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微控?cái)U(kuò)散爐

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更新時(shí)間:2023-11-02 07:59:53瀏覽次數(shù):155

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產(chǎn)品簡(jiǎn)介

詳細(xì)說(shuō)明生產(chǎn)的系列熱工設(shè)備:全功能微控?cái)U(kuò)散系統(tǒng)【產(chǎn)品簡(jiǎn)介】該系統(tǒng)式生產(chǎn)半導(dǎo)體器件和大規(guī)模集成電路的重要工藝設(shè)備,廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體器件的擴(kuò)散、氧化、退火、燒結(jié)等工藝,也可用于磁性材料的燒結(jié)及機(jī)械行業(yè)的淬火、冶金行業(yè)的燒結(jié)

詳細(xì)介紹

詳細(xì)說(shuō)明

生產(chǎn)的系列熱工設(shè)備:

全功能微控?cái)U(kuò)散系統(tǒng)

【產(chǎn)品簡(jiǎn)介】

    該系統(tǒng)式生產(chǎn)半導(dǎo)體器件和大規(guī)模集成電路的重要工藝設(shè)備,廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體器件的擴(kuò)散、氧化、退火、燒結(jié)等工藝,也可用于磁性材料的燒結(jié)及機(jī)械行業(yè)的淬火、冶金行業(yè)的燒結(jié)。 

    控溫采用研制的高精度電腦控制系統(tǒng),產(chǎn)品質(zhì)量可靠,控制穩(wěn)定,操作簡(jiǎn)單,維修方便。

【產(chǎn)品特點(diǎn)】  

●工藝溫度段數(shù):1—14段,可選段運(yùn)行

●單段時(shí)間范圍:1—1080min/斜變段 1—9999min/恒溫段

●三個(gè)溫度測(cè)控回路獨(dú)立修正溫度測(cè)量值

●三個(gè)溫度測(cè)控點(diǎn)獨(dú)立修正溫度測(cè)量值

●PID參數(shù),溫度修正量可在線修改

●溫度設(shè)定單位:℃  分辨率:0.1℃

●工藝段時(shí)間設(shè)定單位:min,分辨率1min

●各類工藝數(shù)據(jù)斷電后長(zhǎng)期保存

●工藝氣體流量,推拉舟運(yùn)動(dòng)狀態(tài)有微機(jī)實(shí)行閉環(huán)控制

●中文顯示各類提示信息

【主要技術(shù)指標(biāo)】

●擴(kuò)散爐管數(shù):1—4管/臺(tái)

●爐管內(nèi)徑:Φ90—Φ240mm

●恒溫區(qū)長(zhǎng)度:≤600mm±1℃(300-#-800℃) 

             ≤600mm±0.5℃(800-#-1250℃)

●單點(diǎn)穩(wěn)定性:±1℃/24h(300-#-800℃)

             ±0.5℃/24h(800-#-1250℃)

●氣源路數(shù):≤6路/管

●氣源控制:MFC或浮子流量計(jì)

●推拉舟行程:1500mm

●推拉舟速度范圍及精度:(1—1000)±3mm

●推拉舟位置控制精度:≤3mm

●冷卻方式:水冷+風(fēng)冷

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