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西特Setra 的730 型是一款高精度的電容式壓力計（亦稱電容式膜片真空計 (CDG)），適合在光伏、半導(dǎo)體和工業(yè)市場中測量對過程控制至關(guān)重要的低真空范圍。
西特Setra 的730 型是一款高精度的電容式壓力計（亦稱電容式膜片真空計 (CDG)），適合在光伏、半導(dǎo)體和工業(yè)市場中測量對過程控制至關(guān)重要的低真空范圍。該產(chǎn)品讀數(shù)精度達±0.5%，分辨率高，優(yōu)于同類產(chǎn)品。730 型使用全InconelTM 接液材料，可承受半導(dǎo)體加工過程中的腐蝕性介質(zhì)。由于采用直接測量設(shè)計，它能精確測量介質(zhì)，不受應(yīng)用中氣體混合物成分的影響。
適合苛刻應(yīng)用的高性能產(chǎn)品
采用單膜片可變電容感應(yīng)元件，適用于苛刻的半導(dǎo)體和工業(yè)真空應(yīng)用。它具有讀數(shù)精度和分辨率高、動態(tài)范圍寬的特點，使之成為關(guān)鍵制造過程中的理想選擇。
Inconel® 設(shè)計保證通用性
所有接液部件均采用Inconel® 材料， 因此對半導(dǎo)體和工業(yè)真空過程中的腐蝕性介質(zhì)具有的耐受性。
Inconel®材料結(jié)合全焊接結(jié)構(gòu)， 確保730型在這類應(yīng)用中的長使用壽命。
直接壓力測量
內(nèi)置膜片可在使用點直接測量壓力變化。與其他工業(yè)電容式壓力計不同，730型測量直接壓力， 不受被測混合氣的影響，這使其精度優(yōu)于間接測量型壓力計。
應(yīng)用
·半導(dǎo)體處理室
·石化
·等離子體滅菌器
·真空包裝
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