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詳細(xì)介紹
Duke PD-200 SURF-CAL 尺度標(biāo)準(zhǔn)微粒
NIST*溯源尺度標(biāo)準(zhǔn)，用于需要高度視覺反差的尺度標(biāo)*和參考應(yīng)用領(lǐng)域。SUR-CAL 為各種硅晶片的表面性狀的檢測和標(biāo)*提供了便利的工具。產(chǎn)品的粒徑復(fù)合儀器廠家所需的各種規(guī)格。SURF-CAL系列產(chǎn)品*符合SEMI行業(yè)協(xié)會的建立的SSIS標(biāo)*指導(dǎo)準(zhǔn)則， 微粒粒徑縱貫0.047到3.0微米的范圍， 覆蓋了半導(dǎo)體技術(shù)藍(lán)圖（ITRS）所*義的關(guān)鍵質(zhì)控點(diǎn)。通過將SUR-CAL聚苯乙烯乳膠微粒沉積在特*的硅晶片（PSL）表面，用戶*以對掃描儀進(jìn)行周期性標(biāo)*，并*與其它的掃描儀進(jìn)行對比。 用戶還*以對生產(chǎn)環(huán)節(jié)中關(guān)鍵階段SSIS的性能做出評估。產(chǎn)品包裝為50ml，微粒分散于超凈過濾去離子水中，微粒濃度 3 x 108 / ml。PD1100（粒徑1.112 μm）和小于這一粒徑的產(chǎn)品還提供1010 /ml 的產(chǎn)品包裝規(guī)格以滿足需要使用差別移動粒子分析儀（DMA）和其它尺寸排除技術(shù)粒子分析儀器的客戶需求。
尺度測量方法學(xué)：
為了確保與NIST的直接*溯源性，產(chǎn)品的粒徑是直接從NIST提供的標(biāo)準(zhǔn)參考微粒通過電子顯微鏡或光學(xué)顯微鏡的測量中直接轉(zhuǎn)化而成的。尺度的不確*性是依照NIST技術(shù)筆記1297方法（1994年版“NIST測量結(jié)果不確*性評估指導(dǎo)方案”）計(jì)算得到的。產(chǎn)品中所描述的不確*性為擴(kuò)大性不確*因素，覆蓋因子數(shù)為2 （K=2）。
微粒組成： 聚苯乙烯
微粒密度： 1.05g/cm3
微粒數(shù)量： 3 x 108 or 1010顆/毫升
包裝規(guī)格： 50ml瓶裝，每盒6瓶
微粒折射率： 1.59 @ 589 nm (25°C)
添加劑： 無
產(chǎn)品保質(zhì)期： ≥2年
存儲條件： 冰箱儲藏（冰點(diǎn)以上）防止冰凍，緊閉瓶蓋防止污染
包裝內(nèi)容 標(biāo)*與溯源證書、粒子計(jì)數(shù)擬*程序、原料**數(shù)據(jù)表（MSDS）
Catalog Number
(particles per mL) Certified
Peak
Diameter Expanded
Uncertainty
(of peak diameter) Size Distribution
3 x 108 1010 Std. Dev. C.V.% FWHM% *
PD-047 PD-047B 0.047 µm 0.002 µm 0.004 µm 7.5% 17.4%
PD-064 PD-064B 0.064 µm 0.002 µm 0.003 µm 5.4% 10.9%
PD-083 PD-083B 0.083 µm 0.002 µm 0.004 µm 4.2% 9.6%
PD-092 PD-092B 0.092 µm 0.005 µm 0.004 µm 4.6% 9.1%
PD-100 PD-100B 0.100 µm 0.005 µm 0.004 µm 2.6% 5.2%
PD-125 PD-125B 0.126 µm 0.006 µm 0.003 µm 2.4% 4.8%
PD-155 PD-155B 0.155 µm 0.003 µm 0.003 µm 1.6% 3.7%
PD-200 PD-200B 0.202 µm 0.005 µm 0.004 µm 1.8% 4.0%
