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小型二通道混氣系統(tǒng)(質(zhì)子流量計)GSL-2Z-LCD-S

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  • 型號 GSL-2Z-LCD-S
  • 品牌
  • 廠商性質(zhì) 其他
  • 所在地 重慶市

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更新時間:2024-06-07 08:19:10瀏覽次數(shù):91

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產(chǎn)品簡介

GSL-2Z-LCD-S是一款小型的兩通道質(zhì)子流量計混氣系統(tǒng),PLC觸摸屏控制各通道氣路流量,并可實時查看流量數(shù)據(jù)及曲線,可與本公司各種管式爐、CVD、PECVD、鍍膜儀等設(shè)備配套使用,實現(xiàn)PVD、CVD、PECVD以及熱處理等實驗氣氛的精確控制

詳細介紹

GSL-2Z-LCD-S是一款小型的兩通道質(zhì)子流量計混氣系統(tǒng),PLC觸摸屏控制各通道氣路流量,并可實時查看流量數(shù)據(jù)及曲線,可與本公司各種管式爐、CVD、PECVD、鍍膜儀等設(shè)備配套使用,實現(xiàn)PVD、CVD、PECVD以及熱處理等實驗氣氛的精確控制。

技術(shù)參數(shù)

產(chǎn)品名稱

小型二通道混氣系統(tǒng)(質(zhì)子流量計)GSL-2Z-LCD-S

基本參數(shù)

工作溫度:5~45℃。

壓力:0.3MPa。

精度:±1.5% FS

重復(fù)精度:±0.2% F.S。

流量范圍:

一路:1-99 SCCM

二路:1-199 SCCM(其他流量范圍可定制)

注意:其他流量范圍的可定制,需額外費用。

輸入電源

AC 220V,50/60Hz

功率

100W

PLC觸摸屏

各通道的氣路設(shè)定和查看都集中在一觸摸屏上


混氣罐

內(nèi)置一個不銹鋼混氣罐,可以良好的混氣。

機械壓力表

有一機械壓力表安裝于前面板上,與混氣罐相連接。

量程:-.01~0.12MPa

針閥

316不銹鋼

通氣管道

內(nèi)部連接管道為1/4" 不銹鋼管。

外部通氣管為1/4"聚四氟管。

外形尺寸

360L×300D×190H mm


產(chǎn)品重量

8.4Kg

質(zhì)量認證

CE認證

質(zhì)保期

一年質(zhì)保期,終生維護。

相關(guān)產(chǎn)品

CVD&PECVD管式爐


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