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廣州儀人分析儀器有限公司>>干燥箱>>DTN430C/630C/450C/650C雅馬拓潔凈厭氧高溫氣氛爐DTN

雅馬拓潔凈厭氧高溫氣氛爐DTN

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  • 型號 DTN430C/630C/450C/650C
  • 品牌
  • 廠商性質(zhì) 其他
  • 所在地 廣州市

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更新時間:2023-12-16 11:31:53瀏覽次數(shù):232

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產(chǎn)品簡介

潔凈度100級、氧濃度低于20ppm的氣氛爐,主要應(yīng)用于固化半導(dǎo)體晶圓等

詳細介紹

潔凈度100級、氧濃度低于20ppm的氣氛爐,主要應(yīng)用于固化半導(dǎo)體晶圓等。

特點

  • 工作溫度360℃和500℃。

  • 采用耐熱高性能高效過濾器,可在潔凈的環(huán)境下進行高溫烘烤。

  • 高氣密性的壓力箱構(gòu)造,氧濃度到達時間短,N2 消耗量極低。

  • 磁密封保持高氣密性,采用水冷機構(gòu)保護密封部件免受熱量影響。

  • 可實現(xiàn)快速升溫和降溫,升降溫速率可調(diào)節(jié)。

  • 標準裝備有廢液回收裝置,對氣體進行冷卻回收。

安全性

  • 門檢測開關(guān)

  • 溫度過升防止器

  • 氧濃度異常安全裝置

  • 氮氣壓力檢測

  • 氮氣流量檢測

  • 冷卻水流量檢測

  • 漏水傳感器

  • 過電流漏電漏電保護開關(guān)

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