LSCL-AFM組合式掃描原子力顯微鏡(閉環(huán)掃描臺)

LSCL-AFM組合式掃描原子力顯微鏡產品特點

• 家實現(xiàn)探針和樣品組合式移動掃描的商業(yè)化原子力顯微鏡；
• 家采用三軸獨立閉環(huán)壓電平移式掃描臺，實現(xiàn)大范圍高精度掃描；
• 三軸獨立式掃描，XYZ互不影響，非常適合三維材料及形貌檢測；
• 電動控制樣品移動臺和升降臺，可任意編程多點位置實現(xiàn)快速自動化檢測；
• 龍門架式掃描頭設計，大理石底座，真空吸附和磁性吸附式載物臺；
• 馬達自動控制加壓電陶瓷自動探測的智能進針方式，保護探針及樣品；
• 高倍輔助光學顯微定位，實時觀測與定位探針以及樣品掃描區(qū)域；
• 閉環(huán)壓電掃描臺無需非線性校正，納米表征和測量精度優(yōu)于99.5%。

技術參數(shù)



應用案例