詳細(xì)介紹
日本KOFLOC DF250C系列質(zhì)量流量控制器設(shè)計(jì)精密,精度高,速度快成本較低。廣泛用于不同的領(lǐng)域,從實(shí)驗(yàn)室和研究開發(fā)項(xiàng)目到各種分析儀器、真空裝置、半導(dǎo)體設(shè)備、環(huán)境環(huán)保儀器、燃燒焊接、新能源設(shè)備、生物醫(yī)療 等等的標(biāo)準(zhǔn)采用機(jī)種,發(fā)揮了很好的實(shí)際效果。
產(chǎn)品特色:
通過采用熱式原理的全新芯片流量傳感器,實(shí)現(xiàn)快速回應(yīng)。
通用的常閉型閥門確保了安全
標(biāo)配RS485通訊,數(shù)字信號保證了控制的精確性,不受外界干擾
技術(shù)參數(shù):
流量FS(N2換算):10SCCM-300SLPM
氣體種類:所有氣體
傳感器類型:熱式芯片傳感器
閥門類型:電磁比例閥,常閉
控制范圍:2%-99%
控制速度:1秒以內(nèi)(0-50SLM)、1.5秒以內(nèi)(100-150SLM)、2秒以內(nèi)(200-300SLM)
控制精度:±1.0%FS(0-150SLM)、±2.0%FS(150-300SLM)、
重復(fù)性:±0.25%FS
工作差壓:50-350Kpa
使用溫度:0-50℃
允許濕度:0-90%
泄漏率:為1x10-8Pa.m3 /sec(不包含He)
產(chǎn)品材質(zhì):主體-SUS316
密封圈:Viton
可另選:PTFE、氯丁橡膠,丁腈橡膠NBR
管路接頭:1/4、1/2、3/4英寸卡套
可另選:VCR、RC螺紋可選
電氣接頭:DB型9針
輸入信號:0-5V(模擬信號)
輸出信號:0-5V(模擬信號)
數(shù)字接口:RS485,MODBUS-RTU 或 ASCII協(xié)議 (以太網(wǎng)接口2個(gè),最多串聯(lián)99臺)
供應(yīng)電源:1:+15VDC(±5%)100mA,-15VDC(±5%)200mA
2:+24VDC(±10%)300mA
產(chǎn)品特色:
通過采用熱式原理的全新芯片流量傳感器,實(shí)現(xiàn)快速回應(yīng)。
通用的常閉型閥門確保了安全
標(biāo)配RS485通訊,數(shù)字信號保證了控制的精確性,不受外界干擾
技術(shù)參數(shù):
流量FS(N2換算):10SCCM-300SLPM
氣體種類:所有氣體
傳感器類型:熱式芯片傳感器
閥門類型:電磁比例閥,常閉
控制范圍:2%-99%
控制速度:1秒以內(nèi)(0-50SLM)、1.5秒以內(nèi)(100-150SLM)、2秒以內(nèi)(200-300SLM)
控制精度:±1.0%FS(0-150SLM)、±2.0%FS(150-300SLM)、
重復(fù)性:±0.25%FS
工作差壓:50-350Kpa
使用溫度:0-50℃
允許濕度:0-90%
泄漏率:為1x10-8Pa.m3 /sec(不包含He)
產(chǎn)品材質(zhì):主體-SUS316
密封圈:Viton
可另選:PTFE、氯丁橡膠,丁腈橡膠NBR
管路接頭:1/4、1/2、3/4英寸卡套
可另選:VCR、RC螺紋可選
電氣接頭:DB型9針
輸入信號:0-5V(模擬信號)
輸出信號:0-5V(模擬信號)
數(shù)字接口:RS485,MODBUS-RTU 或 ASCII協(xié)議 (以太網(wǎng)接口2個(gè),最多串聯(lián)99臺)
供應(yīng)電源:1:+15VDC(±5%)100mA,-15VDC(±5%)200mA
2:+24VDC(±10%)300mA