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詳細(xì)介紹
MetOne3411便攜式空氣顆粒計(jì)數(shù)器適用于半導(dǎo)體潔凈室監(jiān)測、過程標(biāo)記和顆粒故障排除等方面的應(yīng)用。
MetOne3411便攜式空氣顆粒計(jì)數(shù)器具有 ISO 21501 數(shù)據(jù)的準(zhǔn)確性和再現(xiàn)性，是業(yè)內(nèi)推廣使用的 0.1um 便攜式空氣顆粒計(jì)數(shù)器。
選擇MetOne3411便攜式空氣顆粒計(jì)數(shù)器的優(yōu)勢所在
? 可讓您的潔凈室保持潔凈
0.1um級別的顆粒計(jì)數(shù)器能讓排氣扇點(diǎn)塵不染
? 熱插拔電池-***確保儀器長時(shí)間連續(xù)運(yùn)行
由于儀器使用的是熱插拔電池，故無論儀器是充電還是斷電、計(jì)數(shù)歸零及采用備份電源時(shí)都無需停機(jī)
? 測試向?qū)В═est Wizard）能使您在組織潔凈室時(shí)讓合規(guī)性更容易得到保證
可在監(jiān)控您的半導(dǎo)體生產(chǎn)環(huán)境時(shí)節(jié)省時(shí)間并消除錯(cuò)誤
? 順序采樣系統(tǒng)
可用 MET ONE 3432 型順序采樣系統(tǒng)部署低成本的現(xiàn)場監(jiān)控解決方案。用單臺 MET ONE 3411 型空氣顆粒計(jì)數(shù)器可依次從多達(dá)32個(gè)位置進(jìn)行順序采樣。
? 靈活的通訊方式——設(shè)置簡單，數(shù)據(jù)傳輸方便
供選擇的無線，以太網(wǎng)和串口通訊可以將數(shù)據(jù)傳輸?shù)組ETONE數(shù)據(jù)管理系統(tǒng)，或者客戶已有監(jiān)控軟件，以便減少文書工作
? 直觀的用戶界面
簡便的區(qū)域，位置和運(yùn)行參數(shù)的配置和復(fù)制，節(jié)約運(yùn)行時(shí)間。只需將完整的配置拷貝到一個(gè) U 盤中，從而消除參數(shù)設(shè)置錯(cuò)誤，并節(jié)省時(shí)間。還可以在整個(gè)顆粒計(jì)數(shù)組部署采樣計(jì)劃！
? 符合ISO 21501-4 標(biāo)準(zhǔn)的可靠性和準(zhǔn)確性
專用于滿足特殊顆粒計(jì)數(shù)要求，儀器與儀器之間的準(zhǔn)確度和再現(xiàn)性符合 ISO21501-4標(biāo)準(zhǔn)要求。
MetOne3411便攜式空氣顆粒計(jì)數(shù)器的產(chǎn)品參數(shù)
| 通道個(gè)數(shù) | 6 |
| 粒徑 | 0.1, 0.2, 0.3, 0.5, 1.0, 5.0µ |
| 光源 | 氦氖激光器 |
| 重量 | 不含電池：15.9 公斤，電池：0.66 公斤 |
| 尺寸 | 33 W x 55.9 D x 22.9 H cm (寬 x 長 x 高) |
| 機(jī)箱材質(zhì) | 便于清洗的鈍化不銹鋼 |
| 流速 | 1.0 CFM (28.3 LPM) |
| 零計(jì)數(shù) | ISO 21501-4 和 JIS B 9921 標(biāo)準(zhǔn):5分鐘內(nèi)1顆或少于一顆, 95% 置信區(qū)間 |
| 符合損失 | 在 50,000 /ft3 時(shí)，為5%，符合ISO 21501-4標(biāo)準(zhǔn) |
| 泵的類型 | 可供連續(xù)使用的磚利的多瓣閉路循環(huán)控制泵 |
| 計(jì)數(shù)效率 | 在0.1 µm時(shí)為 50%。根據(jù)ISO 21501-4和JIS B 9921，粒徑大于0.15µm時(shí)為 99% |
| 運(yùn)行溫度 | 10 * 40°C; 相對濕度為10 * 90%，無冷凝 |
| 顯示 | ? VGA 彩色 TFT 觸摸屏 |
| 打印機(jī) | 高速熱敏打印機(jī) |
| 語言 | 英語，法語，德語，意大利語，西班牙語，韓語*，日語*，中文 |
| 可以顯示的*大數(shù)值 | 9,999,999 displayed |
| 延遲時(shí)間 | 15秒鐘*23小時(shí)59分59秒 |
| 采樣/停留時(shí)間 | 1秒鐘*23小時(shí)59分59秒 |
| 計(jì)數(shù)警報(bào) | 1~ 9,999,999 個(gè)計(jì)數(shù)值 |
| 位置 | 編號：0 * 999; 名稱:文字描述，顯示在打印輸出資料上 |
| 數(shù)據(jù)存儲 | 5,000 個(gè)樣品， 在歷史數(shù)據(jù)查看頁面上可以滾動(dòng)(FIFO 或 Overflow) |
| 輸出 | USB 客戶端 (版本為 1.1)USB 主機(jī)端 (版本為 1.1)RS485 配有TCP/IP 通訊協(xié)議的以太網(wǎng)配有802.11g通訊協(xié)議的無線輸出 (可選)MET ONE 2432 型順序采樣系統(tǒng) (警報(bào)和掃描探頭) |
| 鋰電池，可充電、可熱插拔 | Modbus TCP, Modbus RTU, 串行的 FX |
| 輸入 | 空氣速度探頭，相對濕度/溫度探頭 |
| 自動(dòng) CDA 清洗 | 連接到CDA之后，清洗電磁閥會被激活 |
| 電源 | 24VDC，配有 100-240 VAC, 50/60 Hz 適配器 |
| 電池類型 | 智能鋰電池，可充電，可熱插拔 |
| 電池使用時(shí)間 | *短 3 小時(shí) |
| 電池的充電時(shí)間 | 電池的充電時(shí)間 |
| 包含電池?cái)?shù)量 | 2組 |
| MetOne3411便攜式空氣顆粒計(jì)數(shù)器的隨附配件 | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||
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| MetOne3411便攜式空氣顆粒計(jì)數(shù)器可選配件 | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||
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MetOne3411便攜式空氣顆粒計(jì)數(shù)器的應(yīng)用領(lǐng)域
專應(yīng)用于半導(dǎo)體行業(yè)的空氣顆粒計(jì)數(shù)：
? 潔凈室驗(yàn)證監(jiān)測
? 潔凈室的分級
? ISO14644潔凈室驗(yàn)證
? 潔凈室顆粒物監(jiān)測
? 生產(chǎn)過程的連續(xù)監(jiān)測
? 顆粒污染源的排除過程
? HEPA過濾器檢漏，粒徑大小包括 0.1、0.15、0.2、0.3、0.5 和 1um
? 過濾器掃描
? 高壓氣體監(jiān)測可簡單地通過氣體選擇菜單選擇相應(yīng)氣體，流量會自動(dòng)調(diào)整
空氣顆粒計(jì)數(shù)器生命科學(xué)標(biāo)準(zhǔn)及委員會：
? 國際標(biāo)準(zhǔn)化組織 (ISO)
? ISO14644潔凈室及相關(guān)受控環(huán)境
? ISO 21501顆粒分布測確定--用于無塵空間的光散射顆粒計(jì)數(shù)器
? 環(huán)境科學(xué)與技術(shù)研究所 (IEST)
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