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詳細(xì)介紹
產(chǎn)品名稱：滑桿式CVD系統(tǒng)
產(chǎn)品型號： CVD-12DZHVK 單溫區(qū)滑桿式CVD系統(tǒng)
CVD-12DZDHVK 雙溫區(qū)滑桿式CVD系統(tǒng)
CVD-12DZTHVK 三溫區(qū)滑桿式CVD系統(tǒng)
CVD系統(tǒng)應(yīng)用：
CVD是化學(xué)氣相沉積的英文簡寫，本公司生產(chǎn)的CVD系統(tǒng)是利用管式爐加熱，把構(gòu)成固態(tài)沉積物的氣態(tài)反應(yīng)劑或液態(tài)反應(yīng)劑的蒸氣及反應(yīng)所需其它氣體引入爐管內(nèi)，在爐管內(nèi)使氣態(tài)或蒸汽狀態(tài)的化學(xué)物質(zhì)在氣相或氣固界面上經(jīng)化學(xué)反應(yīng)形成固態(tài)沉積物的技術(shù)。
CVD系統(tǒng)分類：
CVD技術(shù)常常通過反應(yīng)類型或者壓力來分類，包括低壓CVD(LPCVD)，常壓CVD(APCVD)，亞常壓CVD(SACVD)，超高真空CVD(UHCVD)，等離子體增強(qiáng)CVD(PECVD)，高密度等離子體CVD(HDPCVD)以及快熱CVD(RTCVD)。然后，還有金屬有機(jī)物CVD(MOCVD)，根據(jù)金屬源的自特性來保證它的分類，這些金屬的典型狀態(tài)是液態(tài)，在導(dǎo)入容器之前必須先將它氣化。
CVD系統(tǒng)組成：
CVD系統(tǒng)=管式爐+真空抽氣系統(tǒng)+多路供氣系統(tǒng)（或者液態(tài)蒸發(fā)系統(tǒng)）
滑桿式CVD系統(tǒng)配置選擇：
配置一：雙溫區(qū)管式真空氣氛爐：
SK2-12DZH 單溫區(qū)滑管式管式真空氣氛爐，1200℃，管徑：25、50、60、80、100mm
SK2-12DZDH 雙溫區(qū)滑桿式管式真空氣氛爐，1200℃，管徑：60、80、100mm
SK2-15DZTH 三溫區(qū)滑桿式管式真空氣氛爐，1200℃，管徑：60、80、100mm
配置二：真空抽氣系統(tǒng)：
可以選配：LVSE-0.1；LVSE-0.1A；HVSE
LVSE-0.1低真空控制系統(tǒng)
產(chǎn)品應(yīng)用：
該系統(tǒng)為一組低真空機(jī)組設(shè)備，控制設(shè)備真空度小于1Pa一下；配合真空管式爐、箱式氣氛爐等真空設(shè)備使用
設(shè)備組成：設(shè)備由真空法蘭、高真空擋板閥、電阻真空計、真空波紋管、支架、真空泵組成
技術(shù)參數(shù)：
1、 真空泵：FX-16
2、 真空泵抽氣速度：16m3/h（4L/s）
3、 真空泵極限壓強(qiáng)：（Pa）≤4*10-2
4、 高真空擋板閥：KF25不銹鋼高真空擋板閥
5、 真空波紋管：KF25*1000mm
6、 真空計VRD-I:規(guī)管型號ZJ-53B/ZJ-54D短絲熱偶規(guī)
7、 電源功率：220v/50Hz；0.8kw
8、 出氣進(jìn)氣口規(guī)格：KF25
9、 連接口：2個KF25接口
LVSE-0.1A可調(diào)低真空控制系統(tǒng)
產(chǎn)品應(yīng)用：
該系統(tǒng)為一組低真空恒壓機(jī)組設(shè)備，控制設(shè)備真空壓力恒定在1.0KPa—100.0KPa之間；配合真空管式爐、箱式氣氛爐等真空設(shè)備使用
設(shè)備組成：設(shè)備由真空法蘭、高真空擋板閥、電阻真空計、真空波紋管、支架、真空泵、變速器、電動調(diào)節(jié)閥門等組成；
技術(shù)參數(shù)：
1、 真空泵：FX-16
2、 真空泵抽氣速度：16m3/h（4L/s）
3、 真空泵極限壓強(qiáng)：（Pa）≤4*10-2
4、 高真空擋板閥：KF25不銹鋼高真空擋板閥
5、 真空波紋管：KF25*1000mm
6、 真空計：VRD-I:
7、 規(guī)管型號ZJ-53B/ZJ-54D短絲熱偶規(guī)
8、 電源功率：220v/50Hz；0.8kw
