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詳細介紹
OLS5000激光共焦顯微鏡
概述
OLS5000激光共焦顯微鏡可準確測量亞微米級的形貌和表面粗糙度。數(shù)據(jù)采集??比奧林巴斯以前的顯微鏡型號快四倍，從而大大提高了生產效率。
高分辨率，準確成像
憑借對各種類型樣品進行準確3D測量的能力，系統(tǒng)可提供用于質量保證和工藝控制的可靠數(shù)據(jù)。
橫向分辨率
 | 405納米紫色激光和專用高數(shù)值孔徑物鏡可以捕捉到傳統(tǒng)光學顯微鏡、白光干涉儀或紅色激光顯微鏡難以發(fā)現(xiàn)的精細紋理和缺陷。 | |
 |  | |
| 紅光型（658納米：0.26微米空間) | 微米紫光型（405納米：0.12線和空間) | |
一致的測量值
LEXT專用物鏡可準確測量采用其他方式測量會發(fā)生畸變的周邊區(qū)域。
傳統(tǒng)物鏡
LEXT物鏡
新開發(fā)的MEMS掃描振鏡
新的MEMS掃描振鏡具有較低的掃描軌跡失真和較小的光學像差，可進行準確的X-Y掃描。
4K掃描技術
4K掃描技術可在X軸方向掃描4096像素，是奧林巴斯以前顯微鏡型號的四倍。
OLS5000顯微鏡可在無需進行圖像校正的情況下檢測幾乎垂直的陡峭斜面以及很低的臺階。
捕獲真實形貌
由于傳統(tǒng)激光顯微鏡采用諸如平滑去除噪聲等標準圖像處理技術，其有時會將準確測得的細微高度不規(guī)則測量數(shù)據(jù)連同噪聲一起去除。
OLS5000顯微鏡采用奧林巴斯自動檢測可靠數(shù)據(jù)的智能判別算法，可在不丟失細微高度不規(guī)則測量數(shù)據(jù)的情況下實現(xiàn)去確測量。
其他高分辨率測量技術
- MEMS掃描PEAK算法
- 雙共焦系統(tǒng)
- Sq噪聲（測量噪聲）保證
- 準確性和重復性均可保證
- 混合匹配算法
- 混合阻尼機構
- HDR掃描
快速采集結果：高速掃描
該顯微鏡的掃描算法既可提高數(shù)據(jù)質量又可提高速度，從而縮短您的掃描時間，簡化您的工作流程，實現(xiàn)生產力的提升。
PEAK算法
VLSI標準80納米高度樣品(MPLFLN10XLEXT)
OLS5000顯微鏡采用了用于3D數(shù)據(jù)構建的PEAK算法。該算法可獲得從低倍率到高倍率的高精度數(shù)據(jù)，并可縮短數(shù)據(jù)采集時間。
跳躍式掃描
在測量存在近似垂直面（如電子器件或MEMS）樣品上的臺階形貌時，可通過限制Z方向掃描范圍縮短數(shù)據(jù)采集時間。
在不降低精度的情況下，測量700微米的臺階大約在15秒左右（使用MPLAPON20x物鏡時）。
其他提高速度的技術
- 頻帶掃描
- 1線數(shù)據(jù)采集
效率工作：簡單的操作程序
系統(tǒng)具有自動數(shù)據(jù)采集功能，因而無需進行復雜的設置調整。甚至普通用戶也可以獲得準確的檢測結果。
簡化測量區(qū)域
簡單分析功能可僅在測量范圍內測量臺階、線寬、表面粗糙度、面積和體積。自動檢測測量結果變動的原因（如體積分析中參考平面的邊緣位置和閾值）讓測量結果保持穩(wěn)定，不受操作員技能水平的影響。
測量兩個區(qū)域之間的臺階高度差和距離
測量兩個區(qū)域之間的角度差
測量區(qū)域的面積/體積；自動檢測參考平面，因此無需設置閾值。
測量區(qū)域的表面粗糙度
通過自動檢測區(qū)域的邊緣測量寬度
基于區(qū)域中的圓形自動識別測量半徑R和距離基準平面的高度
自動圖像校正
智能判別處理可在無損數(shù)據(jù)精度的情況下自動消除測量噪聲，而智能找平功能可探測零高度位置的主水平面（參考平面）。簡單一次點擊即可啟動兩項工作。
利用模板節(jié)省時間
報告中包含的所有操作和過程均可保存為模板。
在重復進行相同測量時，使用此模板可采用同流程獲得下一組數(shù)據(jù)的分析報告。
無需操作人員干預即可操作流程和測量點的功能能夠以很小差異進行快速、準確的分析。
 |  |  |  | |
| 輸出報告并進行測量 | 輸出報告并保存模板 | 在下次采集過程中，打開已保存的模板 | 即刻輸出基于模板的報告 |
令系統(tǒng)更便于使用的其他技術
- 實時宏觀測圖
- 連續(xù)自動對焦
- 智能掃描II
- 宏功能
靈活：可測量尺寸較大的樣品
可測量高度可到210毫米的樣品
