詳細介紹
一、主要參數(shù):
1. 外形尺寸 2220L×1120W×1850H(mm)
2. 花籃規(guī)格 50、25片
3.硅片尺寸 125mm、156mm
4.硅片厚度 140~200um
5. 適用硅片 單晶硅、多晶硅
6. 生產(chǎn)能力 >5000片/小時
7. 碎片率 <0.2%
8. 控制系統(tǒng) PLC可編程控制器,交流伺服系統(tǒng)
9. 氣壓 0.4~0.5Mpa 干燥氣體
10.氣源流量 進氣管管徑≥8mm
11.電源 AC220V(單相三線)、50HZ
12.設備功率 2.5KW
二、特點介紹
1. 該設備的分片機構可對任何狀態(tài)的硅片,包括粘滿砂漿的硅片進行均勻分離;該技術已申請實用新型;
2. 硅片帶離原理:該部件為設備的核心技術,由南亞自行研發(fā)成功,并已申請二項發(fā)明。我們摒棄常規(guī)直接吸取硅片方式而是通過吸水(硅片和輸送帶始終有一定的間距),使得分離后的硅會順著水流方向靠向輸送帶無接觸式帶離,對硅片無任何損傷。同時該技術已為超?。ǎ?40mm)的硅片使用全自動插片機奠定了基礎,厚薄硅片可使用同一設備;
3. 帶片速度的控制為非開關模式,通過輸送帶轉速變化實現(xiàn)帶片速度的變化,轉速根據(jù)工況可設定;
4. 帶片/上料部分結構簡易巧妙,水下幾乎無運動部件,極大地減少使用過程中對設備的維護保養(yǎng)工作;
5. 硅片發(fā)料周轉盒可在脫膠后直接裝入硅片使用,減少周轉環(huán)節(jié),方便操作人員實現(xiàn)一人多機工作;
6. 裝滿硅片的盒子通過翻轉機構翻轉90后放上傳送帶,即方便操作工拿?。ú蝗菀卓呐龊袃裙杵譃槿?nbsp; 動生產(chǎn)線的下道工序做好準備;
7. 圓帶輸送和硅片入盒前無需接觸式定位裝置(夾硅片),有效避免崩邊和硅落的可能;
8. 硅片視覺檢測系統(tǒng)采用相機成像技術,精準可靠;可根據(jù)用戶需要添加各種不同功能的模組,對設備進行功能性的升級;
9. 異常硅片分離系統(tǒng):采用硅片分選機原理,對異常硅片識別后自動分離。
三、控制系統(tǒng)
1.采用三菱可編程控制器,功能齊全運行可靠
2.運行模式和程序參數(shù)均可在觸摸屏上設定
3.配置三菱交流伺服系統(tǒng)進行高精度定位
4.OMRON高靈敏度傳感器監(jiān)控,實現(xiàn)設備完備 的系統(tǒng)運行保障
5.動態(tài)日志管理
6.故障監(jiān)控、診斷、報警及設備保養(yǎng)需求的自動生成
四、視覺系統(tǒng)
1.采用德國堡盟(Baumer)視覺系統(tǒng),對輸送過程中異常硅片進行視覺判斷;
2.基于輪廓的工作模式
3.集成360°目標識別功能確保可靠的特征檢查和判斷
4.采用紅外光源,減小外部光源對檢測結的影響
5.支持IE瀏覽器遠程查看