PD-204 PD-204B 0.204 µm 0.008 µm 0.004 µm 1.8% 3.7%
PD-215 PD-215B 0.220 µm 0.007 µm 0.003 µm 1.6% 3.3%
PD-305 PD-305B 0.304 µm 0.005 µm 0.004 µm 1.4% 3.4%
PD-365 PD-365B 0.360 µm 0.013 µm 0.010 µm 2.0% 5.0%
PD-500 PD-500B 0.498 µm 0.010 µm 0.006 µm 1.1% 2.5%
PD-800 PD-800B 0.809 µm 0.014 µm 0.006 µm 0.8% 1.8%
PD-802 PD-802B 0.802 µm 0.011 µm 0.009 µm 1.1% 2.4%
PD1100 PD1100B 1.112 µm 0.018 µm 0.011 µm 1.0% 2.5%
PD1600 1.59 µm 0.02 µm 0.016 µm 1.0% 2.6%
PD2000 2.01 µm 0.04 µm 0.019 µm 1.0% 3.3%
PD3000 3.04 µm 0.06 µm 0.026 µm 0.9% 2.7%
杜克標(biāo)準(zhǔn)粒子 熱電粒子 熱電標(biāo)準(zhǔn)粒子 thermo粒子 thermo標(biāo)準(zhǔn)粒子 賽默粒子 賽默標(biāo)準(zhǔn)粒子飛世爾粒子 飛世爾標(biāo)準(zhǔn)粒子 fisher粒子 fisher標(biāo)準(zhǔn)粒子 (Duke thermo fisher) 美國Duke杜克標(biāo)準(zhǔn)粒子DUKE標(biāo)準(zhǔn)粒子 聚苯乙烯 DUKE標(biāo)準(zhǔn)粒子/ 粒準(zhǔn)乳膠球粒子/ 聚苯乙烯/ 標(biāo)準(zhǔn)微粒/ 微粒子/ Duke粒子 液體顆粒計(jì)數(shù)儀用 Duke 杜克3000系列20-900nm 產(chǎn)品描述： Duke 杜克標(biāo)準(zhǔn)粒子 微粒 3000系列－聚苯乙烯納米微粒 20-900nm 儀器介紹 Duke科學(xué) Duke 杜克標(biāo)準(zhǔn)粒子 微粒 SURF-CAL用于半導(dǎo)體晶片掃描，0.047-3um 美國Duke 杜克標(biāo)準(zhǔn)粒子 3000 系列——-納米尺寸標(biāo)準(zhǔn)粒子(15mL包裝,1%固體含量) Duke標(biāo)準(zhǔn)粒子 STANDARDS-COUNT-CAL系列 Duke標(biāo)準(zhǔn)粒子 挑戰(zhàn)性標(biāo)準(zhǔn)粒子 STANDARDS-EZY-Cal系列(2-70um) 標(biāo)準(zhǔn)顆粒 標(biāo)準(zhǔn)物質(zhì) DUKE粒子 標(biāo)準(zhǔn)粒子 杜克粒子 美國杜克 NIST粒子 NIST標(biāo)準(zhǔn)物質(zhì) *溯源粒子 *溯源物質(zhì) *溯源粒子 進(jìn)口粒子 Duke 金屬和礦物粒子和微球 Duke Fluoro-Max 綠色和紅色干粉狀熒光微球 Duke Fluoro-Max熒光標(biāo)記粒子-綠色 DUKE HEPA-CHECK過濾膜挑戰(zhàn)微粒 Duke OptiBind 聚苯乙烯（PS）微粒 Duke OptiLink 羧基修飾聚苯乙烯微粒 Duke PHARM-TRO計(jì)數(shù)**標(biāo)準(zhǔn)系列 Duke Power-Bind 鏈霉親和素微粒 Duke Sera-Mag磁性微珠 Duke Smoke-Check Duke Validex 計(jì)數(shù)精度尺度標(biāo)準(zhǔn)微粒 Duke 粒子計(jì)數(shù)器標(biāo)準(zhǔn) 3K,4K系列 Duke 球形玻璃材料 Duke 8000系列硅微球尺寸標(biāo)準(zhǔn)粒子 Duke 9000系列玻璃微球尺寸標(biāo)準(zhǔn)粒子 