 | OLS5000顯微鏡的擴展架可容納高達210毫米的樣品，而超長工作距離物鏡能夠測量深度達到25毫米的凹坑。 在進行這兩種測量時，您只需將樣品放在載物臺上即可。 | ||
 |  |  | |
| 連桿 | 刀具 | 活塞頭 | |
LEXT專用長工作距離物鏡
奧林巴斯可提供能夠針對405納米激光減小像差的10x至100x系列物鏡。本系列還包括低倍率和長工作距離物鏡。所有LEXT專用物鏡均可確保測量性能，由此可以選擇適合您所觀察樣品的一款物鏡。
Rubert & Co標準粗糙度樣板528 (Pt = 1.5微米)
常規(guī)物鏡（50X）
LEXT專用物鏡（50X）
超長工作距離物鏡
我們的LEXT專用物鏡系列產品包括增強顯微鏡測量性能的10x物鏡和長工作距離物鏡。
應用
汽車/金屬加工
表面紋理/面粗糙度測量（MPLAPON20XLEXT / 3×3拼接）
噴油嘴(復制品)/面粗糙度測量(LMPLFLN50XLEXT)
活塞環(huán)/面粗糙度測量（MPLAPON50XLEXT）
軸承球/輪廓測量（MPLAPO50XLEXT）
材料
不銹鋼腐蝕坑/高度測量（MPLAPON20XLEXT / 3×3拼接）
銅板/面粗糙度測量（MPLAPON50XLEXT）
擴散板/輪廓測量（MPLAPON50XLEXT / 3×3拼接）
海綿/輪廓測量（MPLAPON20XLEXT / 3×3拼接）
電子元器件
鎳塊/高度測量(MPLAPON20XLEXT)
MEMS超聲換能器(MPLAPON50XLEXT)
光刻膠/高度測量（MPLAPON100XLEXT）
鍵合金線（MPLAPON100XLEXT）
其他
微針/輪廓測量（MPLAPON50XLEXT / 6×6拼接）
皮膚（復制品）/面粗糙度測量（MPLAPON20XLEXT / 5×5拼接）
由文化學園大學服裝學院功能設計實驗室提供
研磨石/輪廓測量（MPLAPON20XLEXT）
圓珠筆插座/面粗糙度測量（LMPLFLN20XLEXT）
技術規(guī)格
主機
| 型號 | OLS5000-SAF | OLS5000-SMF | OLS5000-LAF | OLS5000-EAF | OLS5000-EMF | |
| 總倍率 | 54x – 17,280x | |||||
| 視場直徑 | 16um – 5,120um | |||||
| 測量原理 | 光學系統(tǒng) | 反射式共聚焦激光掃描激光顯微鏡 | ||||
| 反射式共焦激光掃描激光-DIC顯微鏡 | ||||||
| 彩色 | ||||||
| 彩色DIC | ||||||
| 光接收元件 | 激光：光電倍增管（2ch） | |||||
| 彩色：CMOS彩色相機 | ||||||
| 高度測量 | 顯示分辨率 | 0.5nm | ||||
| Linear scale | 0.78nm | |||||
| 動態(tài)范圍 | 16 bits | |||||
| 重復性*1 *2 *6 | 10x : 0.1μm, 20x : 0.03μm, 50x : 0.012μm, 100x : 0.012μm | |||||
| 準確性*1 *3 *6 | 0.15 + L/100μm (L: Measuring length[μm]) | |||||
| 拼接圖像準確度 *1 *4 *6 | 10x : 5.0+L/100μm, 20x or higher : 1.0+L/100μm (L: Stitching height[μm]) | |||||
| 測量噪聲*1 *5 *6 | 1nm [Typ] | |||||
| 寬度測量 | 顯示分辨率 | 1nm | ||||
| 重復性 *1 *6 | 10x : 0.2μm, 20x：0.05μm, 50x : 0.04μm, 100x : 0.02μm | |||||
| 準確度*1 *3 *6 | 測量值 +/- 百分之1.5 | |||||
| 拼接圖像準確度*1 *3 *6 | 10x : 24+0.5L μm, 20X 15+0.5L μm, 50X 9+0.5L μm, 100X 7+0.5L μm (L: Stitching length[mm]) | |||||
| 單次測量時測量點的數(shù)量可到 | 4096 x 4096 pixel | |||||
| 測量點的數(shù)量可到 | 36 Mpixel | |||||
| XY 載物臺配置 | 長度測量模塊 | ? | 無 | 無 | ? | 無 |
