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單溫區(qū)PE-CVD系統(tǒng)

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更新時間:2023-11-01 09:33:15瀏覽次數(shù):154

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產(chǎn)品簡介

產(chǎn)品特點高性能射頻電源.等離子體更穩(wěn)定;滑軌式結(jié)構(gòu)能使整個反應(yīng)腔室都處于輝光產(chǎn)生區(qū);可實現(xiàn)快速升溫和降溫功能;與傳統(tǒng)CVD相比較,生長溫度更低

詳細介紹

產(chǎn)品特點

 

  • 高性能射頻電源.等離子體更穩(wěn)定;
  • 滑軌式結(jié)構(gòu)能使整個反應(yīng)腔室都處于輝光產(chǎn)生區(qū);
  • 可實現(xiàn)快速升溫和降溫功能;與傳統(tǒng)CVD相比較,生長溫度更低。

 

技術(shù)參數(shù)

 

項目
型號
TFE - 1200 - 50 - - 220
可達溫度
1150℃(短期)
額定溫度
1100℃
推薦升溫速率
≤10℃/min
控制精度
±1℃
爐管尺寸
Φ30/50/60*1200mm
爐膛尺寸
Φ80*220mm
加熱區(qū)長度
220mm
恒溫區(qū)長度
80mm
加熱元件
優(yōu)質(zhì)國產(chǎn)電阻絲
額定功率
3KW
供氣系統(tǒng)
三路高精度MFC 量程0-500sccm(可定制)
射頻電源
射頻功:5-500W;射頻頻:13.56MHz;匹配方式:自動匹配
真空系統(tǒng)
雙級旋片真空泵(可定制擴散泵 分子泵等)
外形尺寸
1250*510*810mm

 

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