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詳細(xì)介紹
介紹
薄膜測量系統(tǒng)TF-168采用非接觸式光學(xué)方式，測量多層光學(xué)薄膜/鍍層的厚度、折射率系數(shù)和吸收系數(shù)。
應(yīng)用
光學(xué)器件上的介電鍍層，鍍膜的光學(xué)濾光片，晶圓上的半導(dǎo)體，液晶器件，多層聚合物薄膜
薄膜層如：SiO2, CaF2, MgF2, Photoresist, Polysilicon, Amorphous Silicon, SiNx, TiO2, Sol-Gel, Polyimide, Polymer
基底材料如：Silicon, Germanium, GaAs, ZnS, ZnSe, Acrylic, Sapphire, Glasses, Polycarbonate, Polymer, Quartz.
規(guī)格參數(shù)
| 測量范圍 | 20 nm-50 µm (只測厚), 100 nm - 10 µm (厚度 及 n & k) |
| 可測層數(shù) | 多達(dá)4層 |
| 光斑大小 | 0.8 mm - 4 mm可調(diào) |
| 樣品大小 | >=1 mm |
| 厚度準(zhǔn)確度 | ± 1 nm 或 ±0.5% |
| 重復(fù)精度 | 0.1 nm |
| 平臺大小 | 7" x 7" （178 mm x 178 mm） |
| 系統(tǒng)大小 | 8" x 9.5" x 14" |
系統(tǒng)包含如下：
*鹵鎢燈(360-2500 nm)，SMA905接口
*USB微型光譜儀(350-1000 nm) ，SMA905接口
*硅片反射標(biāo)準(zhǔn)樣品
特點：
*桌面式集成一體化系統(tǒng)
*鹵鎢燈、USB微型光譜儀可通過光纖單獨(dú)接出來使用，用于其他光譜實驗
*基底折射率和吸收系數(shù)
*薄膜厚度測量，平均值和方差
*薄膜折射率和吸收系數(shù)
*自由選擇計算的波長范圍
*自由選擇預(yù)詁厚度范圍以減少計算時間
*方便從包含的數(shù)據(jù)庫中選擇薄膜和基底材料
*客戶自定義材料的選擇和導(dǎo)入
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