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詳細(xì)介紹
微型單溫區(qū)CVD系統(tǒng)管式爐是一款小型化學(xué)氣相沉積薄膜類制備設(shè)備，該設(shè)備在常規(guī)產(chǎn)品上進行了一系列的改進，包括：供氣系統(tǒng)集成、真空系統(tǒng)集成等。體現(xiàn)出體積小、操作方便、智能化程度高等特點。
產(chǎn)品特點
- 雙層空氣冷卻鋼殼保持爐表面溫度低于60°C；
- 高純狀氧化鋁纖維絕緣層，節(jié)約能源；
- 爐膛和加熱元件上的特殊耐火涂層可延長爐子的使用壽命。
技術(shù)參數(shù)
| 項目 | 型號 | TFC - 1200 - 60 -Ⅰ- 440 |
| 爐管尺寸 | Φ60*1000mm （Φ30/50/80/100mm可選） | |
| 可達(dá)溫度 | 1200℃（短期） | |
| 工作溫度 | 1100℃ | |
| 推薦升溫速率 | ≤10℃/min | |
| 加熱區(qū)長度 | 440mm | |
| 額定功率 | 3kW | |
| 適配電源 | AC220V 50Hz | |
| 溫控系統(tǒng) | K型熱電偶 集成式觸摸屏控制 | |
| 控溫精度 | ±1 ℃ | |
| 密封系統(tǒng) | 爐管兩端配有快開式密封法蘭 | |
| 外形尺寸 | 620*420*580mm | |
| 氣體量程 | 100～1000SCCM | |
| 氣路數(shù)量 | 2～4路（MFC） | |
| 氣路工作溫度 | 5～45℃ | |
| VRD-8 | 承載量：1000Lbs；抽氣速率:10m³/h 極限真空度：10-1Pa | |
| 真空度 | ||
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