Park Systems 原子力顯微鏡NX-10

產(chǎn)品介紹

測(cè)量結(jié)果的準(zhǔn)確程度對(duì)科研工作者來說是至關(guān)重要的。Park推出了準(zhǔn)確的NX-10型原子力顯微鏡。該儀器具備高速的伺服響應(yīng)能力，高掃描器線性度，低閉環(huán)檢測(cè)器噪聲水平，和低系統(tǒng)熱漂移量。

準(zhǔn)確成像，無交叉耦合誤差

XYZ軸線性度，樣品和探針分別由獨(dú)立的閉環(huán)掃描器控制

平面偏移度，全掃描范圍水平線性誤差小于1nm

垂直掃描器全程伸縮線性度由于0.015%

優(yōu)化了水平掃描器的ring-ring現(xiàn)象，精準(zhǔn)的正向sine-scan算法

準(zhǔn)確掃描，真正的非接觸模式

Z軸伺服帶寬超過9kHz，響應(yīng)速度大于62mm/s

非接觸模式下的掃描速度

低探針磨損，保證了長(zhǎng)時(shí)間高質(zhì)量掃描

低樣品損傷

準(zhǔn)確測(cè)量，真正的樣品形貌

低噪音檢測(cè)器

正反測(cè)量偏離量，小于0.15%

優(yōu)化的散熱部件，降低了系統(tǒng)熱偏移

功能強(qiáng)大的隔音罩，艙體內(nèi)部主動(dòng)控溫

提高用戶工作效率

開放式樣品空間，樣品及探針更換方便

預(yù)對(duì)準(zhǔn)探針安裝與同軸光路設(shè)計(jì)方便激光調(diào)整

十秒進(jìn)針功能，探針高速自動(dòng)完成進(jìn)針

24為數(shù)字電控箱，3路內(nèi)置鎖相放大器，具備Q-Control和彈性系數(shù)校正功能