詳細介紹
遠程空氣計數(shù)器 | MET ONE R4800 及 R4900 系列
- 易于同任意FMS系統(tǒng)集成
MET ONE R4800 系列遠程空氣顆粒計數(shù)器采用標準的 RS -485 串行通信,MET ONE R4900 系列遠程空氣顆粒計數(shù)器則使用工業(yè)標準 4-20mA 接口。 - 靈活方便,可用于所有的遠程空氣顆粒計數(shù)器應用
靈敏度范圍從 0.3 um 到 0.5 um,流速范圍從 0.1cfm 到 1.0cfm。計數(shù)器上的 LED 狀態(tài)指示燈可閃爍并可在連接器處設置信號用于報警。駐留有 RS-485 組態(tài)編程(計數(shù)時間,保持時間,告警級別,告警延遲和縮放),通過電源周期保持(電源的開和關)。 - 簡便安裝選項
小型不銹鋼外殼適應于大多數(shù)制程環(huán)境。因為不帶有會破壞氣流的風扇,使 MET ONE R4800/R4900 系列空氣顆粒計數(shù)器可放置在敏感的制程區(qū)域。
未找到相應參數(shù)組,請于后臺屬性模板中添加
最小粒徑 | R4803 / R4903 - 0.3um R4805 / R4815/ R4905 / R4915 - 0.5um |
流速 | R4803 / R4805 / R4903 / R4905 - 0.1 CFM (2.83 LPM) R4815 / R4915 - 1.0 CFM (28.3 LPM) |
流量控制 | 扼流噴嘴;要求 18" 汞柱真空, 450 mbar |
通道粒徑(μm) | R4803 / R4903 –通道 1 / 通道2 - 0.3 / 0.5 R4805 / R4815 / R4905 / R4915 – 通道 1 / 通道2 - 0.5 / 5.0 |
光源 | 激光二極管(10年MTTF) |
符合損失 | 在2,000,000顆/立方英尺濃度時低于5%的損失 |
入口壓力 | 0.1'' Hg 真空 |
指示燈 | 計數(shù)器接通電源時LED電源燈會亮;當傳感器校正需要檢查時校正/報警的LED燈會亮 當計數(shù)值超出報警值時校正/報警燈會閃爍 |
電源 | 開集電極 FET 反向電流 (on) 150 mA; VC 電壓 (off) 30 VDC |
連接器 | DB-15 (female) |
重量 | 0.3 公斤(10.7盎司) |
管路連接 | 入口,0.1 CFM,1/8"內徑 入口,1.0 CFM,1/4"內徑 出口,全部(真空),1/4"內徑 |
儲存環(huán)境 | 運行溫度:12 ~ 41°C (55 ~ 104°F) 相對濕度:20 ~ 95%,無冷凝 存儲溫度:-40 ~ 70°C (-40 ~ 122°F) 相對濕度:0 ~ 98%,無冷凝 |
訂貨時,請 | 0.3 µm (R4803/R4903) 或 0.5 µm (R4805/R4815/R4905/R4915) 和 0.1 cfm (R4803/R4805/R4903/R4905) 或 1.0 cfm (R4815/R4915) |
隨附配件:
部件編號 | 描述 |
500052 | 等動力探頭;DB-15連接器 |
701113 | 操作手冊 R4800 |
701130 | 操作手冊 R4900 |
可選配件
部件編號 | 描述 |
2080442 | 清洗過濾器組件,0.2µ , 0.1 cfm (R4803 / R4805 / R4903 / R4905) |
2080443 | 清洗過濾器組件,0.2µ , 1.0 cfm (R4815/R4915) |
2082270-1 | 電源,110 VAC輸入,12 VDC輸出 最多支持32型R4800計數(shù)器 |
2082270-2 | 電源,230 VAC輸入,12 VDC輸出 最多支持32型R4800計數(shù)器 |
2081524-11 | 墻板,R4800/R4900系列 |