用途
•高分子材料表面的官能基付與一粘合性、密著性提高。通 過(guò)氧化反應(yīng),在表面生成-OH,>C=O,-COOH等官能 基(微量的水分及二氧化碳影響)。
同樣在氮?dú)獾入x子體中,氮原子被吸收在表面中,生
成-NH 2等官能基。
•硅晶圓蝕刻。
•材料表面改性(金屬、聚合物、薄膜、啕瓷等)。
•石棉預(yù)處理(膜過(guò)濾灰化)。
•從電子設(shè)備到生化市場(chǎng)。
•低溫灰化(高分子材料、煤炭、食品等)。
•使用玻璃和PDMS板粘貼PDMS芯片。
•表面有機(jī)物去除。
■特點(diǎn)
• RF為200 W的高性能輸出類型(PR200)。
•由于是尺寸緊湊的臺(tái)式機(jī),很小的位置都可以安裝。
•同步,自動(dòng)調(diào)諧,操作簡(jiǎn)單(PR200)。
•等離子體反應(yīng)器(灰化設(shè)備)(PR200)。
•同步、自動(dòng)調(diào)諧(PR200)。
詳細(xì)介紹
型號(hào) | PR200 |
模式 | DP模式,桶型 |
高頻輸出 | Max300W |
頻率 | 13.56MHz |
同調(diào)方式 | 手動(dòng)2軸同調(diào)方式 |
反應(yīng)腔 | 耐熱玻璃0100x160mm |
反應(yīng)氣體 | 1系統(tǒng)(氧氣)流量計(jì) |
控制 | 手動(dòng)密閉閥 |
配管材質(zhì) | 不銹鋼、特氟龍、銅、銅合金 |
外形尺寸 | W350xD400xH500mm |
重量 | 約10kg |
電源 | AC100V15A |