Duke ChromoSphere-T彩色尺度標(biāo)準(zhǔn)微粒 Duke Color-Rich染色羧基修飾微球 Duke COUNT-CAL**標(biāo)準(zhǔn)顆粒 Duke Cyto-Cal Absolute Count Control計(jì)數(shù)質(zhì)控微粒 Duke Cyto-Cal Alignment光路排序校正微粒 Duke Cyto-Cal Amine Modified Particle 微粒 Duke EZY-CAL粒徑標(biāo)準(zhǔn)系列 Duke Fluoro-Max Fluorescent Particle Carboxylate modified and Streptavidin –coated Europium Chelate Particle Duke 5000 系列聚合物微粒懸浮液 Duke 2000系列均勻尺度聚合物標(biāo)準(zhǔn)粒子 Duke Cyto-Cal Carbonxylated Particle低強(qiáng)度驗(yàn)證微粒 Duke Cyto-Cal Multifluo+ Violet Intensity Calibrator多熒光強(qiáng)度校正微粒 Clintex 標(biāo)準(zhǔn)粒子 Duke DRI-CAL系列干粉標(biāo)準(zhǔn)粒子歐共體標(biāo)準(zhǔn)物質(zhì)局（BCR）認(rèn)證石英參考顆粒 Duke 3000系列納米級尺度標(biāo)準(zhǔn)粒子 Duke ChromoSphere 彩色顯色微球 - 干粉 Duke 花粉和孢子非高分子聚合物微粒——球形植物孢粒和花粉 Duke Fluoro-Max 水相懸浮綠色 紅色 藍(lán)色熒光微球 Duke 7000系列共聚物微粒懸浮液 Duke SURF-CAL尺度標(biāo)準(zhǔn)微粒 Duke 4000系列聚合物微球尺寸標(biāo)準(zhǔn)粒子 Duke EZY-CAL粒徑標(biāo)準(zhǔn)系列
NIST*溯源尺度標(biāo)準(zhǔn)，用于需要高度視覺反差的尺度標(biāo)*和參考應(yīng)用領(lǐng)域。SUR-CAL 為各種硅晶片的表面性狀的檢測和標(biāo)*提供了便利的工具。產(chǎn)品的粒徑復(fù)合儀器廠家所需的各種規(guī)格。SURF-CAL系列產(chǎn)品*符合SEMI行業(yè)協(xié)會的建立的SSIS標(biāo)*指導(dǎo)準(zhǔn)則， 微粒粒徑縱貫0.047到3.0微米的范圍， 覆蓋了半導(dǎo)體技術(shù)藍(lán)圖（ITRS）所*義的關(guān)鍵質(zhì)控點(diǎn)。通過將SUR-CAL聚苯乙烯乳膠微粒沉積在特*的硅晶片（PSL）表面，用戶*以對掃描儀進(jìn)行周期性標(biāo)*，并*與其它的掃描儀進(jìn)行對比。 用戶還*以對生產(chǎn)環(huán)節(jié)中關(guān)鍵階段SSIS的性能做出評估。產(chǎn)品包裝為50ml，微粒分散于超凈過濾去離子水中，微粒濃度 3 x 108 / ml。PD1100（粒徑1.112 μm）和小于這一粒徑的產(chǎn)品還提供1010 /ml 的產(chǎn)品包裝規(guī)格以滿足需要使用差別移動粒子分析儀（DMA）和其它尺寸排除技術(shù)粒子分析儀器的客戶需求。
尺度測量方法學(xué)：
為了確保與NIST的直接*溯源性，產(chǎn)品的粒徑是直接從NIST提供的標(biāo)準(zhǔn)參考微粒通過電子顯微鏡或光學(xué)顯微鏡的測量中直接轉(zhuǎn)化而成的。尺度的不確*性是依照NIST技術(shù)筆記1297方法（1994年版“NIST測量結(jié)果不確*性評估指導(dǎo)方案”）計(jì)算得到的。產(chǎn)品中所描述的不確*性為擴(kuò)大性不確*因素，覆蓋因子數(shù)為2 （K=2）。
微粒組成： 聚苯乙烯
微粒密度： 1.05g/cm3
