制藥網(wǎng)
特點(diǎn)
大口徑（Φ215mm）石英反應(yīng)腔。
小型一體化設(shè)計(jì)。
操作簡(jiǎn)單的觸摸屏方式（PR510型）。
詳細(xì)介紹
| 型號(hào) | PR500 |
| 模式 | DP模式，桶型 |
| 高頻輸出功率 | Max500W |
| 頻率 | 13.56MHz |
| 回調(diào)方式 | 自動(dòng)協(xié)調(diào) |
| 反應(yīng)腔 | 石英①215 x305mm |
| 反應(yīng)氣體 | 2系統(tǒng)（O2/CF4) |
| 控制 | 手動(dòng) |
| 配管材質(zhì) | 不銹鋼、特氟龍 |
| 外形尺寸 | W438 x D520 x H760mm |
| 重量 | 約60KG |
| 電源 | 單相AC100V9A |
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