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詳細(xì)介紹
一， 產(chǎn)品命名規(guī)則：
SS-60系列產(chǎn)品是針對(duì)絕大部分工廠和較低級(jí)別要求的實(shí)驗(yàn)室配置的一款低配置掃描電鏡，系列產(chǎn)品包括如下配置：
型號(hào)命名規(guī)則如下：
二，簡(jiǎn)單說明：(Description)
（1）zui大放大倍率6萬倍（Magnification Max 60,000x）
（2）采用二次電子和背散射電子雙重探測(cè)器（Signal Detection: SE Detector+BSE Detector）
（3）5KV~30KV加速電壓選擇，圖像分辨率高（Accelerating Voltage:5kV to 30Kv，High image resolution）
（4）通過選配EDS可進(jìn)行元素成份分析（EDS is optional, for component analysis）
（5）冷卻臺(tái)的安裝可在無前處理情況下對(duì)水分取樣分析(Installation a cooling Stage, Can measure aqueous samples without pretreatment)
（6）高/低真空配置縮短前處理過程（High&Low Vacuum System）
（7）CCD攝像頭的安裝可對(duì)載物臺(tái)內(nèi)部觀察（The CCD camera is mounted to view the inside of the stage）
（8）Tilt（0~45）載物臺(tái)配置（可選擇）（Tilt Stage configuration( optional)）
三、 技術(shù)參數(shù)：(Product specifications)
分辨率（Resolution）
| 15nm (30kV, SE Image) |
20nm (30kV, BSE Image) | |
放大倍率（Magnification） | 30x~60,000x |
加速電壓（Accelerating Voltage） | 5kV to 30kV (5Kv/10Kv/15kV/20kV/30Kv-5 step) |
圖像檢測(cè) （Signal Detection）`
| 二次電子圖像-(SEI)-Secondary Electron Image |
背散射電子圖像 (BSEI)-Backscattered Electron Image | |
* Multi Detector (SEI+BSEI) | |
觀察模式 Observation mode | Standard Mode |
Charge-up reduction mode | |
電子槍系統(tǒng)（Electron Gun） | |
燈絲類型（Filament type） | 預(yù)對(duì)中鎢燈絲（Pre Centered tungsten filament Cartridge） |
偏壓系統(tǒng)（Bias voltage system） | 自動(dòng)偏壓方式（Automatic mode） |
電子槍校正 （Electron gun alignment） | 手動(dòng)方式（Manual mode） |
透鏡構(gòu)成（Lens system） | |
聚光鏡（Focus Lens） | 2段式磁線圈透鏡 (2-stage Electromagnetic Condenser Lens) |
物鏡（Objective Lens） | 1段式磁線圈透鏡(1-stage Electromagnetic Objective Lens) |
探測(cè)器類型(Detector type) | SE Detector/ BSE Detector |
載物臺(tái)系統(tǒng)( Stage System) | Auto or Mauanl |
載物臺(tái)移動(dòng)（Stage Traverse） | 3軸操控3 axis System， X, Y-axis : 35mm / R-axis : 360° |
Image shift | Image shift X, Y Image Shift (±150um) |
樣品尺寸 （Max Sample size） | 高度30mm時(shí)直徑70mm，70mm in diameter, 30mm in height |
圖像掃描 （Image Scanning system） | 快速描 (Fast Scan): 320x240 (Scan time: 0.1 sec.) |
低速描 (Slow Scan): 640x480 (Scan time: 3 sec.) | |
圖片模式1(Photo Mode 1): 1280x960 (Scan time: 30sec.) | |
圖片模式2(Photo Mode 2): 2560x1920 (Scan time: 60sec.) 3(Photo Mode 2): 5120x3840 (Scan time: 120sec.) | |
自動(dòng)功能 （Automatic Function） | 自動(dòng)啟動(dòng)(Auto start)，自動(dòng)聚焦(Auto focus)，自動(dòng)亮度對(duì)比度調(diào)節(jié)(Auto Brightness/Contrast) |
圖像存儲(chǔ)格式(Image format) | BMP, JPEG, PNG,TIFF |
數(shù)據(jù)顯示(Data display) | 放大倍率(Magnification)，探測(cè)器類型(Detector type)，電壓(Accelerating Voltage)，真空模式(Vacuum mode)，Logo(Text)， Date and time，Text marker，比例尺(scale bar) 等 |
真空系統(tǒng)（Vacuum system） | 全自動(dòng)型/高真空模式+低真空模式(Fully Automatic Multi mode) （旋轉(zhuǎn)式機(jī)械泵）Rotary Pump/100Liters/min （渦輪式分子泵） Turbo Molecular Pump/ 70Liters/sec 抽真空時(shí)間(pump down time)：2分鐘以內(nèi) (less than 2 minutes) |
操控系統(tǒng)(Control unit system) | 鼠標(biāo)和鍵盤(Mouse ,Keyboard) |
CPU : Intel CoreTM i5 or High version Memory / HDD : 4GB / 500GB or High version USB 2.0 | |
軟件（Software function） | 圖像文件打開，編輯，存儲(chǔ)功能(Image file open, edit, Save function) 長(zhǎng)度，面積，角度等測(cè)量功能(Length, area, angle measuring) |
體積（ Volume） | 設(shè)備主機(jī)（Main Unit）-410(W)×660(D)× 600(H)mm……1set 根據(jù)客戶實(shí)際情況使用Anti vabration Table |
重量 （Weight） | 105kg |
設(shè)備環(huán)境 （Equipment environment） | 溫度(Temperature)：15℃~30℃ 電源(Power source)： Single phase 100~240V AC, 1KW, 50/60Hz |
四、樣品檢測(cè)結(jié)果
我們使用實(shí)驗(yàn)室廢棄的一顆不良品螺絲作為樣品進(jìn)行了實(shí)際測(cè)試,圖片如下:
螺絲，放大47倍， 30 kV，SE探測(cè)器，高真空模式
螺帽部分，放大100倍，10 kV，SE探測(cè)器，高真空模式
螺絲，放大47倍， 30 kV，SE探測(cè)器，高真空模式
螺帽部分，放大100倍，10 kV，SE探測(cè)器，高真空模式
螺牙部分，放大100倍，10 kV，SE探測(cè)器，高真空模式
螺紋牙底部分，放大500倍，10 kV，SE探測(cè)器，高真空模式
五、附件包（Accessories package）：
預(yù)對(duì)中鎢燈絲 Pre Centered tungsten filament | 5 pcs/box |
載物臺(tái)（Sample Stage）
| 15mm dia. (10 pcs) |
25mm dia. (10 pcs) | |
15mm 45° Tilt (5 pcs) | |
15mm 90° Tilt (5pcs) | |
真空潤(rùn)滑油(Vacuum pump oil) | 1ea |
高度基準(zhǔn)模塊(Height standard master) | 1ea |
6角扳手(allen wrench) | 1set |
掃描電鏡軟件修復(fù)用CD (SEM Software CD) | 1ea |
銀膠(Silver Paste) 30g | 1ea |
碳導(dǎo)電膠帶(Carbon conductive tape) | 1roll |
剪刀(scissors) | 1ea |
洗耳球(aurilave) | 1ea |
鑷子(tweezers) | 1ea |
工具箱(Tools Box) | 1ea |
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