制藥網(wǎng)
詳細(xì)介紹
| V10FC直接熱式MFC/MFM采用熱式測(cè)量原理，直接用兩支快速反應(yīng)的鎧裝傳感器測(cè)量氣體流量。由于沒(méi)有層流元件，并采用哈氏合金傳感器，V10FC可用于易結(jié)晶和腐蝕性的氣體測(cè)量。對(duì)低壓管道或者壓力損失小的應(yīng)用，V10FC也同樣適用。 | ||
| |
| |
| 產(chǎn)品特點(diǎn) |
| |
| |
| |
| 技術(shù)指標(biāo) | V10FC-RC質(zhì)量流量控制器 | V10FC-RM質(zhì)量流量控制器 |
| 量程范圍 | 小量程:5SCCM～10SLM 中量程:10SLM～30SLM 大量程:30SLM～2000SLM | |
| 控制范圍 | 控制器20：1 | 流量計(jì)20：1 |
| 準(zhǔn) 確 度 | 流量：±3%F.S 壓力：0.5% F.S 溫度：±1℃ | |
| 線 性 | ±0.5%F.S | |
| 重復(fù)精度 | ±0.2%F.S | |
| 響應(yīng)時(shí)間 | 100ms | 10ms |
| 數(shù) 字 量 | RS232/485，MODBUS協(xié)議 | |
| 模 擬 量 | 0～5V、4～20mA、1～5V | |
| 供電 | 12V/24V/±15V可選 | |
| 工作溫度 | 0～50℃ | |
| 工作壓力 | 工作壓差：0.03～0.5MPa | 工作壓降：<0.01Mpa |
| *大耐壓 | 低壓1MPa，中壓3MPa，高壓10MPa | |
| 電氣連接 | DB15孔 | |
| 漏 率 | 1×10-9SCCSHe | |
| 溫度系數(shù) | ±0.015%F.S/℃ | |
| 底座材質(zhì) | 316L | |
| 密封材料 | 氟橡膠,氯丁橡膠，丁晴橡膠 | |
| 接 頭 | VCR1/4;swagelokφ6 | |
制藥網(wǎng)