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詳細(xì)介紹
BESTACE 5系列氣體質(zhì)量流量計及控制器，采用了316不銹鋼接液材質(zhì)，具有高穩(wěn)定性、耐用性、低價位、小體積等優(yōu)點，被廣泛用于設(shè)備配套、過程控制、測試設(shè)備等場合。
5系列產(chǎn)品采用了熱式測量原理，因此也具備熱式原理的高精度、高靈敏性、寬量程比等特點，且無需平方根修正。同時采取了毛細(xì)管取樣方式，具有極低的能耗。每臺設(shè)備出廠前都會按照客戶的氣體、量程，嚴(yán)格地按照NIST標(biāo)準(zhǔn)進(jìn)行出廠校準(zhǔn)，同時，比例調(diào)節(jié)閥嵌入在流體通道內(nèi)，從而保證了精巧的體積。
技術(shù)參數(shù)
原理：熱式原理
量程：流量計5SCCM～30SLPM；控制器5SCCM～20SLPM
材質(zhì)：接液部位：316L不銹鋼
密封材質(zhì)：標(biāo)配氟橡膠（Viton）；丁納橡膠（Buna）
泄漏率：不超過1×10 毫升/秒，氦氣
環(huán)境溫度及介質(zhì)溫度：0-60℃
精度：1%F.S（包括線性精度）
量程比:100:1
響應(yīng)時間：1S
重復(fù)性：優(yōu)于0.15%F.S
壓力極限：500PSIG
壓降：流量計：250Pa
控制器：7-14kPa（500SCCM以下）
控制器：35kPa（500SCCM-20SLPM）
電源：24VDC@250mA（流量計）24VDC@350mA（控制器）
輸出：0-5VDC或4-20mA（此回路不可接入電源）
設(shè)定點信號：內(nèi)置0-5VDC或外置0-5VDC（需去掉跳線）
電氣連接：9針D接口（9 Pin Sub D）
溫度影響系數(shù)：優(yōu)于0.05%F.S/℃
壓力影響系數(shù)：優(yōu)于0.01%F.S/PSI
標(biāo)準(zhǔn)溫度：21℃
標(biāo)準(zhǔn)壓力：760Torr
重量：流量計：440g 控制器：460g
認(rèn)證：CE
5系列產(chǎn)品采用了熱式測量原理，因此也具備熱式原理的高精度、高靈敏性、寬量程比等特點，且無需平方根修正。同時采取了毛細(xì)管取樣方式，具有極低的能耗。每臺設(shè)備出廠前都會按照客戶的氣體、量程，嚴(yán)格地按照NIST標(biāo)準(zhǔn)進(jìn)行出廠校準(zhǔn)，同時，比例調(diào)節(jié)閥嵌入在流體通道內(nèi)，從而保證了精巧的體積。
技術(shù)參數(shù)
原理：熱式原理
量程：流量計5SCCM～30SLPM；控制器5SCCM～20SLPM
材質(zhì)：接液部位：316L不銹鋼
密封材質(zhì)：標(biāo)配氟橡膠（Viton）；丁納橡膠（Buna）
泄漏率：不超過1×10 毫升/秒，氦氣
環(huán)境溫度及介質(zhì)溫度：0-60℃
精度：1%F.S（包括線性精度）
量程比:100:1
響應(yīng)時間：1S
重復(fù)性：優(yōu)于0.15%F.S
壓力極限：500PSIG
壓降：流量計：250Pa
控制器：7-14kPa（500SCCM以下）
控制器：35kPa（500SCCM-20SLPM）
電源：24VDC@250mA（流量計）24VDC@350mA（控制器）
輸出：0-5VDC或4-20mA（此回路不可接入電源）
設(shè)定點信號：內(nèi)置0-5VDC或外置0-5VDC（需去掉跳線）
電氣連接：9針D接口（9 Pin Sub D）
溫度影響系數(shù)：優(yōu)于0.05%F.S/℃
壓力影響系數(shù)：優(yōu)于0.01%F.S/PSI
標(biāo)準(zhǔn)溫度：21℃
標(biāo)準(zhǔn)壓力：760Torr
重量：流量計：440g 控制器：460g
認(rèn)證：CE
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