    電阻絲爐膛

 

(1)、表面溫度高可達(dá)1420

(2)、表面為不銹鋼色(非常亮、客戶識(shí)別時(shí)要注意)、不會(huì)生銹,使用時(shí)間再長(zhǎng)都不會(huì)掉渣。

 

(3)、電阻均衡、溫場(chǎng)均衡性好

 

                                                           

 電阻絲 電阻均勻 、 發(fā)熱量均衡

       溫場(chǎng)效果好                 

 

2、安裝有空氣開關(guān)和漏電保護(hù)器:

當(dāng)電路過(guò)流或漏電時(shí),空開會(huì)自動(dòng)斷開。

3、可以與電腦連接

該爐配有通訊接口和軟件,可以直接通過(guò)電腦控制爐子的各個(gè)參數(shù),并能從電腦上觀察到爐子上PV和SV溫度值和儀表的運(yùn)行情況,爐子的實(shí)際升溫曲線電腦會(huì)實(shí)時(shí)繪出,并能把每個(gè)時(shí)刻的溫度數(shù)據(jù)保存起來(lái),隨時(shí)可以調(diào)出

 

 

4、爐膛

 

1、真空吸濾成型的優(yōu)質(zhì)高純氧化鋁多晶纖維固化爐膛。

2、采用成型。

3、爐膛里電阻絲的間距和節(jié)距全部按日本的熱工技術(shù)布置、經(jīng)過(guò)熱工軟件模擬溫場(chǎng)

4、采用4周加熱,溫場(chǎng)更加均衡

 

5、可選UL認(rèn)證電氣板 (全部通過(guò)UL認(rèn)證的進(jìn)口電器)

 

 

6、認(rèn)證

     

 

 

 

              

 

 

收藏該商鋪

請(qǐng) 登錄 后再收藏

提示

您的留言已提交成功!我們將在第一時(shí)間回復(fù)您~

對(duì)比框

產(chǎn)品對(duì)比 二維碼 意見(jiàn)反饋

掃一掃訪問(wèn)手機(jī)商鋪
在線留言