| 工作范圍 | 100 x 100mm Motorized | 100 x 100mm Manual | 300 x 300 mm Motorized | 100 x 100mm Motorized | 100 x 100mm Manual | |
| 樣品高度可到 | 100mm | 40mm | 37mm | 210mm | 150mm | |
| 激光光源 | 波長 | 405nm | ||||
| 輸出可到 | 0.95 mW | |||||
| 激光分類 | 2類 (IEC60825-1:2007, IEC60825-1:2014) | |||||
| 彩色光源 | 白光 LED | |||||
| 電氣功率 | 240 W | 240 W | 278 W | 240 W | 240 W | |
| 質量 | 顯微鏡主體 | 約31 kg | 約 32 kg | 約 50 kg | 約43 kg約 | 44 kg |
| 控制箱 | 約12 kg | |||||
* 1 在ISO554(1976)、JIS Z-8703(1983)規(guī)定的恒溫恒濕環(huán)境下使用時提供保證（溫度：20?C±1?C, 濕度:50％±1％）。
* 2 在使用MPLAPON LEXT 系列物鏡測量時超過20次。
* 3 在使用LEXT專用物鏡測量時。
* 4 在使用MPLAPON100XLEXT 物鏡測量時的典型值。
* 5 基于奧林巴斯認證體系保證。
物鏡技術規(guī)格
| 系列 | 型號 | 數(shù)值孔徑（NA） | 工作距離（WD）（毫米） |
| UIS2物鏡 | MPLFLN2.5x | 0.08 | 10.7 |
| MPLFLN5x | 0.15 | 20 | |
| LEXT專用物鏡（10X） | MPLFLN10xLEXT | 0.3 | 10.4 |
| MPLAPON20xLEXT | 0.6 | 1 | |
| LEXT專用物鏡（高性能型) | MPLAPON50xLEXT | 0.95 | 0.35 |
| MPLAPON100xLEXT | 0.95 | 0.35 | |
| LMPLFLN20xLEXT | 0.45 | 6.5 | |
| LEXT專用物鏡（長工作距離型） | LMPLFLN50xLEXT | 0.6 | 5 |
| LMPLFLN100xLEXT | 0.8 | 3.4 | |
| SLMPLN20x | 0.25 | 25 | |
| 超長工作距離物鏡 | SLMPLN50x | 0.35 | 18 |
| SLMPLN100x | 0.6 | 7.6 | |
| LCPLFLN20xLCD | 0.45 | 8.3-7.4 | |
| 適用于LCD透鏡的長工作距離 | LCPLFLN50xLCD | 0.7 | 3.0-2.2 |
| LCPLFLN100xLCD | 0.85 | 1.2-0.9 |
應用軟件
| 標準軟件 | OLS50-BSW | 數(shù)據(jù)采集app 分析app (簡單分析) |
| 電動載物臺套裝應用*1 | OLS50-S-MSP | |
| 擴展分析應用*2 | OLS50-S-AA | |
| 薄膜厚度測量 | OLS50-S-FT | |
| 自動邊緣測量應用 | OLS50-S-ED | |
| 顆粒物分析應用 | OLS50-S-PA | |
| 多文件分析應用 | OLS50-S-MA | |
| 球體/圓柱體表面角度分析應用 | OLS50-S-SA | |
* 1包括自動拼接數(shù)據(jù)采集和多區(qū)域數(shù)據(jù)采集功能。
* 2包括輪廓分析、差值分析、臺階高度分析、表面分析、面積/體積分析、線粗糙度分析、面粗糙度分析和直方圖分析。
產品系列
OLS5000-SAF配置示例
OLS5000-SAF
- 100毫米電動載物臺
- 樣品高度可到:100毫米
OLS5000-EAF
- 100毫米電動載物臺
- 樣品高度可到:210毫米
OLS5000-SMF
- 100毫米手動載物臺
- 樣品高度可到:40毫米
OLS5000-EMF
- 100毫米手動載物臺
- 樣品高度可到:150毫米
OLS5000-LAF
- 300毫米電動載物臺
- 樣品高度可到:37毫米
PC計算機和控制單元
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