詳細(xì)介紹
CVD系統(tǒng)由供氣系統(tǒng)+管式爐+抽氣系統(tǒng),采用雙層殼體結(jié)構(gòu),爐膛采用氧化鋁多晶纖維材料。該爐安裝有行程開關(guān),當(dāng)爐蓋打開時會自動切斷電源,有效地保證使用者的安全。供氣系統(tǒng)是流量調(diào)節(jié)可以是質(zhì)子流量計或浮子流量計,混氣路數(shù)可以是2路、3路、4路、5路相混合。
技術(shù)參數(shù):
1.額定溫度:1150℃ 2.溫度:1200℃ 3.電壓:220V 4.熱電偶:K型 5.加熱元件:瑞典Kanthal-A1電阻絲 6.加熱段長:440mm
7.溫控方式:智能化30段可編程控制
8.升溫速率:≤30℃/min 推薦升溫速率:≤15℃/min
型號 | TL1200-C-I | TL1200-C-II | TL1200-C-III | TL1200-C-IV |
爐管尺寸 | Φ60X1000 | Φ80X1000 | Φ100X1000 | Φ150X1000 |
功率(KW) | 3.5 | 3.5 | 3.5 | 5 |
組件配置:
控溫儀表: 采用宇電程序控溫儀表
1、50段程序控溫智能PID調(diào)節(jié)。
具有過溫保護(hù)、斷偶保護(hù),過溫或斷偶時電爐加熱電路會自動切斷,(當(dāng)電爐溫度超過1620度或熱電偶燒斷時,主電路上的交流繼電器會自動斷開,主電路斷開,面板上ON燈熄滅,OFF燈亮,有限的保護(hù)電爐)。
3、帶有485 通訊接口(選購軟件時標(biāo)配)
4、具有斷電保護(hù)功能,即斷電后再給電啟動爐子時、程序不是從起始溫度開始升、而是從斷電時爐溫開始升。
5、儀表具有溫度自整定的功能
二、開門保護(hù)系統(tǒng):該爐安裝有行程開關(guān),當(dāng)爐蓋打開時會自動切斷電源,有效地保證使用者的安全。
三、爐膛材料:采用氧化鋁纖維爐膛材料,不掉粉、材料保溫性能好、反射率高、溫場均衡,抗熱漲冷縮能力強。
四、加熱元件:采用優(yōu)質(zhì)發(fā)熱元件,使用壽命長。
額定溫度 | 發(fā)熱元件 | |
1200℃ | 瑞典康奈爾A1電阻絲 | |
1400℃ | 國產(chǎn)優(yōu)質(zhì)U型硅碳棒 | |
1600℃ | 國產(chǎn)優(yōu)質(zhì)U型硅鉬棒 | |
1700℃ | 中外合資硅鉬棒 | |
1800℃ | 瑞典康奈爾1900硅鉬棒 |
五、漏電保護(hù)功能: 該爐裝了漏電空氣開關(guān),當(dāng)爐體漏電或電流超過額定電流時空開會自動關(guān)閉以切斷電源。
六、軟件控制系統(tǒng)(選購):該爐配有通訊接口和軟件,可以直接通過電腦控制爐子的各個參數(shù),并能從電腦上觀察到爐子上PV和SV溫度值和儀表的運行情況,爐子的實際升溫曲線電腦會實時繪出,并能把每個時刻的溫度數(shù)據(jù)保存起來,隨時可以調(diào)出。
七、控制系統(tǒng):1、電器:正泰, 2、可控硅:德國西門康106/16E, 3 觸發(fā)器:移相觸發(fā)。
技術(shù)參數(shù)表(詳細(xì)技術(shù)資料請聯(lián)系業(yè)務(wù)人員,可接受定做)
控制精度 |
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觸發(fā)器 | 移相觸發(fā) |
電器 | 浙江正泰 |
可控硅 | 106/16E 德國西門康 |
升溫速率 |
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推薦升溫速率 | ≤15 |
四周表面溫度 | ≤45℃ |
爐膛材料 | 1、真空吸濾成型的優(yōu)質(zhì)高純氧化鋁多晶纖維固化爐膛。 |
開蓋保護(hù)系統(tǒng) | 當(dāng)爐蓋打開時繼電器會自動切斷主電源,有效地保證使用者的安全。 |
控溫方式 | 采用宇電程序控溫儀表(標(biāo)配) (可更換進(jìn)口儀表,需要另外付費,選購)
英國歐陸儀表 ? 廈門宇電觸摸屏儀表 |