| 尺寸 | 1100 x 1250 x 1550 mm | | 重量 | 400kg | | 類型 | 自動的 | | 測量方法 | 無連接的 | | 測量原理 | 反射計 | | 特征 | 測量迅速，操作簡單
非接觸式，非破壞方式
優(yōu)秀的重復(fù)性和再現(xiàn)性
2D/3D 映射和造型
自動機械活動控制
CCD相機
防震臺
自動調(diào)焦 | | 活動范圍 | 300mm x 300mm | | 測量范圍 | 100Å~ 35㎛(Depends on Film Type) | | 光斑尺寸 | 40㎛/20㎛,4㎛(option) | | 測量速度 | 1~2 sec./site(fitting time) | | 應(yīng)用領(lǐng)域 | 半導(dǎo)體 Poly-Si, GaAs, GaN, InP, ZnS+Si, Ge,SiGe...
電解質(zhì) SiO2, TiO2, TaO5, ITO, ZrO2, Si3N4, Phptoresist, ARC,...
平板行業(yè)（包括LCD，PDP, OLED,): a-Si,n+-a-Si, Gate-SiNx MgO,Alq,ITo,PR,CuPc, NPB, PVK,PAF,PEDT-PSS,Oxide,Polyimide...
光學(xué)涂層反射膜，Color Filters...
太陽能電池 Dopinga-Si(i-type,n-type,p-type),TCO(ZnO,SnO.ITO...)
聚合物 PVA,PET,PP,Dye,Npp,MNA,TAC,PR... | | 可選項目 | Transmittance Module
Reference Sample(K-MAC or KRISS or NIST) | | 接物鏡旋轉(zhuǎn)器 | Quintuple Revolving Nosepiecs | | 焦點 | Coaxial Coarse and Fine Focus Controls | | 附帶照明 | 12v 100W Halogen Lamp | |
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