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微型單溫區(qū)CVD系統(tǒng)

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更新時間:2023-11-01 09:34:43瀏覽次數(shù):174

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產(chǎn)品簡介

微型單溫區(qū)CVD系統(tǒng)管式爐是一款小型化學(xué)氣相沉積薄膜類制備設(shè)備,該設(shè)備在常規(guī)產(chǎn)品上進行了一系列的改進,包括:供氣系統(tǒng)集成、真空系統(tǒng)集成等

詳細(xì)介紹

      微型單溫區(qū)CVD系統(tǒng)管式爐是一款小型化學(xué)氣相沉積薄膜類制備設(shè)備,該設(shè)備在常規(guī)產(chǎn)品上進行了一系列的改進,包括:供氣系統(tǒng)集成、真空系統(tǒng)集成等。體現(xiàn)出體積小、操作方便、智能化程度高等特點。


產(chǎn)品特點

  • 雙層空氣冷卻鋼殼保持爐表面溫度低于60°C;
  • 高純狀氧化鋁纖維絕緣層,節(jié)約能源;
  • 爐膛和加熱元件上的特殊耐火涂層可延長爐子的使用壽命。

 

技術(shù)參數(shù)

項目
型號
TFC - 1200 - 60 -- 440
爐管尺寸
Φ60*1000mm (Φ30/50/80/100mm可選)
可達(dá)溫度
1200℃(短期)
工作溫度
1100℃
推薦升溫速率
≤10℃/min
加熱區(qū)長度
440mm
額定功率
3kW
適配電源
AC220V 50Hz
溫控系統(tǒng)
K型熱電偶
集成式觸摸屏控制
控溫精度
±1 ℃
密封系統(tǒng)
爐管兩端配有快開式密封法蘭
外形尺寸
620*420*580mm
氣體量程
100~1000SCCM
氣路數(shù)量
 2~4路(MFC)
氣路工作溫度
 5~45℃
VRD-8
承載量:1000Lbs;抽氣速率:10m³/h
極限真空度:10-1Pa
真空度
 

 

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