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電鏡能譜一體機(jī)

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更新時(shí)間:2023-11-28 11:52:00瀏覽次數(shù):130

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電鏡能譜一體機(jī)

詳細(xì)介紹

  • Phenom ProX是第五代電鏡能譜一體機(jī),是*的集成化成像分析系統(tǒng),分辨率提升 20%,進(jìn)一步增加應(yīng)用范圍,更加適用于對(duì)電子束敏感的樣品。借助該系統(tǒng),既可觀察樣品的表面形貌,又可分析其元素組分。研究樣品時(shí),得到樣品的形貌信息只是解決了一半問題。獲得樣品的元素組分信息往往也是非常必要的。借助全面集成、特殊設(shè)計(jì)的能譜探測(cè)器,飛納電鏡能譜一體機(jī) Phenom ProX 可以完善解決上述所有問題。能譜儀是一種基于樣品被電子束激發(fā)而產(chǎn)生 X 射線的分析儀器。Phenom 的能譜儀無論軟件、硬件都是集成設(shè)計(jì)在飛納 Phenom ProX 系統(tǒng)中。Element Identification (EID) 軟件可以使用戶實(shí)現(xiàn)多點(diǎn)分析,檢測(cè)樣品的元素組分。此外,該軟件還可以擴(kuò)展到元素分析線面掃(mapping)功能。分步操作界面可以幫助用戶更方便地收集、導(dǎo)出分析數(shù)據(jù)。

     Phenom ProPhenom ProXPhenom XL
    光學(xué)放大20 - 135 X20 - 135 X3 - 16 X
    電子光學(xué)放大80 - 150,000 X80 - 150,000 X80 - 100,000 X
    分辨率優(yōu)于 8 nm優(yōu)于 8 nm優(yōu)于 14 nm
    數(shù)字放大Max. 12 XMax. 12 XMax. 12 X
    光學(xué)導(dǎo)航相機(jī)彩色彩色彩色
    加速電壓5 Kv - 15 Kv  連續(xù)可調(diào)5 Kv - 15 Kv  連續(xù)可調(diào)5 Kv - 20 Kv  連續(xù)可調(diào)
    真空模式高分辨率模式高分辨率模式高分辨率模式
    降低荷電效應(yīng)模式降低荷電效應(yīng)模式降低荷電效應(yīng)模式
      高真空模式
    探測(cè)器背散射電子探測(cè)器背散射電子探測(cè)器背散射電子探測(cè)器
    二次電子探測(cè)器 (選配)二次電子探測(cè)器 (選配)二次電子探測(cè)器 (選配)
    樣品尺寸 大直徑 32 mm (Ø) 大直徑 32 mm (Ø) 大 100 mm X 100 mm
    可同時(shí)裝載 36 個(gè) 0.5 英寸樣品臺(tái)
    樣品高度 高 100 mm 高 100 mm 高 65 mm

     

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