9、 調(diào)速變頻器：0.75kw
10、 壓強(qiáng)控制范圍：1.0KPa—100KPa
11、 壓強(qiáng)控制精度：±1KPa
12、 出氣進(jìn)氣口規(guī)格：KF25
13、 連接口：2個KF25接口
HVSE高真空控制系統(tǒng):
產(chǎn)品應(yīng)用：
該系統(tǒng)為一組復(fù)合分子泵、前級抽氣泵機(jī)組設(shè)備，控制設(shè)備真空度小于8*10-4Pa；配合真空管式爐、箱式真空氣氛爐等高真空設(shè)備使用；廣泛應(yīng)用于表面分析、半導(dǎo)體設(shè)備、等離子體技術(shù)、電真空器件的制造及真空技術(shù)研究
設(shè)備組成：設(shè)備由復(fù)合分子泵、前級抽氣泵、隔斷放氣閥、前級管路、分子泵電源、高真空檢測系統(tǒng)（復(fù)合真空計）、控制電源組成
產(chǎn)品特點：
預(yù)抽氣旁路設(shè)計，前級抽氣不經(jīng)過分子泵避免預(yù)抽氣體中顆粒進(jìn)入分子泵
技術(shù)參數(shù)：
1、 前級真空泵：TRP-24
2、 真空泵抽氣速度：4L/s
3、 分子泵：FJ-620
4、 抽氣速率：600L/s
5、 分子泵極限壓強(qiáng)：6*10-6Pa
6、 建議啟動壓強(qiáng)：＜100Pa
7、 排氣口法蘭：KF40
8、 進(jìn)氣口法蘭：DN160LF
9、 波紋管：KF40*1000mm
10、 復(fù)合真空計：ZDF-III
11、 真空電磁擋板閥：KF40
12、 真空腔體真空度：＜8*10-4Pa
13、 工作電壓：220v/50Hz
配置三：多路供氣系統(tǒng)：
ZDS-X多路質(zhì)子流量計控制供氣系統(tǒng)
系統(tǒng)應(yīng)用：
ZDS-X多路質(zhì)子流量計控制供氣系統(tǒng)是實現(xiàn)多種氣體不同流量混合配比的供氣系統(tǒng)
設(shè)備組成：多路進(jìn)氣管路、質(zhì)子流量計、混氣罐、出氣管路組成
產(chǎn)品特點：
1、 幾路進(jìn)氣客戶自由定制，標(biāo)準(zhǔn)接口，方便連接
2、 液晶觸摸屏控制輸入每路氣體流量，實時查看各路氣體流量曲線
3、 每條氣路均設(shè)置高壓截止閥，方便切斷氣路
技術(shù)參數(shù)：
1、 氣體通路：X條客戶自由定制
2、 氣體類型：客戶自由選擇
3、 流量計量程：5—500SCCM；1—10SLM自由選擇
4、 工作電壓：220v/50Hz
5、 工作壓差：0.1-0.5MPa
6、 壓力：3MPa
7、 準(zhǔn)確度：±1.0%F.S
8、 質(zhì)子流量計相應(yīng)時間：＜1S
9、 測量范圍：0.1-0.15MPa
10、 混氣罐：304不銹鋼
11、 進(jìn)出氣接口：直徑6mm不銹鋼卡套接口
12、 管道：內(nèi)部管道采用直徑6mm不銹鋼管；外部管采用6mm聚四氟管
13、 控制系統(tǒng)：PLC控制系統(tǒng)，液晶觸摸屏輸入，每路氣路獨立控制
FDS-X多路浮子流量計控制供氣系統(tǒng)
系統(tǒng)應(yīng)用：
FDS-X多路浮子流量計控制供氣系統(tǒng)是實現(xiàn)多種氣體不同流量混合配比的供氣系統(tǒng)
設(shè)備組成：多路進(jìn)氣管路、浮子流量計、混氣罐、出氣管路組成
產(chǎn)品特點：
1、 幾路進(jìn)氣客戶自由定制，標(biāo)準(zhǔn)接口，方便連接
2、 手動調(diào)節(jié)浮子流量計，方便快接
3、 每條氣路均設(shè)置高壓截止閥，方便切斷氣路
技術(shù)參數(shù)：
1、 氣體通路：X條客戶自由定制
2、 氣體類型：客戶自由選擇
3、 流量計量程：10-100ml/min；25-250ml/min；50-500ml/min自由選擇
4、 壓力表：-0.1MPa---0.15MPa，0.01MPa/格
5、 混氣罐：304不銹鋼
6、 進(jìn)出氣接口：直徑6mm
7、 管道：內(nèi)部管道采用直徑6mm不銹鋼管
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