詳細介紹
產品信息
LSCL-AFM組合式掃描原子力顯微鏡產品特點
- 家實現(xiàn)探針和樣品組合式移動掃描的商業(yè)化原子力顯微鏡;
- 家采用三軸獨立閉環(huán)壓電平移式掃描臺,實現(xiàn)大范圍高精度掃描;
- 三軸獨立式掃描,XYZ互不影響,非常適合三維材料及形貌檢測;
- 電動控制樣品移動臺和升降臺,可任意編程多點位置實現(xiàn)快速自動化檢測;
- 龍門架式掃描頭設計,大理石底座,真空吸附和磁性吸附式載物臺;
- 馬達自動控制加壓電陶瓷自動探測的智能進針方式,保護探針及樣品;
- 高倍輔助光學顯微定位,實時觀測與定位探針以及樣品掃描區(qū)域;
- 閉環(huán)壓電掃描臺無需非線性校正,納米表征和測量精度優(yōu)于99.5%。