微粒數(shù)量： 3 x 108 or 1010顆/毫升
包裝規(guī)格： 50ml瓶裝，每盒6瓶
微粒折射率： 1.59 @ 589 nm (25°C)
添加劑： 無
產(chǎn)品保質(zhì)期： ≥2年
存儲條件： 冰箱儲藏（冰點(diǎn)以上）防止冰凍，緊閉瓶蓋防止污染
包裝內(nèi)容 標(biāo)*與溯源證書、粒子計(jì)數(shù)擬*程序、原料**數(shù)據(jù)表（MSDS）
Catalog Number
(particles per mL) Certified
Peak
Diameter Expanded
Uncertainty
(of peak diameter) Size Distribution
3 x 108 1010 Std. Dev. C.V.% FWHM% *
PD-047 PD-047B 0.047 µm 0.002 µm 0.004 µm 7.5% 17.4%
PD-064 PD-064B 0.064 µm 0.002 µm 0.003 µm 5.4% 10.9%
PD-083 PD-083B 0.083 µm 0.002 µm 0.004 µm 4.2% 9.6%
PD-092 PD-092B 0.092 µm 0.005 µm 0.004 µm 4.6% 9.1%
PD-100 PD-100B 0.100 µm 0.005 µm 0.004 µm 2.6% 5.2%
PD-125 PD-125B 0.126 µm 0.006 µm 0.003 µm 2.4% 4.8%
PD-155 PD-155B 0.155 µm 0.003 µm 0.003 µm 1.6% 3.7%
PD-200 PD-200B 0.202 µm 0.005 µm 0.004 µm 1.8% 4.0%
PD-204 PD-204B 0.204 µm 0.008 µm 0.004 µm 1.8% 3.7%
PD-215 PD-215B 0.220 µm 0.007 µm 0.003 µm 1.6% 3.3%
PD-305 PD-305B 0.304 µm 0.005 µm 0.004 µm 1.4% 3.4%
PD-365 PD-365B 0.360 µm 0.013 µm 0.010 µm 2.0% 5.0%
PD-500 PD-500B 0.498 µm 0.010 µm 0.006 µm 1.1% 2.5%
PD-800 PD-800B 0.809 µm 0.014 µm 0.006 µm 0.8% 1.8%
PD-802 PD-802B 0.802 µm 0.011 µm 0.009 µm 1.1% 2.4%
PD1100 PD1100B 1.112 µm 0.018 µm 0.011 µm 1.0% 2.5%
PD1600 1.59 µm 0.02 µm 0.016 µm 1.0% 2.6%
PD2000 2.01 µm 0.04 µm 0.019 µm 1.0% 3.3%
PD3000 3.04 µm 0.06 µm 0.026 µm 0.9% 2.7%
杜克標(biāo)準(zhǔn)粒子 熱電粒子 熱電標(biāo)準(zhǔn)粒子 thermo粒子 thermo標(biāo)準(zhǔn)粒子 賽默粒子 賽默標(biāo)準(zhǔn)粒子飛世爾粒子 飛世爾標(biāo)準(zhǔn)粒子 fisher粒子 fisher標(biāo)準(zhǔn)粒子 (Duke thermo fisher) 美國Duke杜克標(biāo)準(zhǔn)粒子DUKE標(biāo)準(zhǔn)粒子 聚苯乙烯 DUKE標(biāo)準(zhǔn)粒子/ 粒準(zhǔn)乳膠球粒子/ 聚苯乙烯/ 標(biāo)準(zhǔn)微粒/ 微粒子/ Duke粒子 液體顆粒計(jì)數(shù)儀用 Duke 杜克3000系列20-900nm 產(chǎn)品描述： Duke 杜克標(biāo)準(zhǔn)粒子 微粒 3000系列－聚苯乙烯納米微粒 20-900nm 儀器介紹 Duke科學(xué) Duke 