微電子行業(yè)純水設(shè)備

  一． 電子行業(yè)（特別是微電子行業(yè)）純水需求量大，其特點是水質(zhì)要求較高，電阻率一般大于15MO-CM以上。主要應(yīng)用于：
     1. 大規(guī)模集成電路元器件的生產(chǎn)用水，一般電阻率均大于18MO-CM。按國家有關(guān)用水標(biāo)準(zhǔn)（GB/T11446.1-1997）執(zhí)行。
     2. 電子元件廠，在焊接和組裝過程中的沖洗用水。依據(jù)電子元件生產(chǎn)工藝不同，其用水標(biāo)準(zhǔn)中（即GB/T11446.1-1997）有可為四級（一級電導(dǎo)率18MO-CM以上，二級電阻率不低于15MO-CM，3級電阻率12MO-CM, 4級為0.5MO-CM）.
    二 . 制水工藝：
     1. 一級反參透加混合離子交換柱，適用標(biāo)準(zhǔn)中的三級和四級。
     2. 反參透加混合離子交換柱，再加一級精混（采用進(jìn)口拋光樹脂）適用于標(biāo)準(zhǔn)1級和2級出水指 標(biāo)。
     3. 目前有一種新的工藝：
     即反參透（1級或2級反參透）加ED1（電脫鹽），此工藝的優(yōu)點是操作簡單，無需樹脂再生工藝，且出水指標(biāo)一般均達(dá)到15MO-CM以上