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日本雅馬拓YAMATO等離子灰化機(jī)PR200

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更新時(shí)間:2021-09-21 10:07:54瀏覽次數(shù):398

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用途高分子材料表面的官能基付與一粘合性、密著性提高

詳細(xì)介紹

用途
•高分子材料表面的官能基付與一粘合性、密著性提高。通 過(guò)氧化反應(yīng),在表面生成-OH,>C=O,-COOH等官能 基(微量的水分及二氧化碳影響)。
同樣在氮?dú)獾入x子體中,氮原子被吸收在表面中,生
成-NH 2等官能基。
•硅晶圓蝕刻。
•材料表面改性(金屬、聚合物、薄膜、啕瓷等)。
•石棉預(yù)處理(膜過(guò)濾灰化)。
•從電子設(shè)備到生化市場(chǎng)。
•低溫灰化(高分子材料、煤炭、食品等)。
•使用玻璃和PDMS板粘貼PDMS芯片。
•表面有機(jī)物去除。
■特點(diǎn)
• RF為200 W的高性能輸出類型(PR200)。
•由于是尺寸緊湊的臺(tái)式機(jī),很小的位置都可以安裝。
•同步,自動(dòng)調(diào)諧,操作簡(jiǎn)單(PR200)。
•等離子體反應(yīng)器(灰化設(shè)備)(PR200)。
•同步、自動(dòng)調(diào)諧(PR200)。
型號(hào) PR200
模式 DP模式,桶型
高頻輸出 Max300W
頻率 13.56MHz
同調(diào)方式 手動(dòng)2軸同調(diào)方式
反應(yīng)腔 耐熱玻璃0100x160mm
反應(yīng)氣體 1系統(tǒng)(氧氣)流量計(jì)
控制 手動(dòng)密閉閥
配管材質(zhì) 不銹鋼、特氟龍、銅、銅合金
外形尺寸 W350xD400xH500mm
重量 約10kg
電源 AC100V15A

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