杜克標(biāo)準(zhǔn)粒子 微粒 SURF-CAL用于半導(dǎo)體晶片掃描，0.047-3um 美國Duke 杜克標(biāo)準(zhǔn)粒子 3000 系列——-納米尺寸標(biāo)準(zhǔn)粒子(15mL包裝,1%固體含量) Duke標(biāo)準(zhǔn)粒子 STANDARDS-COUNT-CAL系列 Duke標(biāo)準(zhǔn)粒子 挑戰(zhàn)性標(biāo)準(zhǔn)粒子 STANDARDS-EZY-Cal系列(2-70um) 標(biāo)準(zhǔn)顆粒 標(biāo)準(zhǔn)物質(zhì) DUKE粒子 標(biāo)準(zhǔn)粒子 杜克粒子 美國杜克 NIST粒子 NIST標(biāo)準(zhǔn)物質(zhì) *溯源粒子 *溯源物質(zhì) *溯源粒子 進(jìn)口粒子 Duke 金屬和礦物粒子和微球 Duke Fluoro-Max 綠色和紅色干粉狀熒光微球 Duke Fluoro-Max熒光標(biāo)記粒子-綠色 DUKE HEPA-CHECK過濾膜挑戰(zhàn)微粒 Duke OptiBind 聚苯乙烯（PS）微粒 Duke OptiLink 羧基修飾聚苯乙烯微粒 Duke PHARM-TRO計(jì)數(shù)**標(biāo)準(zhǔn)系列 Duke Power-Bind 鏈霉親和素微粒 Duke Sera-Mag磁性微珠 Duke Smoke-Check Duke Validex 計(jì)數(shù)精度尺度標(biāo)準(zhǔn)微粒 Duke 粒子計(jì)數(shù)器標(biāo)準(zhǔn) 3K,4K系列 Duke 球形玻璃材料 Duke 8000系列硅微球尺寸標(biāo)準(zhǔn)粒子 Duke 9000系列玻璃微球尺寸標(biāo)準(zhǔn)粒子 Duke ChromoSphere-T彩色尺度標(biāo)準(zhǔn)微粒 Duke Color-Rich染色羧基修飾微球 Duke COUNT-CAL**標(biāo)準(zhǔn)顆粒 Duke Cyto-Cal Absolute Count Control計(jì)數(shù)質(zhì)控微粒 Duke Cyto-Cal Alignment光路排序校正微粒 Duke Cyto-Cal Amine Modified Particle 微粒 Duke EZY-CAL粒徑標(biāo)準(zhǔn)系列 Duke Fluoro-Max Fluorescent Particle Carboxylate modified and Streptavidin –coated Europium Chelate Particle Duke 5000 系列聚合物微粒懸浮液 Duke 2000系列均勻尺度聚合物標(biāo)準(zhǔn)粒子 Duke Cyto-Cal Carbonxylated Particle低強(qiáng)度驗(yàn)證微粒 Duke Cyto-Cal Multifluo+ Violet Intensity Calibrator多熒光強(qiáng)度校正微粒 Clintex 標(biāo)準(zhǔn)粒子 Duke DRI-CAL系列干粉標(biāo)準(zhǔn)粒子歐共體標(biāo)準(zhǔn)物質(zhì)局（BCR）認(rèn)證石英參考顆粒 Duke 3000系列納米級尺度標(biāo)準(zhǔn)粒子 Duke ChromoSphere 彩色顯色微球 - 干粉 Duke 花粉和孢子非高分子聚合物微粒——球形植物孢粒和花粉 Duke Fluoro-Max 水相懸浮綠色 紅色 藍(lán)色熒光微球 Duke 7000系列共聚物微粒懸浮液 Duke SURF-CAL尺度標(biāo)準(zhǔn)微粒 Duke 4000系列聚合物微球尺寸標(biāo)準(zhǔn)粒子 Duke EZY-CAL粒徑標(biāo)準(zhǔn)系列
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