詳細介紹
全新的MX12R半導體FPD檢查顯微鏡,大支持 300mm 晶圓及 17英寸液晶面板的檢查,含 4、6、8、12英寸多種轉盤,可適用不同尺寸的晶圓檢查。人機工程學設計全面提升,為用戶提供更加舒適、靈活、快捷的操作體驗。
仰角可調(diào)觀察筒
0-35°觀察角度可調(diào),適合不同身高的用戶,降低了對工作環(huán)境的要求,讓不同的使用者都能找到*的觀察角度,減輕了長時間工作帶來的不適與疲勞,大幅度提高工作效率。
全新離合驅動式載物臺
MX12R 采用離合式手柄,用戶按下離合扳手就可靈活移動平臺,無需長時間捏緊手柄;按下離合按鈕,取消快速移動。避免長時間操作出現(xiàn)手麻現(xiàn)象,并加快觀察速度。 MX12R 引入精密導軌傳動機構,移動更輕更順暢,產(chǎn)品更加穩(wěn)定可靠。
安全、高速的電動式物鏡轉換器
設有前進、后退兩檔切換模式,可快速、精確定位到所需要的觀察倍率,重復定位精度高。機械式的切換模式,有效提升了轉換器的使用壽命。
按鍵觸手可及,助您提高工作效率
MX12R 物鏡與孔徑光闌采用全新的電動控制系統(tǒng),其操作按鍵位于儀器正前方,讓您觸手可及。人性化的電動設計不僅避免了頻繁的手動操作步驟,也使您的檢測工作也更加精確、靈活。
防震支架設計
機身由六端支架支撐,低重心、高穩(wěn)定性全金屬機架,具備強效的抗震功能,確保像質穩(wěn)定。
豐富的應用領域
MX12R 集成了明場、暗場、偏光、DIC 等多種觀察功能。 廣泛應用于半導體、FPD、電路封裝、電路基板、材料、鑄件金屬陶瓷部件、精密磨具等檢測。
MX12R半導體FPD檢查顯微鏡主要參數(shù):
光學系統(tǒng) | 無限遠色差校正光學系統(tǒng) |
觀察方式 | 明場/暗場/偏光/DIC |
觀察筒 | 無限遠鉸鏈三通觀察筒,0-35°傾角可調(diào),正像,瞳距調(diào)節(jié) :50-76mm,分光比 100:0 或 0:100 |
目鏡 | 高眼點大視野平場目鏡 PL10X/25mm,視度可調(diào),可帶單刻度十字分劃版 |
物鏡 | 無限遠明暗場半復消金相 DIC 物鏡 5X 10X 20X 50X 100X |
無限遠長工作距明暗場半復消金相 DIC 物鏡 20X | |
無限遠長工作距明暗場半復消金相物鏡 50X 100X | |
轉換器 | 明暗場六孔電動轉換器,帶 DIC 插槽 |
機架組 | 反射式機架,前置低手位粗微同軸調(diào)焦機構。粗調(diào)行程35mm,微調(diào)精度0.001mm。帶有防止下滑的調(diào)節(jié)松緊裝置和隨機上限位裝置。內(nèi)置 100-240V 寬電壓系統(tǒng) |
透反機架,前置低手位粗微同軸調(diào)焦機構。粗調(diào)行程 35mm,微調(diào)精度 0.001mm。帶有防止下滑的調(diào)節(jié)松緊裝置和隨機上限位裝置。內(nèi)置 100-240V 寬電壓系統(tǒng) | |
載物臺 | 右手位 14×12 英寸三層機械移動平臺,低手位 X、Y 方向同軸調(diào)節(jié) ;平臺面積 718mmX420mm,移動范圍 :356mmX305mm |
帶離合器手柄,可用于全行程范圍內(nèi)快速移動 ;玻璃載物臺板 ( 反射用) | |
電動平臺 | 面積 495mmX641mm,移動范圍 :306mmX306mm ;軟件控制 X、Y 移動,重復定位精度,(3+L/50)μm 帶平板平臺 |
照明系統(tǒng) | 明暗場反射照明器 , 帶可變電動孔徑光闌,視場光闌 , 中心均可調(diào) ;帶明暗場照明切換裝置 ;帶濾色片插槽與偏光裝置插槽 |
攝影攝像附件 | 0.5X/0.65X/1X 攝像接筒,C 型接口,可調(diào)焦 |
其他 | 起偏鏡插板,固定式檢偏鏡插板,反射用干涉濾色片組 ;高精度測微尺 ;DIC 組件 |