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納米壓印系統(tǒng)

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  • 型號 MicroTec
  • 品牌
  • 廠商性質 其他
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更新時間:2021-07-28 12:32:53瀏覽次數(shù):495

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產(chǎn)品簡介

納米壓印系統(tǒng)

詳細介紹

納米壓印系統(tǒng)


型號:MicroTec
廠家:德國Karl Suss
技術指標:
壓印精度:30nm 
重復性:±10nm(pitch)
                 ±15nm(depth) 
晶圓尺寸:2”, 4’’
模具尺寸:6’’
脫模方式:真空順序脫模

主要功能及應用范圍:  采用氣體軟壓技術,壓印均一性與一致性良好。典型使用領域:光子晶體、亞波長光學器件、OLED、生物微溝道、有機薄膜晶體管、漸變折射率層等。

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